Domov
Produkty
Pórovitá vzduchová plávajúca platforma s technológiou prenosu zaťaženia v bezkontaktnom režime pre polovodičový priemysel
Tradičná vzduchová plávajúca platforma vo všeobecnosti využíva technológiu škrtenia malých otvorov, škrtenia torusu alebo štrbinového škrtenia, ktorá sa vyznačuje jednoduchou technológiou spracovania, ale keď sa zmení tlak privádzaného vzduchu, je ľahké vytvoriť jav pískania, zvuk je ostrý a ložisko kolíše aj kapacita, čo nie je vhodné pre tiché a stabilné tlakové pracovné prostredie.
Tradičné sklenené substráty TFT-LCD sa vyrábajú pomocou robotických ramien (roboty) a systémov AGV (automaticky riadené vozidlo). Sklenený substrát vo výrobnom procese. Ide o kontaktnú operáciu s plošinou na posúvanie nákladu (alebo valčekom). Keď je sklenený substrát v kontakte s plošinou na presúvanie nákladu alebo valčekom, dotyk a trenie spôsobuje tieto poškodenia alebo problémy s chybami, ako sú chýbajúce rohy, praskanie, poškodenie, kontaminácia a statická elektrina na povrchu skleneného substrátu a potom ovplyvňujú výrobu. výťažok a kvalita produktu, okrem použitia rotačného prenosu zaťaženia valcov, stále musia prekonať technické problémy. Tieto problémy majú hlboký vplyv na efektivitu výroby veľkorozmerných sklenených substrátov a je naliehavo potrebné ich zlepšiť. Ak technológia bezkontaktnej vzduchovej plávajúcej plošiny dokáže nahradiť problémy odvodené od tradičnej technológie prenosu kontaktnej záťaže, bude to efektívne riešenie. Výhody vzduchového plávajúceho systému:
1. Nulové trenie.
2. Nulové opotrebovanie.
3. Priamy pohyb, rotačný pohyb sú použiteľné.
4. Tichý a hladký chod.
5. Vyššie tlmenie.
6. Odstráňte olej.
Štruktúra vzduchovej plávajúcej plošiny je zložená z nanoporéznej keramiky zapustenej v základni, aby vytvorila vákuovú komoru. Čistý stlačený vzduch bez vody a oleja sa privádza do vzduchovej medzery medzi nosnou plochou a vzduchovou plávajúcou vodiacou koľajnicou cez plynovú rúrku. Plyn prúdi v medzere vzduchového režimu, aby sa nosná plocha vznášala na vzduchovej plávajúcej vodiacej koľajnici. Plyn pôsobí ako mazivo na pohyb alebo prepravu predmetov bez trenia.
Konštrukcia pre spoločný vzduchový plávajúci otvor:
a) Škrtiaca štruktúra otvoru
b) Porézna štruktúra
Najväčšia prispôsobená veľkosť: dĺžka 1600 mm, šírka 1000 mm
Bezkontaktné dopravné zariadenia a zariadenia na presun nákladu majú hlavne zlepšiť problémy spôsobené tradičnou manipulačnou technológiou po tom, ako sa sklenený substrát zväčší, pretože v procese prepravy a presúvania nákladu nie je priamo v kontakte s prevádzkovým objektom, takže sa môže vyhnúť výskytu prichytenia znečisťujúcich látok, napätia, statickej elektriny a poškodenia skleneného substrátu. Porézny materiál na druhej strane výrazne znižuje prietok plynu, dosahuje rovnomerný tlak vzduchu a dobré rozloženie vzduchového vankúša a poskytuje dostatočnú plávajúcu výšku potrebnú na prevádzku.