Guriga
Alaabta
Electrostatic Chuck oo leh iswaafajin, cufnaan sare, xoog dhismeed sare leh oo la habeeyey
Astaamaha
Waafaqid | Habaynta | Cufnaanta Sare | Xoog Dhisme Sare | Wakhtiga Degdega ah | Kharash-ku-ool ah
Codsiyada
Ku-tallaalidda dheer | Filimka khafiifka ah | Etch | Horumarinta Geedi socodka | Naqshadeynta Qalabka
Naqshadeynta iyo Wax-soo-saarka
12 inch Fab oo la keeno si loo xaqiijiyo waxqabadka dhabta ah, bixinta dib u soo kabashada iyo dayactirka, iyo xaqiijinta horumarinta iyo naqshadeynta.
Qalabka nidaamka iyo horumarinta tignoolajiyada ee semiconductor-ka iyo isku-dhafka isku-dhafka ah, chucks-ka elektrostatic-dhaqameedka iyadoo la adeegsanayo agabka polymer organic, oxides biraha iyo walxaha dhoobada sida dielectrics si buuxda uma la jaanqaadi karaan qalabkan sida wafers silicon, sapphire iyo silicon carbide. Sidaa darteed, qalabka korantada ee ku habboon jiilka koowaad, labaad iyo jiilka saddexaad ee semiconductor wafer grippers ayaa si tartiib tartiib ah u kobci doona.
Polymer Electrostatic Chuck / Kuleyliyaha
Maaddada dielectric polymer (Polymer) hadda waa qalabka ugu badan ee loo isticmaalo chuck electrostatic, habka diyaarintiisa sidoo kale waa kan ugu bislaaday, maadada dielectric polymer ka dib daaweynta wax ka beddelka polymer, koronto, farsamo, caabbinta heerkulka, guryaha caabbinta halogen ayaa si weyn loo hagaajin doonaa. Maaddada dielectric waxaa habeeyay hawlo kale oo isku dhafan, ka dibna lakabyo badan oo vacuum load culus, iyo lakabka dahaarka dielectric cufan ayaa ka dhex abuurmay electrodes gudaha.
Polymer Electrostatic Chuck
Farsamada wax ka beddelka polymerka waxaa loo adeegsadaa si loo gaaro iska caabin bulk sare iyo joogto ah dielectric qaraabo ah, iyo in la helo xoog xajin oo xasilloon.
Qalabka dielectric cufnaanta sare waxay yarayn kartaa khatarta walxaha qaybsan waxayna yareyn kartaa dhaqdhaqaaqa ion.
Kala duwanaanshaha walxaha isku dhejinta waxay la jaan qaadi karaan xajinta waferrada alaabta kala duwan.
Iska caabbinta daxalka heersare ah ee halogen iyo jawiga balaasmaha.
Waxqabadka qiimaha sarreeya, muddada aqbalaadda gaaban, ku habboon horumarinta habka wax soo saarka iyo xaqiijinta horumarinta qalabka cusub.
Kuleyliyaha Polymer Electrostatic Chuck
Waxay xaqiijin kartaa qaabaynta aagagga kulaylka badan (ilaa 20 aag heerkulbeeg ah), waxayna leedahay lebbiska heerkulka kulaylka wanaagsan (± 5% ℃@150 ℃).
Tiknoolajiyada Vacuum laminating waxaa loo isticmaalaa in lagu gaaro cufnaanta aad u sareysa iyo kulaylka ilaa 200 ° C.
Qalooca kuleyliyaha lebbisan, oo leh heerar kala duwan oo heerkulbeeg ah oo kala duwan.
Waxqabadka qiimaha sarreeya, muddada aqbalaadda gaaban, ku habboon horumarinta habka wax soo saarka iyo xaqiijinta horumarinta qalabka cusub.
Ceramics Electrostatic Chuck / Kuleyliyaha
Farsamaynta xinjirowga dhoobada waa habsocod wanagsan oo sintering ah ee horumarinta alumina/aluminium nitride dhoobada chucks electrostatic iyo kuleyliyaha. Xuddunta waa in la isticmaalo noocyo kala duwan oo ah dhexroor nanometer ah budada dhoobada ah, kuwaas oo lagu qaso qayb gaar ah iyada oo loo marayo qalab isku dhafan oo gaar ah iyo habka isku dhafka. Xirmooyinka korantada dhoobada leh cufnaanta sare, qaab dhismeedka crystal-ka deggan iyo qaybinta iska caabbinta labbiska ah ayaa lagu jeexjeexay qalooca heerkulbeeg gaar ah oo ka mid ah qalabka sintay. Chuck-ka taagan ee ay soo saartay tignoolajiyada isku-darka dhoobada ayaa leh cufnaan sare, qaab-dhismeedka crystal-ka iyo qaybinta iska caabbinta mugga lebbiska ah, waxayna xaqiijin kartaa shaqada isku-xidhka caadiga ah ee chip-ka deegaanka qallafsan ee hoos yimaada faakuum sare, plasma iyo halogen.
Al₂O₃ Electrostatic Chuck
Iska caabbinta mugga waxaa xakameynaya tignoolajiyada dhoobada xinjirowga ah iyo habka isku-dubbaridka si loo helo xoog haynta dheer.
Qaab dhismeedka gudaha ee sintering heerkulka sare waa cufan iyo qaab-dhismeedka crystal waa mid deggan, iyo awoodda haynta ee bareeg heerkulka ka weyn ayaa la heli karaa.
Isku-dubbarid isku-dhafan oo wax-is-qabad ah waxay yaraynaysaa socdaalka ion.
Hawlgalka waarta ee jawiga vacuum plasma halogen.
AlN Electrostatic Chuck
Iyada oo la xakameynayo halabuurka iyo saamiga walxaha la taaban karo, iska caabinta mugga ayaa la xakameyn karaa iyo awoodda xajinta ee muddada heerkulka weyn ayaa la heli karaa.
Qaybinta aagga heerkulbeegga lebiska ah waxaa lagu hubiyaa tignoolajiyada sinta iyo habka isku-dubbada ee dhoobada shubka ah.
Naqshadeynta isku-dhafan ee isku-dhafan si kor loogu qaado tayada alaabta.
Hawlgalka waarta ee jawiga vacuum plasma halogen.
Ceramics Electrostatic Chuck oo leh kuleyliyaha
Waxay xaqiijin kartaa qaabaynta aagagga kulaylka badan, waxayna leedahay lebis heerkul kuleyl oo wanaagsan (± 7.5% ℃@350 ℃).
Tignoolajiyada sintering vacuum laminating waxaa loo isticmaalaa in lagu gaaro cufnaanta aadka u sarreeya iyo kulaylka ilaa 550 ℃.
Naqshadeynta isku-dhafan ee isku-dhafan si kor loogu qaado tayada alaabta.
Hawlgalka waarta ee jawiga vacuum plasma halogen.
Nooca Complex Electrostatic Chuck / Kuleyliyaha
Waxay la jaan qaadi kartaa silikoon, gallium arsenide, silicon carbide, sapphire of wafer clamping, waxay yarayn kartaa qiimaha beddelka siliga soosaarayaasha qalabka iyo isticmaalayaasha dhamaadka. Iyada oo ku saleysan tignoolajiyada dhoobada la taaban karo iyo tignoolajiyada wax ka beddelka polymer, isticmaalka tignoolajiyada isku dhafan ee faakuumka iyo tignoolajiyada isku xidhka kulul waxay yarayn kartaa iska caabbinta kulaylka gudaha ee suugada elektrostatic, waxay gaadhaan labbiska heerkulka gudaha, samee lakabka daboolka dielectric cufan si loo hagaajiyo waxqabadka iska caabinta ion ee socdaalka.
Nooca Complex Electrostatic Chuck
Isticmaalka tignoolajiyada wax ka beddelka dhoobada la taaban karo iyo polymer, waxay leedahay qaab-dhismeed cufan oo sarreeya iyo sii-deynta gaasta hoose.
Xakamaynta adag ee lakabka dielectric iyo dhumucda bangiga korantada.
Kala duwanaanshaha walxaha isku dhejinta waxay la jaan qaadi karaan isku-xidhka maraqa kala duwan.
Iska caabbinta jirka si sax ah ayaa loo xakameyn karaa si loo helo awood koronto oo xoog leh.
Waxqabadka qiimaha sarreeya, muddada aqbalaadda gaaban, ku habboon horumarinta habka wax soo saarka iyo xaqiijinta horumarinta qalabka cusub.
Nooca isku dhafan ee Electrostatic Chuck oo leh kuleyliyaha
Waxay xaqiijin kartaa qaabaynta aagagga kulaylka badan, waxayna leedahay lebis heerkul kuleyl oo wanaagsan (± 3.5% ℃@150 ℃).
Tiknoolajiyada Vacuum laminating waxaa loo isticmaalaa in lagu gaaro cufnaanta aad u sareysa iyo kulaylka ilaa 200 ° C.
Qalooca kuleyliyaha lebbisan, oo leh heerar kala duwan oo heerkulbeeg ah oo kala duwan.
Waxqabadka qiimaha sarreeya, muddada aqbalaadda gaaban, ku habboon horumarinta habka wax soo saarka iyo xaqiijinta horumarinta qalabka cusub.