Nyumbani
Bidhaa
Chuck ya kielektroniki yenye utangamano, wiani wa juu, nguvu ya muundo wa juu na iliyobinafsishwa
Vipengele
Utangamano | Kubinafsisha | Msongamano wa Juu | Nguvu ya Juu ya Muundo | Wakati wa Uwasilishaji Haraka | Gharama nafuu
Maombi
Kupandikizwa kwa muda mrefu | Filamu Nyembamba | Eti | Maendeleo ya Mchakato | Usanifu wa Vifaa
Kubuni na Kutengeneza
Kitambaa cha inchi 12 kimewasilishwa ili kuthibitisha utendakazi halisi, kutoa uundaji upya na ukarabati, na kuthibitisha usanidi na muundo.
Pamoja na utengenezaji wa vifaa vya mchakato na teknolojia ya mchakato wa semiconductor na mzunguko jumuishi, chucks za kitamaduni za kielektroniki zinazotumia nyenzo za polima hai, oksidi za chuma na vifaa vya kauri kama dielectrics hazioani kikamilifu na nyenzo kama vile kaki za silicon, yakuti na kaboni ya silicon. Kwa hiyo, chucks za kielektroniki zinazoendana na vishikio vya kaki vya kizazi cha kwanza, cha pili na cha tatu vitakua polepole.
Polymer Electrostatic Chuck / Hita
Polymer dielectric nyenzo (Polymer) kwa sasa ni wengi sana kutumika umemetuamo chuck nyenzo, maandalizi mchakato wake pia ni kukomaa zaidi, polymer dielectric nyenzo baada ya matibabu polymer muundo, umeme, mitambo, joto upinzani, mali halogen upinzani itakuwa kuboreshwa sana. Nyenzo za dielectric zimeundwa na shughuli zingine zilizojumuishwa, na kisha zimewekwa na mzigo mzito wa utupu wa hatua nyingi, na safu mnene ya insulation ya dielectric huundwa kati ya elektroni za ndani.
Polymer Electrostatic Chuck
Teknolojia ya urekebishaji wa polima hutumiwa kufikia upinzani wa juu zaidi wa wingi na usawa wa dielectric, na kupata nguvu thabiti zaidi ya kushinikiza.
Nyenzo za dielectri zenye msongamano mkubwa zinaweza kupunguza hatari ya chembe chembe na kupunguza uhamaji wa ioni.
Utofauti wa vitu vya kubana unaweza kuendana na kubana kwa kaki za vifaa tofauti.
Upinzani bora wa kutu katika anga za halojeni na plasma.
Utendaji wa gharama ya juu, muda mfupi wa kukubalika, unaofaa kwa maendeleo ya mchakato wa bidhaa na uthibitishaji wa maendeleo ya vifaa vipya.
Chuck ya Umeme ya Polima Yenye Hita
Inaweza kutambua mpangilio wa maeneo mengi ya halijoto ya kupasha joto (hadi maeneo 20 ya halijoto), na ina ulinganifu mzuri wa halijoto ya kukanza (±5%℃@150℃).
Teknolojia ya laminating ya utupu hutumiwa kufikia msongamano wa juu sana na joto la joto hadi 200 ° C.
Curve sare ya kuongeza joto, iliyo na anuwai pana ya Mipangilio ya curve ya halijoto.
Utendaji wa gharama ya juu, muda mfupi wa kukubalika, unaofaa kwa maendeleo ya mchakato wa bidhaa na uthibitishaji wa maendeleo ya vifaa vipya.
Keramik Electrostatic Chuck / Hita
Teknolojia ya kuganda kwa kauri ni mchakato ulioboreshwa wa uwekaji sinter katika uundaji wa chucks na hita za alumini/alumini nitridi za kauri za kielektroniki. Msingi wake ni kutumia aina mbalimbali za poda za kauri za kipenyo cha nanometer, ambazo huchanganywa kwa uwiano fulani kupitia vifaa vya kipekee vya kuchanganya na mchakato wa kuchanganya. Chuki za kielektroniki za kauri zilizo na msongamano mkubwa, muundo thabiti wa fuwele na usambazaji sare wa uwezo wa kustahimili hali ya hewa zilichomwa kwa mkunjo fulani wa halijoto katika vifaa vya kuchezea. Chuki tuli iliyotengenezwa kwa teknolojia ya mgao wa kauri ina msongamano wa juu, muundo wa fuwele thabiti na usambazaji wa uwezo wa kustahimili sare, na inaweza kutambua utendakazi wa kawaida wa kubana kwa chip katika mazingira magumu chini ya utupu wa juu, plasma na halojeni.
Al₂O₃ Chuck ya Umeme
Upinzani wa kiasi unadhibitiwa na teknolojia ya kauri ya mgando na mchakato wa kurusha-kurusha ili kupata nguvu ndefu ya kushikilia.
Muundo wa ndani wa sintering ya joto la juu ni mnene na muundo wa kioo ni imara, na uwezo wa kushikilia wa muda mkubwa wa joto unaweza kupatikana.
Ukingo uliojumuishwa wa kurusha-kurusha hupunguza uhamaji wa ioni.
Operesheni ya kudumu katika anga ya utupu ya halojeni ya plasma.
AlN Electrostatic Chuck
Kwa kudhibiti utungaji na uwiano wa nyenzo za saruji, resistivity ya kiasi inaweza kudhibitiwa na uwezo wa kushikilia katika muda mkubwa wa joto unaweza kupatikana.
Usambazaji wa eneo la joto la sare huhakikishwa na teknolojia ya sintering na mchakato wa kurusha ushirikiano wa keramik halisi.
Ukingo jumuishi wa kurusha ili kuongeza ubora wa bidhaa.
Operesheni ya kudumu katika anga ya utupu ya halojeni ya plasma.
Chuck ya Umeme ya Keramik Pamoja na Hita
Inaweza kutambua mpangilio wa kanda nyingi za joto la kupokanzwa, na ina ulinganifu mzuri wa halijoto ya kukanza (±7.5%℃@350℃).
Teknolojia ya kuchuja laminating ya utupu hutumiwa kufikia msongamano wa juu sana na joto la joto hadi 550 ℃.
Ukingo jumuishi wa kurusha ili kuongeza ubora wa bidhaa.
Operesheni ya kudumu katika anga ya utupu ya halojeni ya plasma.
Aina Complex Electrostatic Chuck / Hita
Inaweza kuendana na silikoni, gallium arsenide, silicon carbudi, yakuti ya kaki clamping, inaweza kupunguza gharama za mabadiliko ya waya ya watengenezaji wa vifaa na watumiaji wa mwisho. Kulingana na teknolojia ya saruji ya kauri na teknolojia ya urekebishaji wa polima, matumizi ya lamination ya utupu jumuishi na teknolojia ya kuunganisha moto inaweza kupunguza upinzani wa ndani wa mafuta ya sucker ya umeme, kufikia usawa wa joto la ndani, kuunda safu ya insulation ya dielectric ili kuboresha utendaji wa upinzani wa uhamiaji wa ion.
Aina Changamano Chuck Electrostatic
Matumizi ya teknolojia ya urekebishaji wa kauri ya saruji na polymer, ina muundo wa mnene wa juu na kutolewa kwa gesi ya chini.
Udhibiti mkali wa safu ya dielectri na unene wa benki ya electrode.
Utofauti wa vitu vya kubana unaweza kuendana na kubana kwa kaki tofauti.
Ustahimilivu wa mwili unaweza kudhibitiwa kwa usahihi ili kupata uwezo mkubwa zaidi wa kushikilia tuli.
Utendaji wa gharama ya juu, muda mfupi wa kukubalika, unaofaa kwa maendeleo ya mchakato wa bidhaa na uthibitishaji wa maendeleo ya vifaa vipya.
Aina Changamano Chuck Electrostatic With heater
Inaweza kutambua mpangilio wa kanda nyingi za joto la kupasha joto, na ina ulinganifu mzuri wa halijoto ya kukanza (±3.5%℃@150℃).
Teknolojia ya laminating ya utupu hutumiwa kufikia msongamano wa juu sana na joto la joto hadi 200 ° C.
Curve sare ya kuongeza joto, iliyo na anuwai pana ya Mipangilio ya curve ya halijoto.
Utendaji wa gharama ya juu, muda mfupi wa kukubalika, unaofaa kwa maendeleo ya mchakato wa bidhaa na uthibitishaji wa maendeleo ya vifaa vipya.