domov
Izdelki
Elektrostatična vpenjalna glava z združljivostjo, visoko gostoto, visoko strukturno trdnostjo s prilagojeno
Lastnosti
Združljivost | Prilagajanje | Visoka gostota | Visoka strukturna trdnost | Hiter čas dostave | Stroškovno učinkovito
Aplikacije
Lon-implantacija | Tanek film | Jedkati | Razvoj procesa | Oblikovanje opreme
Oblikovanje in izdelava
12-palčni Fab je dostavljen za preverjanje dejanske zmogljivosti, zagotavljanje regeneracije in popravila ter preverjanje razvoja in oblikovanja.
Z razvojem procesne opreme in procesne tehnologije polprevodnikov in integriranih vezij tradicionalne elektrostatične vpenjalne glave, ki uporabljajo organske polimerne materiale, kovinske okside in keramične materiale kot dielektrike, niso popolnoma združljive z materiali, kot so silicijeve rezine, safir in silicijev karbid. Zato se bodo postopoma razvile elektrostatične vpenjalne glave, združljive s prijemali za polprevodniške rezine prve, druge in tretje generacije.
Polimerna elektrostatična vpenjalna glava/grelec
Polimerni dielektrični material (polimer) je trenutno najpogosteje uporabljen elektrostatični material za vpenjanje, njegov postopek priprave je tudi najbolj zrel, polimerni dielektrični material po obdelavi s polimerno modifikacijo, električna, mehanska, temperaturna odpornost, lastnosti odpornosti na halogene se bodo močno izboljšale. Dielektrični material je vzorčen z drugimi integriranimi operacijami, nato pa je slojen z večstopenjsko vakuumsko veliko obremenitvijo, med notranjimi elektrodami pa se oblikuje gosta dielektrična izolacijska plast.
Polimerna elektrostatična vpenjalna glava
Tehnologija modifikacije polimera se uporablja za doseganje večje upornosti in relativne dielektrične konstante ter za doseganje stabilnejše vpenjalne sile.
Dielektrični materiali z visoko gostoto lahko zmanjšajo tveganje za trdne delce in mobilnost ionov.
Raznolikost vpenjalnih predmetov je lahko združljiva z vpenjanjem rezin iz različnih materialov.
Odlična odpornost proti koroziji v halogenih in plazemskih atmosferah.
Visoka stroškovna učinkovitost, kratko obdobje prevzema, primerno za razvoj proizvodnih procesov in preverjanje razvoja nove opreme.
Polimerna elektrostatična vpenjalna glava z grelcem
Lahko realizira postavitev več temperaturnih območij ogrevanja (do 20 temperaturnih območij) in ima dobro enakomernost temperature ogrevanja (±5 %℃@150℃).
Tehnologija vakuumske laminacije se uporablja za doseganje izjemno visoke gostote in temperatur segrevanja do 200 °C.
Enotna ogrevalna krivulja s širšim razponom nastavitev temperaturne krivulje.
Visoka stroškovna učinkovitost, kratko obdobje prevzema, primerno za razvoj proizvodnih procesov in preverjanje razvoja nove opreme.
Keramična elektrostatična vpenjalna glava/grelec
Tehnologija keramične koagulacije je izboljšan postopek sintranja pri razvoju keramičnih elektrostatičnih vpenjal in grelnikov iz glinice/aluminijevega nitrida. Njegovo jedro je uporaba različnih keramičnih praškov nanometrskega premera, ki se zmešajo v določenem razmerju z edinstveno opremo za mešanje in postopkom mešanja. Keramične elektrostatične vpenjalne glave z visoko gostoto, stabilno kristalno strukturo in enakomerno porazdelitvijo upornosti so bile sintrane z določeno temperaturno krivuljo sintranja v opremi za sintranje. Statična vpenjalna glava, izdelana s tehnologijo keramične koagulacije, ima visoko gostoto, stabilno kristalno strukturo in enakomerno porazdelitev volumske upornosti ter lahko uresniči normalno vpenjalno funkcijo čipa v težkih okoljih pod visokim vakuumom, plazmo in halogenom.
Al₂O₃ elektrostatična vpenjalna glava
Volumski upor je nadzorovan s koagulacijsko keramično tehnologijo in postopkom sožiganja, da se doseže daljša držalna sila.
Notranja struktura visokotemperaturnega sintranja je gosta in kristalna struktura je stabilna, zato je mogoče doseči zadrževalno zmogljivost večjega temperaturnega intervala.
Integrirano modeliranje s sosežigom zmanjša migracijo ionov.
Trajno delovanje v atmosferi plazemskega halogenskega vakuuma.
AlN elektrostatična vpenjalna glava
Z nadzorom sestave in deleža betonskega materiala je mogoče nadzorovati prostorninsko upornost in doseči zadrževalno zmogljivost v večjem temperaturnem intervalu.
Enakomerna razporeditev temperaturnih con je zagotovljena s tehnologijo sintranja in postopkom sožiga betonske keramike.
Vgrajeno modeliranje s sožigom za čim večjo kakovost izdelka.
Trajno delovanje v atmosferi plazemskega halogenskega vakuuma.
Keramična elektrostatična vpenjalna glava z grelcem
Lahko realizira postavitev več temperaturnih območij ogrevanja in ima dobro enakomernost temperature ogrevanja (±7,5% ℃ pri 350 ℃).
Tehnologija sintranja vakuumskega laminiranja se uporablja za doseganje izjemno visoke temperature zgoščevanja in segrevanja do 550 ℃.
Vgrajeno modeliranje s sožigom za čim večjo kakovost izdelka.
Trajno delovanje v atmosferi plazemskega halogenskega vakuuma.
Kompleksna elektrostatična vpenjalna glava/grelec
Lahko je združljiv s silicijem, galijevim arzenidom, silicijevim karbidom, safirjem za vpenjanje rezin, lahko zmanjša stroške menjave žice proizvajalcev opreme in končnih uporabnikov. Na podlagi tehnologije betonske keramike in tehnologije modifikacije polimerov lahko uporaba integrirane vakuumske laminacije in tehnologije vročega lepljenja zmanjša notranji toplotni upor elektrostatičnega sesalca, doseže notranjo temperaturno enakomernost, oblikuje gosto dielektrično izolacijsko plast za izboljšanje odpornosti proti migraciji ionov.
Kompleksna elektrostatična vpenjalna glava
Uporaba tehnologije modifikacije betonske keramike in polimerov ima večjo gostoto strukture in manjše sproščanje plina.
Strožji nadzor dielektrične plasti in debeline banke elektrod.
Raznolikost vpenjalnih predmetov je lahko združljiva z vpenjanjem različnih rezin.
Upornost telesa je mogoče natančno nadzorovati, da se doseže močnejša elektrostatična zadrževalna zmogljivost.
Visoka stroškovna učinkovitost, kratko obdobje prevzema, primerno za razvoj proizvodnih procesov in preverjanje razvoja nove opreme.
Kompleksna elektrostatična vpenjalna glava z grelcem
Lahko realizira postavitev več temperaturnih območij ogrevanja in ima dobro enakomernost temperature ogrevanja (±3,5% ℃ pri 150 ℃).
Tehnologija vakuumske laminacije se uporablja za doseganje izjemno visoke gostote in temperatur segrevanja do 200 °C.
Enotna ogrevalna krivulja s širšim razponom nastavitev temperaturne krivulje.
Visoka stroškovna učinkovitost, kratko obdobje prevzema, primerno za razvoj proizvodnih procesov in preverjanje razvoja nove opreme.