Leave Your Message
Trarë katror dhe shina udhëzuese për platformën e lëvizjes dhe pajisjet e zbulimit ultra preciz

Produkti kryesor

Trarë katror dhe shina udhëzuese për platformën e lëvizjes dhe pajisjet e zbulimit ultra preciz

Platforma e lëvizjes lundruese me ajër qeramike karabit silikoni, platformë lëvizëse ultra precize karabit silikoni, hekurudhë udhëzuese karabit silikoni, hekurudhë rrëshqitëse karabit silikoni, thithëse vakumi karabit silikoni, pasqyrë karabit silikoni, trarë karabit silikoni, tavolinë karabit të silikonit dhe një seri karbidesh silikoni pjesët strukturore për makinën e litografisë, janë një nga komponentët thelbësorë të makinës së litografisë. Funksioni i tij kryesor është të mbajë vaferën për të bërë lëvizje me shpejtësi të lartë me precizion të lartë sipas trajektores së lëvizjes së specifikuar dhe të kryejë një sërë veprimesh të nevojshme për ekspozimin, duke përfshirë lart e poshtë, shtrirjen, matjen e profilit të vaferit dhe ekspozimin, që kërkon një saktësi lëvizjeje. prej 2 nm në rastin e lëvizjes me shpejtësi të lartë.

    Duke marrë si shembull montimin e çakut me vakum, materiali i përdorur në epokën më të hershme të vaferës 2 inç dhe 4 inç është alumini i aviacionit, por ai ka hasur në pengesën e sheshtësisë ultra të lartë (më mirë se 1 mikron) në epokën e përmasave të mëdha vafera (8 "dhe më shumë se 8"), të cilat nuk mund të plotësojnë indeksin e fortë të rrafshueshmërisë ultra të lartë dhe eliminohen. Tjetra, materiali i aluminit si tranzicion, moduli i tij elastik, pesha e lehtë, përçueshmëria termike dhe koeficienti i zgjerimit dhe xhuxh karabit silikoni, por jo në disa të turpshme; Pas përparimit në teknologjinë e përgatitjes së qeramikës karabit silikoni me strukturë të zbrazët me madhësi të madhe dhe komplekse në formë të veçantë, komponentët duke përfshirë bazën e pjesës së punës ultra precize, udhëzuesin e notimit me ajër ultra preciz dhe krahun e transmetimit të vaferës janë përmirësuar.

    Jo vetëm pjesët qeramike të sipërpërmendura të karbitit të silikonit që plotësojnë treguesit e fortë me precizion jashtëzakonisht të lartë për rrafshimin, paralelizmin dhe vertikalitetin, për pjesët qeramike të karbitit të silikonit me pastërti të lartë të kërkuara për proceset e difuzionit të vaferës, dopingut, gravurës në industrinë e gjysmëpërçuesve , veçanërisht në teknologjinë e përgatitjes së materialit me pastërti të lartë CVDSiC, ka një teknologji procesi të pjekur dhe ka realizuar prodhimin e varkës kristali qeramike me karabit silikoni me pastërti të lartë, pllakën mbajtëse qeramike karabit silikoni, platformën e lëvizjes lundruese të ajrit qeramike karabit silikoni, karabit silikoni ultra -Platformë lëvizëse precize, hekurudhë udhëzuese me karabit silikoni, komponentë hekurudhore me karabit silikoni.

    Në të ardhmen, ne do të zgjerojmë më tej aplikimin e materialeve të karbitit të silikonit në industrinë e gjysmëpërçuesve dhe do të kontribuojmë në përmirësimin e zinxhirit të industrisë së gjysmëpërçuesve dhe industrisë qeramike të karabit të silikonit. Kërkimi i pavarur i komponentëve qeramikë të karbitit të silikonit në Kinë sapo ka filluar kërkimi i pavarur dhe promovimi i aplikacioneve vendase, me zhvillimin e vrullshëm të industrisë së gjysmëpërçuesve, kërkesa e tregut për këtë lloj strukture qeramike të nivelit të lartë do të jetë gjithnjë e më e madhe, karabit silikoni me fizikun e tij të shkëlqyer dhe vetitë kimike, në industrinë e gjysmëpërçuesve ka perspektiva të gjera aplikimi.

    Qeramikat e karbitit të silikonit jo vetëm që kanë veti të shkëlqyera mekanike në temperaturën e dhomës, të tilla si forca e lartë përkulëse, rezistencë e shkëlqyer oksidimi, rezistencë e mirë ndaj korrozionit, rezistencë e lartë ndaj konsumit dhe koeficient të ulët të fërkimit, por edhe veti mekanike në temperaturë të lartë (fortësi, rezistencë ndaj zvarritjes, etj.) janë materialet më të njohura qeramike. Karbidi i silikonit ka karakteristikat e rezistencës ndaj korrozionit, rezistencës ndaj temperaturës së lartë, forcës së lartë, përçueshmërisë së mirë termike, rezistencës ndaj ndikimit ... etj.

    Kërkesat e makinës së litografisë për strukturën e tavolinës së pjesës së punës: Shumë e lehtë (zvogëloni inercinë e lëvizjes, zvogëloni ngarkesën e motorit), stabilitet ultra të lartë (përpunimi ultra preciz kërkon lëvizje dhe pozicionim me saktësi të lartë, që kërkon deformim minimal dimensional të zgjerimit termik dhe faktorë të tjerë ), pastërtia (fortësi e lartë dhe rezistencë e lartë ndaj konsumit), Mund të plotësojë kërkesat teknike të përmasave të mëdha, murit të hollë të zbrazët, strukturës komplekse dhe pjesëve strukturore të karbitit të silikonit preciz për pajisjet kryesore të prodhimit të qarkut të integruar të përfaqësuar nga makina fotolitografike.

    Kapacitetet fountyl

    Madhësia maksimale:1600 mm.
    Përshtatja e strukturës:strukturë e lehtë, mund të projektohet për të reduktuar strukturën e peshës.
    Saktësi e lartë:Rrafshimi mund të kontrollohet brenda 5 mikronave ose me saktësi edhe më të lartë.