domov
Glavni izdelek
Mikroporozna keramična vakuumska vpenjalna glava
Lastnosti keramične vakuumske vpenjalne glave
Močna prepustnost: enotna prepustnost zraka in prepustnost vode, da se zagotovi enakomerna sila in tesno adsorpcija silicijeve rezine v procesu mletja brez drsenja.
Gosta in enakomerna struktura: sprejetje mikroporoznega keramičnega materiala z gosto in enotno strukturo, na katero ni enostavno adsorbirati silikonskega prahu, vpenjalno glavo pa je enostavno očistiti.
Visoka trdnost: brez deformacij med brušenjem, da se zagotovi, da je silicijeva rezina enakomerno obremenjena na vsaki točki pri brušenju, in ni enostavno priti do pojavov zrušitve robov, drobirja.
Dolga življenjska doba: zadrževanje oblike površine je dobro, cikel obdelave je dolg in količina obloge je majhna, zato ima dolgo življenjsko dobo.
Enostavno obdelovanje: pri obrezovanju ne bo pokanja, drobljenja, mlatenja.
Lahek: Zaradi notranje strukture por je koeficient specifične teže 1,6-2,8.
Visoka izolacija: izolacijski material, odpravlja statično elektriko.
Nadzor natančnosti
| kategorijo | Osnovni material | Adsorpcijski površinski material | Velikost | Ravnost | globina vzporednosti |
| Porozna vpenjalna glava | Aluminijeva zlitina | Porozni SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20 μm |
| Nerjaveče jeklo | ≤10 μm | ≤15μm | |||
| Aluminijev oksid | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Silicijev karbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Porozna keramična vpenjalna glava ima celotno paleto specifikacij in velikosti, ki se lahko uporabljajo v 3-palčni liniji, 4-palčni liniji, 5-palčni liniji, 6-palčni liniji, 8-palčni liniji in 12-palčni liniji, in lahko prilagodite glede na specifikacije in velikosti, ki jih potrebujete. | |||||
| Največja velikost trenutnega ohišja je: 1600 * 1600 m, debelina je 50 mm; | |||||
Lastnosti poroznega keramičnega materiala:
Glavne sestavine: aluminijev oksid Barva: črna, železno siva
Vsebnost aluminijevega oksida: 92 % Vsebnost vlage: 0 %
Zaslonka: 2~30um Poroznost: 35~40%
Upogibna trdnost: 6 kgf/cm2 (Mpa) Volumensko razmerje: 2,28 g/cm3
Tip keramične vpenjalne glave
Glede na uporabo se keramične vpenjalne glave delijo na:
Stroj za redčenje, opremljen z: vpenjalno ploščo za brušenje, silikonsko rezino, safirno podlago in drugim redčenjem;
Rezalni stroj je opremljen z: vpenjalno glavo, silicijevimi rezinami, polprevodniškimi rezinami in drugim rezanjem;
Čistilni stroj opremljen z: čistilno vpenjalno glavo;
Stroj za odstranjevanje filma je opremljen z: vpenjalno glavo za odstranjevanje filma;
Stroj za kaširanje opremljen z: vpenjalno glavo;
Tiskarski stroj opremljen z: tiskalno vpenjalno glavo.
Zagotavljanje kakovosti
Fountyl ima dolgoletne tehnične izkušnje na področju inženiringa keramične natančnosti in ultra-natančne obdelave in proizvodnje, različnih instrumentov za fizikalno in kemično analizo ter geometrijskih merilnih instrumentov, da zagotovi stabilnost proizvodnje in doslednost izdelka za keramične vpenjalne glave.
Uporaba izdelka
Porozna vpenjalna glava (adsorpcijska delovna miza) je komponenta, ki se uporablja v fazi izdelave polprevodnikov in je sestavljena na pisalnem stroju ali kontrolni napravi. Je izdelek, ki lahko uporabi porozno strukturo in podtlak površine delovne mize, da ohrani tanko silikonsko rezino ravno. Stroj za črkanje reže silicijeve rezine s širino približno 20 μm, zato so zahteve po ravnosti in vzporednosti adsorpcijske površine rezin zelo visoke. Glede na njihove značilnosti imajo različne strukture por različne obsege uporabe, kot je mikroporozna keramika z veliko specifično površino in majhno velikostjo por, ki se običajno uporablja pri bakterijski filtraciji in na področjih fiksacije mikrobov; Mezoporozna keramika s svojo specifično porazdelitvijo premera se pogosto uporablja na področjih ločevanja, adsorpcijske katalize. Makroporozna keramika je običajno primerna za grobo filtracijo snovi z veliko vsebnostjo in velikostjo.