Domov
Hlavný produkt
Štvorcový nosník a vodiaca koľajnica pre ultra presnú pohybovú plošinu a detekčné zariadenie
Ak vezmeme ako príklad zostavu vákuového skľučovadla, materiál používaný v najskoršej ére plátkov s rozmermi 2 palcov a 4 palcov je letecký hliník, ale v ére veľkých rozmerov sa stretol s prekážkou ultra vysokej rovinnosti (lepšej ako 1 mikrón). oblátky (8 "a viac ako 8"), ktoré nemôžu spĺňať tvrdý index ultra vysokej plochosti a sú eliminované. Ďalej, oxid hlinitý ako prechodový materiál, jeho modul pružnosti, nízka hmotnosť, tepelná vodivosť a koeficient rozťažnosti a karbid kremíka trpaslík, ale nie na nejaké trápne; Po prelomovej technológii prípravy veľkorozmernej a komplexnej keramiky z karbidu kremíka s dutou štruktúrou špeciálneho tvaru boli vylepšené komponenty vrátane ultra presnej základne obrobku, ultra presného vzduchového plavákového vedenia a ramena prevodu plátkov.
Nielen vyššie uvedené keramické diely z karbidu kremíka, ktoré spĺňajú ultra-vysoko presné tvrdé indikátory rovinnosti, rovnobežnosti a zvislosti, pre vysoko čisté keramické diely z karbidu kremíka potrebné pre procesy difúzie plátkov, dopovania a leptania v polovodičovom priemysle , najmä v technológii prípravy materiálu CVDSiC s vysokou čistotou, má vyspelú procesnú technológiu a realizovala výrobu keramických krištáľových člnov z karbidu kremíka s vysokou čistotou, keramických ložiskových platní z karbidu kremíka, keramickej vzduchovej pohyblivej platformy z karbidu kremíka, ultra karbidu kremíka -presná pohyblivá plošina, vodiaca koľajnica z karbidu kremíka, komponenty posuvnej koľajnice z karbidu kremíka.
V budúcnosti budeme ďalej rozširovať aplikáciu materiálov z karbidu kremíka v polovodičovom priemysle a prispejeme k modernizácii reťazca polovodičového priemyslu a keramického priemyslu karbidu kremíka. Čínsky presný nezávislý výskum keramických komponentov z karbidu kremíka a propagácia domácich aplikácií sa práve začali, s energickým rozvojom polovodičového priemyslu, dopyt na trhu po tomto druhu špičkovej keramickej štruktúry bude čoraz väčší, karbid kremíka s vynikajúcimi fyzikálnymi a chemických vlastností má v polovodičovom priemysle široké uplatnenie.
Keramika z karbidu kremíka má nielen vynikajúce mechanické vlastnosti pri izbovej teplote, ako je vysoká pevnosť v ohybe, vynikajúca odolnosť proti oxidácii, dobrá odolnosť proti korózii, vysoká odolnosť proti opotrebovaniu a nízky koeficient trenia, ale aj mechanické vlastnosti pri vysokých teplotách (pevnosť, odolnosť proti tečeniu atď.) sú najznámejšie keramické materiály. Karbid kremíka má vlastnosti odolnosti proti korózii, odolnosti voči vysokej teplote, vysokej pevnosti, dobrej tepelnej vodivosti, odolnosti proti nárazu... atď.
Požiadavky litografického stroja na štruktúru stola obrobku: Ultraľahká (zníženie zotrvačnosti pohybu, zníženie zaťaženia motora), ultra vysoká stabilita (ultrapresné obrábanie vyžaduje vysoko presný pohyb a polohovanie, vyžadujúce minimálnu rozmerovú deformáciu tepelnej rozťažnosti a ďalšie faktory ), čistota (vysoká tvrdosť a vysoká odolnosť proti opotrebeniu), môže spĺňať technické požiadavky veľkých rozmerov, dutej tenkej steny, komplexnej štruktúry a presných konštrukčných dielov z karbidu kremíka pre kľúčové vybavenie výroby integrovaných obvodov reprezentované fotolitografickým strojom.
Funtyl schopnosti
Maximálna veľkosť:1600 mm.
Prispôsobenie štruktúry:ľahká konštrukcia, môže byť navrhnutá na zníženie hmotnosti konštrukcie.
Vysoká presnosť:Rovinnosť môže byť kontrolovaná s presnosťou 5 mikrónov alebo dokonca vyššou.