Domov
Produkty
Elektrostatické skľučovadlo s kompatibilitou, vysokou hustotou, vysokou konštrukčnou pevnosťou s prispôsobením
Vlastnosti
Kompatibilita | Prispôsobenie | Vysoká hustota | Vysoká štrukturálna pevnosť | Rýchla dodacia lehota | Nákladovo efektívne
Aplikácie
Lon-implantácia | Tenký film | Etch | Vývoj procesu | Dizajn zariadenia
Dizajn a Výroba
12-palcový Fab dodaný na overenie skutočného výkonu, zabezpečenie regenerácie a opravy a overenie vývoja a dizajnu.
S procesným zariadením a vývojom procesnej technológie polovodičov a integrovaných obvodov nie sú tradičné elektrostatické skľučovadlá využívajúce organické polymérne materiály, oxidy kovov a keramické materiály ako dielektrikum plne kompatibilné s takými materiálmi, ako sú kremíkové doštičky, zafír a karbid kremíka. Preto sa postupne vyvinú elektrostatické skľučovadlá kompatibilné s uchopovačmi polovodičových doštičiek prvej, druhej a tretej generácie.
Polymérové elektrostatické skľučovadlo / ohrievač
Polymérový dielektrický materiál (Polymér) je v súčasnosti najpoužívanejším elektrostatickým skľučovadlom, proces jeho prípravy je tiež najzrelší, polymérny dielektrický materiál po úprave modifikáciou polyméru, elektrické, mechanické, teplotné vlastnosti, odolnosť voči halogénom sa výrazne zlepšia. Dielektrický materiál je vzorovaný inými integrovanými operáciami a potom vrstvený viacstupňovým vákuovým ťažkým zaťažením a medzi vnútornými elektródami je vytvorená hustá dielektrická izolačná vrstva.
Polymérne elektrostatické skľučovadlo
Technológia modifikácie polyméru sa používa na dosiahnutie vyššieho objemového odporu a relatívnej dielektrickej konštanty a získanie stabilnejšej zvieracej sily.
Dielektrické materiály s vysokou hustotou môžu znížiť riziko pevných častíc a znížiť pohyblivosť iónov.
Rozmanitosť upínacích predmetov môže byť kompatibilná s upínaním plátkov z rôznych materiálov.
Vynikajúca odolnosť proti korózii v halogénovej a plazmovej atmosfére.
Vysoký nákladový výkon, krátka doba prijatia, vhodný na vývoj procesu produktu a overenie vývoja nového zariadenia.
Polymérové elektrostatické skľučovadlo s ohrievačom
Dokáže realizovať rozloženie viacerých zón teploty ohrevu (až 20 teplotných zón) a má dobrú rovnomernosť teploty ohrevu (±5%℃@150℃).
Technológia vákuového laminovania sa používa na dosiahnutie extrémne vysokej hustoty a teploty ohrevu až do 200 °C.
Rovnomerná vykurovacia krivka so širším rozsahom teplotnej krivky Nastavenia.
Vysoký nákladový výkon, krátka doba prijatia, vhodný na vývoj procesu produktu a overenie vývoja nového zariadenia.
Keramické elektrostatické skľučovadlo / ohrievač
Technológia keramickej koagulácie je vylepšený proces spekania pri vývoji keramických elektrostatických skľučovadiel a ohrievačov z oxidu hlinitého/nitridu hliníka. Jeho jadrom je použitie rôznych keramických práškov s priemerom nanometrov, ktoré sa miešajú v určitom pomere prostredníctvom jedinečného miešacieho zariadenia a procesu miešania. Keramické elektrostatické skľučovadlá s vysokou hustotou, stabilnou kryštálovou štruktúrou a rovnomerným rozdelením odporu boli spekané s určitou krivkou teploty spekania v spekacom zariadení. Statické skľučovadlo vyrobené technológiou keramickej koagulácie má vysokú hustotu, stabilnú kryštálovú štruktúru a rovnomernú distribúciu odporu objemu a môže realizovať normálnu upínaciu funkciu čipu v drsnom prostredí pri vysokom vákuu, plazme a halogéne.
Elektrostatické skľučovadlo Al₂O₃
Objemový odpor je riadený technológiou koagulačnej keramiky a procesom spoločného vypaľovania, aby sa dosiahla dlhšia prídržná sila.
Vnútorná štruktúra vysokoteplotného spekania je hustá a kryštálová štruktúra je stabilná a je možné získať výdrž väčšieho teplotného intervalu.
Integrované tvarovanie so spoločným spaľovaním znižuje migráciu iónov.
Trvalá prevádzka v plazmovej halogénovej vákuovej atmosfére.
Elektrostatické skľučovadlo AlN
Riadením zloženia a podielu betónového materiálu možno riadiť objemový odpor a získať výdrž vo väčšom teplotnom intervale.
Rovnomerné rozloženie teplotných zón je zabezpečené technológiou spekania a spoluvypaľovaním betónovej keramiky.
Integrované tvarovanie spoluvypaľovania na maximalizáciu kvality produktu.
Trvalá prevádzka v plazmovej halogénovej vákuovej atmosfére.
Keramické elektrostatické skľučovadlo s ohrievačom
Dokáže realizovať rozloženie viacerých zón teploty vykurovania a má dobrú rovnomernosť teploty vykurovania (± 7,5 % ℃ @ 350 ℃).
Technológia vákuového laminovania sa používa na dosiahnutie extrémne vysokých teplôt zahustenia a ohrevu až do 550 ℃.
Integrované tvarovanie spoluvypaľovania na maximalizáciu kvality produktu.
Trvalá prevádzka v plazmovej halogénovej vákuovej atmosfére.
Komplexný typ elektrostatického skľučovadla / ohrievača
Môže byť kompatibilný s kremíkom, arzenidom gália, karbidom kremíka, zafírom alebo upínaním plátkov, môže znížiť náklady na výmenu drôtu výrobcov zariadení a koncových používateľov. Na základe technológie betónovej keramiky a technológie modifikácie polymérov môže použitie integrovanej vákuovej laminácie a technológie spájania za tepla znížiť vnútorný tepelný odpor elektrostatickej prísavky, dosiahnuť rovnomernosť vnútornej teploty, vytvoriť hustú dielektrickú izolačnú vrstvu na zlepšenie odolnosti voči migrácii iónov.
Elektrostatické skľučovadlo komplexného typu
Použitie betónovej keramiky a technológie modifikácie polymérov má vyššiu hustú štruktúru a nižšie uvoľňovanie plynov.
Prísnejšia kontrola dielektrickej vrstvy a hrúbky elektródového bloku.
Rozmanitosť upínacích predmetov môže byť kompatibilná s upínaním rôznych plátkov.
Odpor tela môže byť presne kontrolovaný, aby sa získala silnejšia elektrostatická kapacita.
Vysoký nákladový výkon, krátka doba prijatia, vhodný na vývoj procesu produktu a overenie vývoja nového zariadenia.
Elektrostatické skľučovadlo komplexného typu s ohrievačom
Dokáže realizovať rozloženie viacerých zón teploty vykurovania a má dobrú rovnomernosť teploty vykurovania (±3,5%℃@150℃).
Technológia vákuového laminovania sa používa na dosiahnutie extrémne vysokej hustoty a teploty ohrevu až do 200 °C.
Rovnomerná vykurovacia krivka so širším rozsahom teplotnej krivky Nastavenia.
Vysoký nákladový výkon, krátka doba prijatia, vhodný na vývoj procesu produktu a overenie vývoja nového zariadenia.