Acasă
Produse
Platformă plutitoare cu aer poros cu tehnologia de transfer de sarcină a modului fără contact pentru industria semiconductoarelor
Platforma tradițională de plutire a aerului adoptă, în general, tehnologia de accelerare a orificiilor mici, a torusului sau a fantei, care se caracterizează printr-o tehnologie simplă de procesare, dar atunci când presiunea aerului de alimentare se schimbă, este ușor să se producă un fenomen de șuierat, sunetul este ascuțit și rulmentul. capacitatea fluctuează, de asemenea, ceea ce nu este potrivit pentru mediul de lucru cu presiune liniștită și stabilă.
Substraturile tradiționale din sticlă TFT-LCD sunt realizate de brațe robot (roboți) și sisteme AGV (vehicul ghidat automat). Substratul de sticlă în procesul de producție. Este o operațiune de contact cu platforma de schimbare a sarcinii (sau rola). Atunci când substratul de sticlă este în contact cu platforma sau rola de deplasare a sarcinii, atingerea și frecarea provoacă aceste daune sau probleme de defecte de colțuri lipsă, fisuri, deteriorare, contaminare și electricitate statică pe suprafața substratului de sticlă și apoi afectează producția. randamentul și calitatea produsului, pe lângă utilizarea sarcinii de transfer de rotație a rolelor, mai au probleme tehnice de depășit. Aceste probleme au un impact profund asupra eficienței de producție a substraturilor de sticlă de dimensiuni mari și sunt necesare urgent îmbunătățite. Dacă tehnologia platformei plutitoare cu aer fără contact poate înlocui problemele derivate din tehnologia tradițională de schimbare a sarcinii de contact, va fi o soluție eficientă. Avantajele sistemului de plutire cu aer:
1. Frecare zero.
2. Zero uzură.
3. Mișcarea dreaptă, mișcarea de rotație sunt aplicabile.
4. Funcționare silențioasă și lină.
5. Amortire mai mare.
6. Elimina uleiul.
Structura platformei plutitoare cu aer este compusă din ceramică nano-poroasă încorporată în bază pentru a forma o cameră de vid. aer comprimat curat, fără apă și fără ulei, este introdus în spațiul modului de aer dintre suprafața rulmentului și șina de ghidare plutitoare a aerului prin conducta de gaz. Gazul curge în golul modului de aer pentru a face ca suprafața rulmentului să plutească pe șina de ghidare plutitoare a aerului. Gazul acționează ca un lubrifiant pentru a muta sau transporta obiecte fără frecare.
Construcția pentru gaura plutitoare a aerului comun:
a) Structura de reglare a orificiului
b) Structura poroasă
Cea mai mare dimensiune personalizată: lungime 1600 mm, lățime 1000 mm
Echipamentele de transport și de schimbare a sarcinii fără contact sunt în principal pentru a îmbunătăți problemele cauzate de tehnologia tradițională de manipulare după ce substratul de sticlă devine mai mare, deoarece în procesul de transport și schimbarea sarcinii nu este direct în contact cu obiectul de operare, astfel încât poate evita apariția de atașare a poluanților, stres, electricitate statică și deteriorarea substratului de sticlă. Materialul poros, pe de altă parte, reduce semnificativ debitul de gaz, realizează o presiune uniformă a aerului și o bună distribuție a pernei de aer și oferă suficientă înălțime de plutire necesară pentru funcționare.