Nyumbani
Bidhaa kuu
Boriti ya mraba na reli ya mwongozo kwa jukwaa la mwendo wa usahihi wa hali ya juu na vifaa vya kugundua
Tukichukulia kwa mfano mkusanyiko wa vacuum chuck, nyenzo iliyotumika katika enzi ya awali ya kaki ya inchi 2 na inchi 4 ni alumini ya anga, lakini imekumbana na ugumu wa kujaa kwa juu sana (bora kuliko micron 1) katika enzi ya ukubwa mkubwa. kaki (8 "na zaidi ya 8"), ambayo haiwezi kufikia index ngumu ya gorofa ya juu-juu na imeondolewa. Ijayo, alumina nyenzo kama mpito, moduli yake elastic, uzito mwanga, conductivity mafuta na upanuzi mgawo na silicon CARBIDE kibete, lakini si kwa baadhi ya aibu; Baada ya mafanikio katika teknolojia ya utayarishaji wa kauri za kauri za silicon zenye ukubwa mkubwa na umbo changamani zenye umbo la mashimo, vipengee vinavyojumuisha msingi wa sehemu ya kazi ya usahihi wa hali ya juu, mwongozo wa kuelea hewa kwa usahihi zaidi, na mkono wa kusambaza kaki umeboreshwa.
Si tu sehemu za kauri za silicon carbudi zilizotajwa hapo juu zinazokidhi viashirio gumu vya usahihi wa hali ya juu juu ya kujaa, ulinganifu na wima, kwa ajili ya sehemu za kauri za kaboni za silicon za usafi wa hali ya juu zinazohitajika kwa uenezaji wa kaki, doping, michakato ya kuunganisha katika sekta ya semiconductor. , hasa katika teknolojia ya usafi wa hali ya juu ya utayarishaji wa nyenzo za CVDSiC, ina teknolojia iliyokomaa ya mchakato, na imegundua utengenezaji wa mashua ya fuwele ya kauri ya silicon ya hali ya juu, sahani ya kubeba kauri ya silicon carbudi, jukwaa la harakati la kuelea la silicon CARBIDE hewa, silicon CARBIDE Ultra. -Jukwaa la kusonga kwa usahihi, reli ya mwongozo ya silicon carbide, vipengele vya reli ya silicon carbudi.
Katika siku zijazo, tutapanua zaidi matumizi ya vifaa vya silicon katika tasnia ya semiconductor na kuchangia katika uboreshaji wa mnyororo wa tasnia ya semiconductor na tasnia ya kauri ya silicon carbudi. Utafiti wa kujitegemea wa vipengele vya kauri vya silicon ya silicon ya kauri utafiti wa kujitegemea na uendelezaji wa matumizi ya ndani umeanza hivi karibuni, pamoja na maendeleo makubwa ya sekta ya semiconductor, mahitaji ya soko ya aina hii ya muundo wa kauri ya juu yatakuwa kubwa zaidi na zaidi, silicon carbudi pamoja na ubora wake wa kimwili na. kemikali mali, katika sekta ya semiconductor ina matarajio ya maombi pana.
Keramik za silicon carbide sio tu kuwa na sifa bora za mitambo kwenye joto la kawaida, kama vile nguvu ya juu ya kupiga, upinzani bora wa oxidation, upinzani mzuri wa kutu, upinzani wa kuvaa juu na mgawo wa chini wa msuguano, lakini pia sifa za mitambo ya joto la juu (nguvu, upinzani wa kutambaa, nk). ni vifaa vya kauri vinavyojulikana zaidi. Silicon carbudi ina sifa ya upinzani wa kutu, upinzani wa joto la juu, nguvu ya juu, conductivity nzuri ya mafuta, upinzani wa athari ... nk.
Mahitaji ya mashine ya lithography kwa muundo wa jedwali la kazi: Uzani mwepesi sana (punguza hali ya mwendo, punguza mzigo wa gari), utulivu wa hali ya juu (uchapaji wa usahihi wa hali ya juu unahitaji mwendo wa hali ya juu na uwekaji, unaohitaji deformation ndogo ya dimensional ya upanuzi wa mafuta na mambo mengine. ), usafi (ugumu wa hali ya juu na upinzani wa juu wa kuvaa), Inaweza kukidhi mahitaji ya kiufundi ya ukubwa mkubwa, ukuta mwembamba usio na mashimo, muundo tata na sehemu za kimuundo za usahihi za silicon carbudi kwa vifaa muhimu vya utengenezaji wa mzunguko jumuishi unaowakilishwa na mashine ya photolithography.
Uwezo wa Founyl
Ukubwa wa juu zaidi:1600 mm.
Ubinafsishaji wa muundo:muundo lightweight, inaweza iliyoundwa na kupunguza uzito muundo.
Usahihi wa juu:Utulivu unaweza kudhibitiwa ndani ya mikroni 5 au hata usahihi wa juu zaidi.