Lehae
Sehlahisoa se ka sehloohong
0102030405
Microporous Ceramic Vacuum Chuck
Likarolo tsa Ceramic vacuum chuck
Ho kenella ka matla: ho kenella ha moea ka mokhoa o ts'oanang le ho kenella ha metsi, ho netefatsa matla a ts'oanang le adsorption e tiileng ea sephaphatha sa silicon ts'ebetsong ea ho sila ntle le slide.
Sebopeho se teteaneng le se ts'oanang: Ho amoheloa ha thepa ea ceramic e nang le li-micro-porous e nang le sebopeho se teteaneng le se ts'oanang, seo ho seng bonolo ho se etsa lerōle la silicon, 'me chuck e bonolo ho hloekisoa.
Matla a phahameng: ha ho na deformation nakong ea ho sila, ho etsa bonnete ba hore sephaphatha sa silicon se hatelloa ka mokhoa o lekanang sebakeng se seng le se seng ha se sila, 'me ha ho bonolo ho etsahala liketsahalo tsa ho putlama ha bohale, lithōle.
Bophelo ba nako e telele: ho boloka sebopeho sa holim'a sefahleho se setle, nako ea ho apara e telele 'me tekanyo ea ho apara e nyenyane, kahoo e na le bophelo bo phahameng.
Ho apara habonolo: ho ke ke ha e-ba le ho phatloha, ho arohana, liketsahalo tsa ho pola ha u apara.
E bobebe: Ka lebaka la sebopeho sa ka hare sa li-pores, coefficient e khethehileng ea khoheli ke 1.6-2.8.
Insulation e phahameng: thepa e sireletsang, tlosa motlakase o tsitsitseng.
Taolo e Nepahetseng
| sehlopha | Lisebelisoa tsa motheo | Lintho tse ka holimo tsa Adsorption | Boholo | Bophatlalatsi | botebo ba ho bapisa |
| Porous chuck | Aluminium Alloy | Porous SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| Ts'epe e sa beng le mabali | ≤10μm | ≤15μm | |||
| Alumina | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Silicon Carbide | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Porous ceramic chuck e na le mefuta e mengata ea litlhaloso le boholo, e ka sebelisoang moleng oa 3-inch, 4-inch line, 5-inch line, 6-inch line, 8-inch line le 12-inch line, le e ka etsoa ho latela litlhaloso le boholo boo u bo hlokang. | |||||
| Boholo bo boholo ba nyeoe ea hona joale ke: 1600 * 1600m, botenya ke 50mm; | |||||
Litšobotsi tsa thepa ea porous ceramic:
Lisebelisoa tse ka sehloohong: alumina 'Mala: o motšo, o moputsoa oa tšepe
Likahare tsa aluminium: 92% Mongobo: 0%
Aperture: 2 ~ 30um Porosity: 35 ~ 40%
Matla a ho kobeha :6kgf/cm2 (Mpa) Karo-karolelano ea bophahamo: 2.28g/cm3
Mofuta oa Ceramic chuck
Ho latela ts'ebeliso, Ceramic chuck e arotsoe ka:
Mochini o tšesaane o nang le: abrasive disc chuck, silicon wafer, sapphire substrate le tse ling tse tšesaane;
Mochini oa ho itšeha o na le: scribing chuck, silicon wafer, semiconductor compound wafer le seha se seng;
Mochini oa ho hloekisa o nang le: ho hloekisa chuck;
Mochini oa ho tlosa lifilimi o na le: chuck ea ho tlosa filimi;
Laminating mochini a hlomelloa ka: laminating chuck;
Mochini oa khatiso o nang le: chuck ea khatiso.
Netefaletso ea boleng
Fountyl e na le lilemo tse ngata tsa boiphihlelo ba tekheniki mabapi le ho nepahala ha ceramic le ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng ka ho fetesisa le ho etsa tlhahiso, lisebelisoa tse fapaneng tsa tlhahlobo ea 'mele le lik'hemik'hale le lisebelisoa tsa ho lekanya tsa geometri, ho netefatsa botsitso ba tlhahiso le botsitso ba sehlahisoa bakeng sa chuck ea ceramic.
Sesebelisoa sa Sehlahisoa
Porous chuck (tafole e sebetsang ea adsorption) ke karolo e sebelisoang sethaleng sa tlhahiso ea semiconductor mme e bokelloa mochining oa ho ngola kapa sesebelisoa sa tlhahlobo. Ke sehlahisoa se ka sebelisang sebopeho sa porous le khatello e mpe ea holim'a sebaka sa mosebetsi ho boloka sephaphatha se tšesaane sa silicon se bataletse. Mochini o hlabang o khaola sephaphatha sa silicon ka bophara ba hoo e ka bang 20μm, ka hona, tlhoko ea ho ba sephara le ho tšoana ha bokaholimo ba sephaphatha sa adsorption e phahame haholo. Ho latela litšoaneleho tsa bona tse fapaneng, meaho e fapaneng ea li-pore e na le mefuta e fapaneng ea ts'ebeliso, joalo ka li-ceramics tse nyane tse nang le sebaka se seholo se ikhethileng le boholo bo nyane ba pore, hangata bo sebelisoang ho hloekisoa ha baktheria le masimong a ho lokisa likokoana-hloko; Li-ceramics tsa Mesoporous tse nang le kabo e khethehileng ea bophara ba tsona hangata li sebelisoa libakeng tsa karohano, adsorption catalysis. Li-ceramics tsa macroporous hangata li loketse ho hloekisoa ka thata ha lintho tse nang le litaba tse kholo le boholo bo boholo.