domov
Glavni izdelek
Kvadratni žarek in vodilo za izjemno natančno platformo gibanja in opremo za zaznavanje
Če za primer vzamemo sklop vakuumske vpenjalne glave, je bil material, uporabljen v najzgodnejši dobi 2- in 4-palčne rezine, letalski aluminij, vendar je v dobi velikih velikosti naletel na ozko grlo ultra visoke ravnosti (bolje od 1 mikrona). rezin (8 "in več kot 8"), ki ne morejo izpolnjevati trdega indeksa ultravisoke ravnosti in se izloči. Nato material aluminijevega oksida kot prehod, njegov modul elastičnosti, majhna teža, toplotna prevodnost in koeficient raztezanja ter pritlikavec iz silicijevega karbida, vendar ne na nekaj neprijetno; Po preboju v tehnologiji priprave keramike iz silicijevega karbida velike velikosti in kompleksne votle strukture posebne oblike so bile nadgrajene komponente, vključno z ultra-natančnim podnožjem obdelovanca, ultra-natančnim zračnim plovnim vodilom in roko za prenos rezin.
Ne le zgoraj omenjeni keramični deli iz silicijevega karbida, ki izpolnjujejo ultravisoko precizne trde kazalnike ravnosti, vzporednosti in navpičnosti, tudi keramični deli iz silicijevega karbida visoke čistosti, ki so potrebni za postopke difuzije rezin, dopiranja in jedkanja v industriji polprevodnikov. , zlasti v tehnologiji priprave materiala CVDSiC visoke čistosti, ima zrelo procesno tehnologijo in je uresničil proizvodnjo keramičnega kristalnega čolna iz silicijevega karbida visoke čistosti, keramične ležajne plošče iz silicijevega karbida, keramične zračne plavajoče platforme iz silicijevega karbida, ultra silicijevega karbida -natančna premična platforma, vodilna tirnica iz silicijevega karbida, komponente drsne tirnice iz silicijevega karbida.
V prihodnosti bomo še razširili uporabo silicijevih karbidnih materialov v industriji polprevodnikov in prispevali k nadgradnji verige polprevodniške industrije in industrije silicijeve karbidne keramike. Kitajske natančne neodvisne raziskave keramičnih komponent iz silicijevega karbida in promocija domačih aplikacij so se pravkar začele, z močnim razvojem polprevodniške industrije bo tržno povpraševanje po tovrstnih vrhunskih keramičnih strukturah čedalje večje, silicijev karbid z odlično fizično in kemijske lastnosti ima v industriji polprevodnikov široke možnosti uporabe.
Keramika iz silicijevega karbida nima le odličnih mehanskih lastnosti pri sobni temperaturi, kot so visoka upogibna trdnost, odlična odpornost proti oksidaciji, dobra odpornost proti koroziji, visoka odpornost proti obrabi in nizek koeficient trenja, ampak tudi mehanske lastnosti pri visokih temperaturah (trdnost, odpornost proti lezenju itd.) so najbolj znani keramični materiali. Silicijev karbid ima značilnosti odpornosti proti koroziji, odpornosti na visoke temperature, visoke trdnosti, dobre toplotne prevodnosti, odpornosti na udarce ... itd.
Zahteve litografskega stroja za strukturo mize obdelovanca: ultra lahka (zmanjša vztrajnost gibanja, zmanjša obremenitev motorja), ultra visoka stabilnost (ultra natančna obdelava zahteva visoko natančno gibanje in pozicioniranje, kar zahteva minimalno dimenzijsko deformacijo zaradi toplotnega raztezanja in drugih dejavnikov ), čistoča (visoka trdota in visoka odpornost proti obrabi), lahko izpolnjuje tehnične zahteve velike velikosti, votle tanke stene, kompleksne strukture in natančnih strukturnih delov iz silicijevega karbida za ključno opremo za proizvodnjo integriranih vezij, ki jo predstavlja fotolitografski stroj.
Zmogljivosti Fountyla
Največja velikost:1600 mm.
Prilagoditev strukture:lahka struktura, lahko je oblikovana tako, da zmanjša težo strukture.
Visoka natančnost:Ploskost je mogoče nadzorovati do 5 mikronov ali celo več.