گهر
مصنوعات
Electrostatic چيڪ مطابقت سان، اعلي کثافت، اعلي ساخت جي طاقت سان حسب ضرورت
خاصيتون
مطابقت | حسب ضرورت | اعلي کثافت | اعلي ساخت جي طاقت | فاسٽ پهچائڻ وقت | مُله تي اثرائتو
درخواستون
لون امپلانٽيشن | پتلي فلم | ايچ | پروسيس ڊولپمينٽ | سامان جي ڊيزائن
ڊيزائن ۽ پيداوار
12 انچ فيب حقيقي ڪارڪردگي جي تصديق ڪرڻ لاء، بحالي ۽ مرمت مهيا ڪرڻ، ۽ ترقي ۽ ڊيزائن جي تصديق ڪرڻ لاء.
پروسيسنگ سامان ۽ پروسيسنگ ٽيڪنالاجي جي ترقي سان سيميڪنڊڪٽر ۽ انٽيگريڊ سرڪٽ جي، روايتي اليڪٽررو اسٽيٽڪ چيڪ استعمال ڪندي آرگنڪ پوليمر مواد، ميٽيل آڪسائيڊس ۽ سيرامڪ مواد کي ڊايلٽرڪس طور استعمال ڪيو ويندو آهي مڪمل طور تي اهڙي مواد سان سلکان ويفرز، سيفائر ۽ سلکان ڪاربائڊ سان مطابقت ناهي. تنهن ڪري، پهرين، سيڪنڊ ۽ ٽين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر ويفر گرپرز سان مطابقت رکندڙ اليڪٽرروسٽيٽڪ چيڪ آهستي آهستي ترقي ڪندا.
پوليمر اليڪٽرروسٽٽڪ چيڪ / هيٽر
پوليمر ڊائيليڪٽرڪ مواد (پوليمر) هن وقت سڀ کان وڏي پيماني تي استعمال ٿيل اليڪٽرروسٽيٽڪ چيڪ مواد آهي، ان جي تياري جو عمل پڻ سڀ کان وڌيڪ پختو آهي، پوليمر ڊائيليڪٽرڪ مواد پوليمر ترميمي علاج کان پوء، برقي، ميڪيڪل، حرارت جي مزاحمت، هالوجن مزاحمت جي ملڪيت کي تمام گهڻو بهتر ڪيو ويندو. ڊائي اليڪٽرڪ مواد ٻين مربوط عملن جي نموني سان ٺھيل آھي، ۽ پوءِ ملٽي اسٽيج ويڪيوم بھاري لوڊ سان ليئر ڪيو ويندو آھي، ۽ اندروني اليڪٽرروڊس جي وچ ۾ ھڪڙو گھڻ ڊائليڪٽرڪ موصلي واري پرت ٺاھي ويندي آھي.
پوليمر Electrostatic چيڪ
پوليمر ترميمي ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪيو ويندو آهي اعلي بلڪ مزاحمت ۽ لاڳاپا ڊائلٽرڪ مسلسل حاصل ڪرڻ، ۽ وڌيڪ مستحڪم ڪلمپنگ قوت حاصل ڪرڻ لاء.
هاء density dielectric مواد particulate معاملي جي خطري کي گھٽائي ۽ آئن موبلٽي کي گھٽائي سگھي ٿو.
ڪلپنگ شين جي تنوع مختلف مواد جي ويفرز جي ڪلپنگ سان مطابقت رکي ٿي.
هالوجن ۽ پلازما ماحول ۾ بهترين corrosion مزاحمت.
اعلي قيمت جي ڪارڪردگي، مختصر قبوليت جي مدت، پيداوار جي عمل جي ترقي ۽ نئين سامان جي ترقي جي تصديق لاء مناسب.
هيٽر سان پوليمر اليڪٽرروسٽيٽڪ چيڪ
اهو ڪيترن ئي گرمي پد جي علائقن جي ترتيب کي محسوس ڪري سگهي ٿو (20 درجه حرارت زونن تائين)، ۽ سٺي گرمي پد جي هڪجهڙائي آهي (± 5٪ ℃ @ 150 ℃).
ويڪيوم لامڻ واري ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪيو ويندو آهي انتهائي تيز کثافت حاصل ڪرڻ ۽ گرمي پد 200 ° C تائين.
يونيفارم حرارتي وکر، درجه حرارت وکر سيٽنگن جي وسيع رينج سان.
اعلي قيمت جي ڪارڪردگي، مختصر قبوليت جي مدت، پيداوار جي عمل جي ترقي ۽ نئين سامان جي ترقي جي تصديق لاء مناسب.
سيرامڪس Electrostatic چڪر / Heater
سيرامڪ ڪوگوليشن ٽيڪنالاجي ايلومينا / ايلومينيم نائٽرائڊ سيرامڪ اليڪٽرروسٽٽڪ چيڪن ۽ هيٽرز جي ترقي ۾ هڪ بهتر sintering عمل آهي. ان جو بنيادي مقصد مختلف قسم جي نانو ميٽر قطر جي سيرامڪ پائوڊر کي استعمال ڪرڻ آهي، جيڪي هڪ خاص تناسب ۾ ملايا ويندا آهن هڪ منفرد ميڪنگ سامان ۽ ميڪنگ جي عمل ذريعي. اعلي کثافت، مستحڪم ڪرسٽل ڍانچي ۽ يونيفارم مزاحمتي ورڇ سان گڏ سيرامڪ اليڪٽرروسٽيٽڪ چيڪن کي sintering سامان ۾ هڪ خاص sintering گرمي پد جي وکر سان sintered ڪيو ويو. سيرامڪ ڪوگوليشن ٽيڪنالاجي پاران ٺاهيل جامد چڪ اعلي کثافت، مستحڪم ڪرسٽل ڍانچي ۽ يونيفارم حجم مزاحمتي تقسيم آهي، ۽ سخت ماحول ۾ چپ جي عام ڪلپنگ فنڪشن کي محسوس ڪري سگهي ٿو اعلي ويڪيوم، پلازما ۽ هالوجن هيٺ.
Al₂O₃ Electrostatic چيڪ
حجم جي مزاحمت کي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي ڪوگوليشن سيرامڪ ٽيڪنالاجي ۽ ڪو-فائرنگ جي عمل کي وڌيڪ مضبوط قوت حاصل ڪرڻ لاءِ.
اعلي درجه حرارت sintering جي اندروني ڍانچي گندو آهي ۽ ڪرسٽل جي جوڙجڪ مستحڪم آهي، ۽ هڪ وڏي درجه حرارت جي وقفي جي گنجائش حاصل ڪري سگهجي ٿي.
انٽيگريڊ ڪو-فائرنگ مولڊنگ آئن لڏپلاڻ گھٽائي ٿي.
پلازما هالوجن ويڪيوم ماحول ۾ آخري آپريشن.
AlN Electrostatic چيڪ
ڪنڪريٽ مواد جي ساخت ۽ تناسب کي ڪنٽرول ڪندي، حجم جي مزاحمت کي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو ۽ وڏي درجه حرارت جي وقفي ۾ رکڻ جي صلاحيت حاصل ڪري سگهجي ٿي.
يونيفارم درجه حرارت زون جي ورڇ کي يقيني بڻايو وڃي ٿو sintering ٽيڪنالاجي ۽ ڪو-فائرنگ عمل ڪنڪريٽ سيرامڪس جي.
پيداوار جي معيار کي وڌائڻ لاءِ گڏيل ڪو-فائرنگ مولڊنگ.
پلازما هالوجن ويڪيوم ماحول ۾ آخري آپريشن.
هيٽر سان گڏ سيرامڪس اليڪٽرروسٽيٽڪ چيڪ
اهو ڪيترن ئي گرمي پد جي علائقن جي ترتيب کي محسوس ڪري سگهي ٿو، ۽ سٺي گرمي پد جي هڪجهڙائي آهي (± 7.5٪ ℃ @ 350 ℃).
ويڪيوم ليمينيٽنگ sintering ٽيڪنالاجي انتهائي اعلي کثافت ۽ گرمي پد 550 ℃ تائين حاصل ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.
پيداوار جي معيار کي وڌائڻ لاءِ گڏيل ڪو-فائرنگ مولڊنگ.
پلازما هالوجن ويڪيوم ماحول ۾ آخري آپريشن.
ڪمپليڪس قسم Electrostatic چڪر / Heater
سلڪون، گيليم آرسنائيڊ، سلڪون ڪاربائيڊ، سيفائر آف ويفر ڪلمپنگ سان هم آهنگ ٿي سگهي ٿو، سامان ٺاهيندڙن ۽ آخر استعمال ڪندڙن جي تار تبديلي جي قيمت کي گهٽائي سگھي ٿو. ڪنڪريٽ سيرامڪ ٽيڪنالاجي ۽ پوليمر ترميمي ٽيڪنالاجي جي بنياد تي، انٽيگريٽيڊ ويڪيوم ليمينيشن ۽ گرم بانڊنگ ٽيڪنالاجي جو استعمال اليڪٽرروسٽٽڪ چوسر جي اندروني حرارتي مزاحمت کي گھٽائي سگھي ٿو، اندروني گرمي پد جي هڪجهڙائي حاصل ڪري، آئن لڏپلاڻ جي مزاحمت جي ڪارڪردگي کي بهتر ڪرڻ لاءِ ٿلهي ڊايلٽرڪ موصليت واري پرت ٺاهي سگھي ٿي.
ڪمپليڪس قسم Electrostatic چيڪ
ڪنڪريٽ سيرامڪ ۽ پوليمر ترميمي ٽيڪنالاجي جو استعمال، هڪ اعلي ٿلهي جوڙجڪ ۽ گهٽ گئس ڇڏڻ آهي.
dielectric پرت ۽ اليڪٽرروڊ بينڪ جي ٿولهه جو سخت ڪنٽرول.
ڪلمپنگ شين جي تنوع مختلف ويفرن جي ڪلپنگ سان مطابقت رکي ٿي.
جسم جي مزاحمت کي صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو هڪ مضبوط electrostatic هولڊنگ جي صلاحيت حاصل ڪرڻ لاء.
اعلي قيمت جي ڪارڪردگي، مختصر قبوليت جي مدت، پيداوار جي عمل جي ترقي ۽ نئين سامان جي ترقي جي تصديق لاء مناسب.
ڪمپليڪس جو قسم Electrostatic چيڪ هيٽر سان
اهو ڪيترن ئي گرمي پد جي علائقن جي ترتيب کي محسوس ڪري سگهي ٿو، ۽ سٺي گرمي پد جي هڪجهڙائي آهي (± 3.5٪ ℃ @ 150 ℃).
ويڪيوم ليمينيٽنگ ٽيڪنالاجي انتهائي تيز کثافت ۽ گرمي پد 200 ° C تائين حاصل ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.
يونيفارم حرارتي وکر، درجه حرارت وکر سيٽنگن جي وسيع رينج سان.
اعلي قيمت جي ڪارڪردگي، مختصر قبوليت جي مدت، پيداوار جي عمل جي ترقي ۽ نئين سامان جي ترقي جي تصديق لاء مناسب.