اسڪوائر بيم ۽ گائيڊ ريل لاءِ الٽرا-پريزيئن موشن پليٽ فارم ۽ پتو لڳائڻ وارو سامان

ويڪيوم چيڪ اسيمبليءَ کي مثال طور وٺندي، اڳئين 2 انچ ۽ 4 انچ جي ويفر دور ۾ استعمال ٿيندڙ مواد ايوي ايشن ايلومينيم آهي، پر ان کي وڏي سائيز واري دور ۾ الٽرا هاءِ فليٽ (1 مائڪرون کان بهتر) جي رڪاوٽ کي منهن ڏيڻو پيو. wafers (8 "۽ 8 کان وڌيڪ")، جيڪو الٽرا هاءِ فليٽ جي سخت انڊيڪس کي پورو نٿو ڪري سگهي ۽ ختم ٿي وڃي ٿو. اڳيون، هڪ منتقلي جي طور تي alumina مواد، ان جي لچڪدار modulus، نور وزن، حرارتي conductivity ۽ توسيع coefficient ۽ silicon carbide dwarf، پر نه ڪجهه شرمناڪ تي؛ وڏي سائيز ۽ پيچيده خاص شڪل واري سوراخ واري جوڙجڪ سلکان ڪاربائڊ سيرامڪس جي تياري جي ٽيڪنالاجي ۾ پيش رفت کان پوء، اجزاء سميت الٽرا-پريسيئن ورڪ پيس بيس، الٽرا پرسيجن ايئر فلوٽ گائيڊ، ۽ ويفر ٽرانسميشن آرم کي اپ گريڊ ڪيو ويو آهي.

نه رڳو مٿي ذڪر ڪيل سلکان ڪاربائيڊ سيرامڪ حصا جيڪي ملن ٿا الٽرا-اعلي صحت واري سخت اشارن تي فليٽ، متوازي ۽ عمودي، اعلي پاڪائي واري سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ حصن لاءِ گهربل ويفر ڊفيوشن، ڊوپنگ، ايچنگ جي عملن لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾. , خاص طور تي اعلي پاڪائي CVDSiC مواد تيار ڪرڻ جي ٽيڪنالاجي ۾، هڪ پختو عمل ٽيڪنالاجي آهي، ۽ اعلي purity silicon carbide سيرامڪ ڪرسٽل بوٽ، silicon carbide ceramic بيرنگ پليٽ، silicon carbide ceramic air floating movement platform، silicon carbide ultra. - درست حرڪت واري پليٽ فارم، سلکان ڪاربائڊ گائيڊ ريل، سلکان ڪاربائڊ سلائڊ ريل جا حصا.

مستقبل ۾، اسان سيمڪانڊڪٽر انڊسٽري ۾ سلڪون ڪاربائيڊ مواد جي ايپليڪيشن کي وڌيڪ وڌايو ۽ سيمڪڊڪٽر انڊسٽري زنجير ۽ سلکان ڪاربائيڊ سيرامڪ انڊسٽري جي اپ گريڊيشن ۾ حصو وٺنداسين. چين جي سڌائي واري سلکان ڪاربائڊ سيرامڪ حصن جي آزاد تحقيق ۽ گهريلو ايپليڪيشن پروموشن صرف شروع ڪئي وئي آهي، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي زبردست ترقي سان، هن قسم جي اعلي-آخر سيرامڪ ڍانچي جي مارڪيٽ جي طلب وڌيڪ ۽ وڌيڪ هوندي، سلکان ڪاربائڊ ان جي شاندار جسماني ۽. ڪيميائي ملڪيت، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ وسيع ايپليڪيشن جا امڪان آهن.