Кућа
Производи
0102030405
Електростатичка стезна глава са компатибилношћу, високом густином, високом структурном чврстоћом са прилагођеним
Карактеристике
Компатибилност | Прилагођавање | Висока густина | Висока структурна чврстоћа | Брзо време испоруке | Исплативо
Апликације
Лон-имплантација | Тхин Филм | Етцх | Развој процеса | Дизајн опреме
Дизајн и производња
12-инчни Фаб испоручен да провери стварне перформансе, обезбеди регенерацију и поправку и верификује развој и дизајн.
Са развојем процесне опреме и процесне технологије полупроводника и интегрисаног кола, традиционалне електростатичке стезне главе које користе органске полимерне материјале, металне оксиде и керамичке материјале као диелектрике нису у потпуности компатибилне са таквим материјалима као што су силицијумске плочице, сафир и силицијум карбид. Због тога ће се постепено развијати електростатичке стезне главе компатибилне са првом, другом и трећом генерацијом полупроводничких хватача плочица.
Полимерна електростатичка стезна глава / грејач
Полимерни диелектрични материјал (Полимер) је тренутно најраспрострањенији материјал за електростатичку стезну главу, његов процес припреме је такође најзрелији, полимерни диелектрични материјал након третмана модификације полимера, електрична, механичка, температурна отпорност, својства отпорности на халогене биће знатно побољшана. Диелектрични материјал је обликован другим интегрисаним операцијама, а затим слојевит вишестепеним вакуумским тешким оптерећењем, а густи диелектрични изолациони слој се формира између унутрашњих електрода.
Полимерна електростатичка стезна глава
Технологија модификације полимера се користи за постизање веће отпорности и релативне диелектричне константе и добијања стабилније силе стезања.
Диелектрични материјали високе густине могу смањити ризик од честица и смањити покретљивост јона.
Разноликост предмета за стезање може бити компатибилна са стезањем плочица од различитих материјала.
Одлична отпорност на корозију у халогеним и плазма атмосферама.
Високе перформансе трошкова, кратак период прихватања, погодан за развој процеса производа и верификацију развоја нове опреме.
Полимерна електростатичка стезна глава са грејачем
Може да реализује распоред више температурних зона грејања (до 20 температурних зона) и има добру униформност температуре грејања (±5%℃@150℃).
Технологија вакуумског ламинирања користи се за постизање изузетно високе густине и температуре загревања до 200°Ц.
Уједначена крива грејања, са ширим опсегом температурне криве Подешавања.
Високе перформансе трошкова, кратак период прихватања, погодан за развој процеса производа и верификацију развоја нове опреме.
Керамика Електростатичка стезна глава / грејач
Технологија керамичке коагулације је побољшани процес синтеровања у развоју керамичких електростатичких стезаљки и грејача од алуминијума/алуминијум нитрида. Његово језгро је коришћење различитих керамичких прахова пречника нанометара, који се мешају у одређеној пропорцији кроз јединствену опрему за мешање и процес мешања. Керамичке електростатичке стезне главе високе густине, стабилне кристалне структуре и равномерне расподеле отпора су синтероване са одређеном температурном кривом синтеровања у опреми за синтеровање. Статичка стезна глава произведена технологијом керамичке коагулације има високу густину, стабилну кристалну структуру и уједначену расподелу отпорности запремине и може да оствари нормалну функцију стезања чипа у тешком окружењу под високим вакуумом, плазмом и халогеном.
Ал₂О₃ Електростатичка стезна глава
Отпор запремине се контролише технологијом коагулационе керамике и процесом заједничког печења да би се добила дужа сила држања.
Унутрашња структура високотемпературног синтеровања је густа и кристална структура је стабилна, а може се добити капацитет задржавања већег температурног интервала.
Интегрисано заједничко печење у калупу смањује миграцију јона.
Трајни рад у плазма халогеној вакуум атмосфери.
АлН електростатичка стезна глава
Контролом састава и пропорција бетонског материјала може се контролисати запремински отпор и постићи капацитет задржавања у већем температурном интервалу.
Уједначена дистрибуција температурних зона је обезбеђена технологијом синтеровања и процесом заједничког печења бетонске керамике.
Интегрисано заједничко печење калупа за максимизирање квалитета производа.
Трајни рад у плазма халогеној вакуум атмосфери.
Керамичка електростатичка стезна глава са грејачем
Може да реализује распоред више температурних зона грејања и има добру униформност температуре грејања (±7,5% ℃ @ 350 ℃).
Технологија вакуумског ламинирања синтеровања се користи за постизање изузетно високе температуре згушњавања и загревања до 550℃.
Интегрисано заједничко печење калупа за максимизирање квалитета производа.
Трајни рад у плазма халогеној вакуум атмосфери.
Комплексни тип електростатичке стезне главе / грејача
Може бити компатибилан са силицијумом, галијум арсенидом, силицијум карбидом, сафиром за стезање плочице, може смањити трошкове промене жице произвођача опреме и крајњих корисника. На основу технологије бетонске керамике и технологије модификације полимера, употреба интегрисане вакуумске ламинације и технологије врућег везивања може смањити унутрашњи топлотни отпор електростатичке сисаљке, постићи уједначеност унутрашње температуре, формирати густ диелектрични изолациони слој како би се побољшао учинак отпора на миграцију јона.
Електростатичка стезна глава сложеног типа
Употреба технологије бетонске керамичке и полимерне модификације, има већу густу структуру и мање ослобађање гаса.
Строжа контрола диелектричног слоја и дебљине групе електрода.
Разноликост предмета за стезање може бити компатибилна са стезањем различитих плочица.
Отпорност тела може се прецизно контролисати да би се добио јачи електростатички капацитет задржавања.
Високе перформансе трошкова, кратак период прихватања, погодан за развој процеса производа и верификацију развоја нове опреме.
Електростатичка стезна глава сложеног типа са грејачем
Може да реализује распоред више зона температуре грејања и има добру униформност температуре грејања (±3,5% ℃ @ 150 ℃).
Технологија вакуумског ламинирања користи се за постизање изузетно високе густине и температуре загревања до 200°Ц.
Уједначена крива грејања, са ширим опсегом температурне криве Подешавања.
Високе перформансе трошкова, кратак период прихватања, погодан за развој процеса производа и верификацију развоја нове опреме.