ගෙදර
ප්රධාන නිෂ්පාදනය
අතිශය නිරවද්‍ය චලන වේදිකාව සහ හඳුනාගැනීමේ උපකරණ සඳහා හතරැස් කදම්භ සහ මාර්ගෝපදේශක රේල්
රික්ත චක් එකලස් කිරීම උදාහරණයක් ලෙස ගතහොත්, මුල්ම අඟල් 2 සහ අඟල් 4 වේෆර් යුගයේ භාවිතා කරන ලද ද්‍රව්‍යය ගුවන් ඇලුමිනියම් වේ, නමුත් එය විශාල ප්‍රමාණයේ යුගයේ අතිශය ඉහළ සමතලාතාවයේ (මයික්‍රෝන 1 ට වඩා හොඳ) බාධකයකට මුහුණ දී ඇත. වේෆර් (8 "සහ 8 ට වැඩි"), එය අතිශය ඉහල සමතලා බවේ දෘඩ දර්ශකය සපුරාලිය නොහැකි අතර ඉවත් කරනු ලැබේ. ඊළඟට, ඇලුමිනා ද්රව්ය සංක්රමණයක් ලෙස, එහි ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය, සැහැල්ලු බර, තාප සන්නායකතාවය සහ ප්රසාරණ සංගුණකය සහ සිලිකන් කාබයිඩ් වාමන, නමුත් සමහර අපහසුතාවයන් මත නොවේ; විශාල ප්‍රමාණයේ සහ සංකීර්ණ විශේෂ හැඩැති හිස් ව්‍යුහයක් සහිත සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි සකස් කිරීමේ තාක්ෂණයේ ඉදිරි ගමනෙන් පසුව, අතිශය නිරවද්‍ය වැඩ කොටස් පදනම, අතිශය නිරවද්‍ය වායු පාවෙන මාර්ගෝපදේශය සහ වේෆර් සම්ප්‍රේෂණ හස්තය ඇතුළු සංරචක වැඩිදියුණු කර ඇත.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වේෆර් විසරණය, මාත්‍රණය, කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍ය ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් කොටස් සඳහා පැතලි බව, සමාන්තර බව සහ සිරස් බව පිළිබඳ අතිශය ඉහළ නිරවද්‍යතා දෘඪ දර්ශක සපුරාලන ඉහත සඳහන් කළ සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් කොටස් පමණක් නොවේ. , විශේෂයෙන් ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් CVDSiC ද්රව්ය සැකසීමේ තාක්ෂණයේ, පරිණත ක්‍රියාවලි තාක්ෂණයක් ඇති අතර, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ස්ඵටික බෝට්ටුවක්, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් දරණ තහඩුවක්, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් වායු පාවෙන චලන වේදිකාවක්, සිලිකන් කාබයිඩ් අල්ට්‍රා නිෂ්පාදනය කිරීම අවබෝධ කරගෙන ඇත. - නිරවද්‍ය චලනය වන වේදිකාව, සිලිකන් කාබයිඩ් මාර්ගෝපදේශ දුම්රිය, සිලිකන් කාබයිඩ් ස්ලයිඩ් රේල් සංරචක.
අනාගතයේදී, අපි අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය භාවිතය තවදුරටත් පුළුල් කරන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත දාමය සහ සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් කර්මාන්තය වැඩිදියුණු කිරීමට දායක වන්නෙමු. චීනයේ නිරවද්‍ය සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් සංරචක ස්වාධීන පර්යේෂණ සහ දේශීය යෙදුම් ප්‍රවර්ධනය දැන් ආරම්භ වී ඇති අතර, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ප්‍රබල සංවර්ධනයත් සමඟ, මේ ආකාරයේ ඉහළ මට්ටමේ සෙරමික් ව්‍යුහයක් සඳහා වෙළඳපල ඉල්ලුම වඩ වඩාත් විශාල වනු ඇත, සිලිකන් කාබයිඩ් එහි විශිෂ්ට භෞතික හා රසායනික ගුණ, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ පුළුල් යෙදුම් අපේක්ෂාවන් ඇත.
සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටිවලට කාමර උෂ්ණත්වයේ දී ඉහළ නැමීමේ ශක්තිය, විශිෂ්ට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය, හොඳ විඛාදන ප්රතිරෝධය, ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකය වැනි විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණ පමණක් නොව ඉහළ උෂ්ණත්ව යාන්ත්‍රික ගුණ (ශක්තිය, රිංගා ප්රතිරෝධය, ආදිය) ඇත. හොඳම ප්රසිද්ධ සෙරමික් ද්රව්ය වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් වල විඛාදන ප්රතිරෝධය, අධික උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, ඉහළ ශක්තිය, හොඳ තාප සන්නායකතාවය, බලපෑම් ප්රතිරෝධය... යනාදී ලක්ෂණ ඇත.
වැඩ ෙකොටස් වගු ව්යුහය සඳහා ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ අවශ්‍යතා: අල්ට්‍රා-සැහැල්ලු (චලන අවස්ථිති බව අඩු කිරීම, මෝටර් බර අඩු කිරීම), අතිශය ඉහළ ස්ථායීතාවය (අති-නිරවද්‍ය යන්ත්‍රකරණය සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් චලිතය සහ ස්ථානගත කිරීම අවශ්‍ය වේ, තාප ප්‍රසාරණයේ අවම මාන විකෘතියක් අවශ්‍ය වේ. ), පිරිසිදුකම (ඉහළ තද බව සහ ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය), ඡායාරූප ශිලා යන්ත්‍රයෙන් නියෝජනය වන ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ප්රධාන උපකරණ සඳහා විශාල ප්‍රමාණයේ, හිස් තුනී බිත්ති, සංකීර්ණ ව්යුහය සහ නිරවද්‍ය සිලිකන් කාබයිඩ් ව්‍යුහාත්මක කොටස්වල තාක්ෂණික අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය.
Fountyl හැකියාවන්
උපරිම ප්රමාණය:1600 මි.මී.
ව්යුහය අභිරුචිකරණය:සැහැල්ලු ව්යුහය, බර ව්යුහය අඩු කිරීම සඳහා නිර්මාණය කළ හැකිය.
ඉහළ නිරවද්යතාව:සමතලා බව මයික්‍රෝන 5ක් ඇතුළත හෝ ඊටත් වඩා වැඩි නිරවද්‍යතාවයකින් පාලනය කළ හැක.