Карбидокремниевая керамика, используемая в оборудовании для производства полупроводников и интегральных схем.

Карбидокремниевая керамика играет важную роль в оборудовании для производства полупроводников и интегральных схем благодаря своим уникальным физическим и химическим свойствам. Однако следует отметить, что в настоящее время исследования, разработки и применение прецизионных керамических конструкционных деталей для основного оборудования интегральных схем в основном сосредоточены в США, Японии, Европе и других местах, и они по-прежнему находятся в абсолютном монопольном положении. . Таким образом, Китаю все еще необходимы дальнейшие исследования и прорывы в области керамических материалов из карбида кремния и технологий их изготовления.

1, Гшлифовальный и полировальный патрон

В процессе производства полировального патрона из карбида кремния керамический материал из карбида кремния обрабатывается по форме патрона и подвергается специальной технологической обработке, так что его поверхность имеет превосходные шлифовальные и полирующие свойства. При использовании патрон шлифует и полирует поверхность заготовки, поглощая поверхность заготовки, используя твердость и остроту керамики из карбида кремния для удаления примесей, таких как заусенцы и оксиды, с поверхности, а также улучшает качество обработки и точность обработки. поверхность заготовки.

Основные характеристики шлифовально-полировального патрона из карбида кремния:

o Высокая твердость: карбидокремниевая керамика обладает чрезвычайно высокой твердостью, уступая только алмазу, поэтому с ее помощью можно эффективно выполнять операции шлифовки и полировки для устранения дефектов и неровностей на поверхности материала.

o Высокая износостойкость: высокая твердость керамики из карбида кремния также обеспечивает хорошую износостойкость, что позволяет поддерживать небольшой износ во время длительного процесса шлифования и полировки и увеличивать срок службы инструмента.

o Высокая термическая стабильность: керамика из карбида кремния обладает высокой термической стабильностью и низким коэффициентом теплового расширения, может сохранять стабильные характеристики в высокотемпературной среде, подходит для операций высокотемпературного шлифования и полировки.

o Хорошая химическая стабильность: керамика из карбида кремния обладает хорошей устойчивостью к большинству химических веществ, не поддается коррозии и эрозии и может сохранять стабильные характеристики в различных средах.

2, литографический патрон

Патрон для литографии из карбида кремния играет важную роль в процессе производства интегральных схем. Он может обеспечить стабильную и высокоточную фиксацию и поддержку кремниевых пластин, обеспечивая плавный ход процесса литографии, тем самым повышая эффективность производства и качество интегральных схем.

Следует отметить, что патрон для литографии из карбида кремния является ключевым компонентом в производстве интегральных схем, и требования к технологии его производства и точности очень высоки. В настоящее время лишь несколько иностранных компаний могут производить литографические патроны, отвечающие требованиям производства интегральных схем, а китайские технологии и продукция в этой области нуждаются в дальнейшем развитии и совершенствовании.

Основные характеристики патрона для литографии из карбида кремния:

o высокая точность: керамика из карбида кремния обладает чрезвычайно высокой твердостью и точностью, что позволяет удовлетворить требования к высокоточной фиксации и поддержке кремниевых пластин в процессе производства интегральных схем.

o Высокая стабильность: керамика из карбида кремния обладает высокой термической стабильностью и низким коэффициентом теплового расширения, что позволяет сохранять стабильный размер и форму во время процесса литографии, не влияя на точность литографии.

o Хорошая химическая стабильность: керамика из карбида кремния обладает хорошей устойчивостью к большинству химических веществ, не поддается коррозии и эрозии и может сохранять стабильные характеристики в процессе литографии.

o Высокая сила адсорбции: в присоске для литографии из карбида кремния используется специальная технология адсорбции, которая позволяет прочно адсорбировать кремниевые пластины, гарантируя, что они не будут смещаться или трястись во время процесса литографии, обеспечивая точность и стабильность литографии.

3, патрон обнаружения

Патрон для обнаружения карбида кремния может обеспечить плавный ход процесса обнаружения, тем самым улучшая качество изготовления интегральных схем. В то же время срок службы патрона для обнаружения карбида кремния длительный, что может снизить производственные затраты и затраты на техническое обслуживание, а также повысить общую экономическую выгоду.

4. Прецизионная платформа движения.

Платформа прецизионного перемещения из карбида кремния играет важную роль в различных областях высокоточного производства и обработки. Он может предоставить высокоточные и высокостабильные решения для управления движением для обработки полупроводников, оптического производства, нанотехнологий и других областей для улучшения качества продукции и эффективности производства.

Основные характеристики платформы прецизионного перемещения из карбида кремния включают в себя:

o Высокая точность: керамика из карбида кремния обладает чрезвычайно высокой твердостью и точностью, что соответствует высоким требованиям точности подвижной платформы и обеспечивает стабильность и точность платформы во время движения.

o Высокая стабильность: керамика из карбида кремния обладает высокой термической стабильностью и низким коэффициентом теплового расширения, что позволяет поддерживать стабильную работу при высоких температурах и суровых условиях, уменьшать деформацию размеров и тепловую погрешность, а также обеспечивать долгосрочную стабильность платформы.

o Легкий вес: керамика из карбида кремния имеет низкую плотность и высокую прочность, что позволяет реализовать легкую конструкцию платформы, уменьшить инерцию движения, уменьшить нагрузку на двигатель и улучшить динамический отклик и ускорение платформы.

o Высокая износостойкость: керамика из карбида кремния обладает превосходной износостойкостью, выдерживает высокоскоростное движение и износ при тяжелых нагрузках, продлевает срок службы платформы.

5,Детали из карбида кремния высокой чистоты для травления звеньев 

В процессе травления ключевую роль играют компоненты карбида кремния высокой чистоты. Карбид кремния высокой чистоты обладает превосходными физическими и химическими свойствами, такими как высокая твердость, высокая термическая стабильность, хорошая химическая стабильность и низкая реакционная способность, что делает его идеальным материалом для травильного оборудования.

Детали из карбида кремния высокой чистоты играют ключевую роль. Карбид кремния высокой чистоты обладает превосходными физическими и химическими свойствами, такими как высокая твердость, высокая термическая стабильность, хорошая химическая стабильность и низкая реакционная способность, что делает его идеальным материалом для травильного оборудования.

В оборудовании плазменного травления карбид кремния высокой чистоты часто используется для изготовления ключевых компонентов, таких как фокусирующие кольца, газораспылительные головки, поддоны, краевые кольца, полости травления, сопла травления газа и т. д. Эти компоненты играют жизненно важную роль в процессе травления. , такие как фокусирующее кольцо для обеспечения равномерного распределения плазмы, головка газового распыления для точного контроля впрыска газа, лоток и краевое кольцо для поддержки и стабилизации пластины, подлежащей травлению.

Детали из карбида кремния высокой чистоты демонстрируют хорошую стабильность в среде, содержащей хлор и травильный газ фтор, а его низкая реакционная способность может эффективно снизить коррозию и повреждение оборудования во время процесса травления. Кроме того, карбид кремния высокой чистоты также имеет электропроводность, аналогичную кремнию, что позволяет ему эффективно проводить ток во время процесса травления, обеспечивая однородность и последовательность травления.

С непрерывным развитием производства интегральных схем требования к технологии травления становятся все выше и выше. Компоненты из карбида кремния высокой чистоты, обладающие превосходными характеристиками и стабильностью, являются одним из ключей к удовлетворению этих требований. С постоянным развитием технологий применение карбида кремния высокой чистоты в процессе травления будет все более обширным.

6, прецизионная система движения при проверке упаковки

При высокоскоростном и высокоточном управлении движением высокая твердость и низкое трение керамики из карбида кремния могут снизить износ и трение, а также улучшить стабильность и срок службы системы. В то же время в процессе проверки упаковки изменение температуры может повлиять на систему прецизионного движения, а применение керамики из карбида кремния может эффективно уменьшить это влияние и повысить надежность и стабильность системы.

Прецизионная система перемещения из карбидокремниевой керамики в звене упаковки и тестирования включает в себя такие ключевые компоненты, как направляющая, подшипник и скользящий блок. Точность изготовления и производительность этих компонентов напрямую влияют на стабильность и точность всей системы перемещения. Поэтому технология высокоточной обработки и технология обработки поверхности карбидокремниевой керамики также имеют решающее значение.

Керамика из карбида кремния также используется в системах прецизионного перемещения в процессе проверки производственных корпусов, таких как выравнивание и установка во время упаковки чипов.

Керамика из карбида кремния играет важную роль в системе прецизионного перемещения при проверке упаковки. Благодаря постоянному развитию технологий и расширению областей применения применение карбидокремниевой керамики в системах прецизионных перемещений будет становиться все более обширным.

ФОУНТИЛ ТЕХНОЛОДЖИЗ ПТЕ. ООО. Это современное предприятие в области исследований и разработок, производства и продаж современной керамики, в основном производит пористую керамику, оксид алюминия, цирконий, нитрид кремния, карбид кремния, нитрид алюминия, микроволновую диэлектрическую керамику и другие современные керамические материалы. наш специально приглашенный японский эксперт по технологиям имеет более чем 30-летний опыт работы в области полупроводников и эффективно предоставляет специальные решения для применения керамики с износостойкостью, коррозионной стойкостью, устойчивостью к высоким температурам, высокой теплопроводностью, изоляцией для отечественных и зарубежных клиентов.