Lehae
Lihlahisoa
0102030405
Porous air floating platform le thekenoloji ea phetisetso ea mojaro ea mokhoa o sa amaneng le indasteri ea semiconductor
Sethala sa setso sa moea se phaphametseng ka kakaretso se amohela theknoloji e nyane ea lesoba, torus throttling kapa slit throttling technology, e khetholloang ka theknoloji e bonolo ea ts'ebetso, empa ha khatello ea moea e fetoha, ho bonolo ho hlahisa ts'ebetso ea mololi, molumo o bohale, 'me ho beleha. bokhoni bo boetse bo fetoha, bo sa lokelang bakeng sa tikoloho e khutsitseng le e tsitsitseng khatello ea ho sebetsa.
Li-substrates tsa khale tsa TFT-LCD li etsoa ke li-robots arms (Robots) le AGV (Automated guided vehicle). Glass substrate ts'ebetsong ea tlhahiso. Ke ts'ebetso ea ho ikopanya le sethala sa phalliso ea mojaro (kapa rolara). Ha karoloana ea khalase e kopana le sethala sa phalliso ea mojaro kapa rolara, ho ama le likhohlano ho baka tšenyo ena kapa mathata a likhutlo tse sieo, ho phatloha, tšenyo, tšilafalo, le motlakase o tsitsitseng holim'a karolo ea khalase, ebe o ama tlhahiso. lihlahisoa le boleng ba sehlahisoa, ho phaella ho tšebeliso ea rolara rotation phetiso mojaro, ntse ba le mathata a botekgeniki ho hlōla. Mathata ana a na le phello e kholo ho katleho ea tlhahiso ea li-substrates tsa boholo bo boholo ba likhalase 'me li hlokahala ka potlako hore li ntlafatsoe. Haeba thekenoloji ea sethaleng se phaphametseng ea moea e sa amaneng le eona e ka nka sebaka sa mathata a tsoang ho thekenoloji ea setso ea ho fetola mojaro, e tla ba tharollo e sebetsang. Melemo ea Sisteme ea Phalliso ea Moea:
1. Khohlano ea zero.
2. Zero apara.
3. Motsamao o otlolohileng, Motsamao oa ho potoloha oa sebetsa.
4. Ts'ebetso e khutsitseng le e boreleli.
5. E phahameng damping.
6. Felisa oli.
Sebopeho sa sethala se phaphametseng sa moea se entsoe ka lirafshoa tsa nano-porous tse kentsoeng motheong ho etsa kamore ea vacuum. moea o hloekileng o hatelitsoeng o nang le metsi a se nang metsi le o se nang oli o kenngoa ka har'a lekhalo la mokhoa oa moea pakeng tsa sebaka sa ho jara le seporo sa tataiso sa moea se phaphametseng ka phala ea khase. Khase e phalla ka har'a lekhalo la mokhoa oa moea ho etsa hore sebaka sa ho bea se phaphametse holim'a seporo sa tataiso se phaphametseng. Khase e sebetsa joalo ka setlolo sa ho tsamaisa kapa ho tsamaisa lintho ntle le likhohlano.
Kaho ea lesoba le tloaelehileng la moea o phaphametseng:
a) Sebopeho sa Orifice throttling
b) Sebopeho sa porous
Boholo bo hlophisitsoeng ka ho fetisisa: bolelele ba 1600mm, bophara ba 1000mm
Non-contact ho fetisa le mojaro ho sututsa thepa ke haholo-holo ho ntlafatsa mathata a bakoang ke setso ho tšoara thekenoloji ka mor'a hore khalase substrate e be kholoanyane, hobane ka ho fetisa le mojaro ho chencha tshebetso ha e kopane ka ho toba le ntho ea tshebetso, kahoo e ka qoba ketsahalo. ea sehokelo se silafetseng, khatello ea maikutlo, motlakase o tsitsitseng le tšenyo ea karoloana ea khalase. Ka lehlakoreng le leng, thepa ea porous e fokotsa haholo phallo ea khase, e finyella khatello e tšoanang ea moea le kabo e ntle ea mosamo oa moea, 'me e fana ka bophahamo bo lekaneng ba ho phaphamala bo hlokahalang bakeng sa ts'ebetso.