హోమ్
ఉత్పత్తులు
0102030405
అనుకూలత, అధిక సాంద్రత, అనుకూలీకరించిన అధిక నిర్మాణ బలంతో ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
లక్షణాలు
అనుకూలత | అనుకూలీకరణ | అధిక సాంద్రత | అధిక నిర్మాణ బలం | ఫాస్ట్ డెలివరీ సమయం | సమర్థవంతమైన ధర
అప్లికేషన్లు
లాన్-ఇంప్లాంటేషన్ | సన్నని చలనచిత్రం | Etch | ప్రక్రియ అభివృద్ధి | సామగ్రి రూపకల్పన
డిజైన్ మరియు తయారీ
12 అంగుళాల ఫ్యాబ్ వాస్తవ పనితీరును ధృవీకరించడానికి, పునరుత్పత్తి మరియు మరమ్మతులను అందించడానికి మరియు అభివృద్ధి మరియు రూపకల్పనను ధృవీకరించడానికి పంపిణీ చేయబడింది.
సెమీకండక్టర్ మరియు ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ యొక్క ప్రక్రియ పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ సాంకేతికత అభివృద్ధితో, సేంద్రీయ పాలిమర్ పదార్థాలు, మెటల్ ఆక్సైడ్లు మరియు సిరామిక్ పదార్థాలను విద్యుద్వాహకాలుగా ఉపయోగించే సాంప్రదాయ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు సిలికాన్ పొరలు, నీలమణి మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ వంటి పదార్థాలతో పూర్తిగా అనుకూలంగా లేవు. అందువల్ల, మొదటి, రెండవ మరియు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ వేఫర్ గ్రిప్పర్‌లకు అనుకూలమైన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు క్రమంగా అభివృద్ధి చెందుతాయి.
పాలిమర్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ / హీటర్
పాలిమర్ విద్యుద్వాహక పదార్థం (పాలిమర్) ప్రస్తుతం అత్యంత విస్తృతంగా ఉపయోగించే ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ పదార్థం, దాని తయారీ ప్రక్రియ కూడా అత్యంత పరిణతి చెందినది, పాలిమర్ సవరణ చికిత్స తర్వాత పాలిమర్ విద్యుద్వాహక పదార్థం, విద్యుత్, యాంత్రిక, ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, హాలోజన్ నిరోధకత లక్షణాలు బాగా మెరుగుపడతాయి. విద్యుద్వాహక పదార్థం ఇతర సమీకృత కార్యకలాపాల ద్వారా నమూనా చేయబడింది, ఆపై బహుళస్థాయి వాక్యూమ్ భారీ లోడ్ ద్వారా పొరలుగా ఉంటుంది మరియు అంతర్గత ఎలక్ట్రోడ్ల మధ్య దట్టమైన విద్యుద్వాహక నిరోధక పొర ఏర్పడుతుంది.
పాలిమర్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
అధిక బల్క్ రెసిస్టివిటీ మరియు సాపేక్ష విద్యుద్వాహక స్థిరాంకం సాధించడానికి మరియు మరింత స్థిరమైన బిగింపు శక్తిని పొందేందుకు పాలిమర్ సవరణ సాంకేతికత ఉపయోగించబడుతుంది.
అధిక సాంద్రత కలిగిన విద్యుద్వాహక పదార్థాలు నలుసు పదార్థాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తాయి మరియు అయాన్ చలనశీలతను తగ్గిస్తాయి.
బిగించే వస్తువుల వైవిధ్యం వివిధ పదార్థాల పొరల బిగింపుతో అనుకూలంగా ఉంటుంది.
హాలోజన్ మరియు ప్లాస్మా వాతావరణంలో అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత.
అధిక ధర పనితీరు, తక్కువ అంగీకార వ్యవధి, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ అభివృద్ధికి మరియు కొత్త పరికరాల అభివృద్ధి ధృవీకరణకు అనుకూలం.
హీటర్‌తో పాలిమర్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
ఇది మల్టిపుల్ హీటింగ్ టెంపరేచర్ జోన్‌ల (20 టెంపరేచర్ జోన్‌ల వరకు) లేఅవుట్‌ను గ్రహించగలదు మరియు మంచి హీటింగ్ ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను కలిగి ఉంటుంది (±5%℃@150℃).
200 ° C వరకు అధిక సాంద్రత మరియు తాపన ఉష్ణోగ్రతలను సాధించడానికి వాక్యూమ్ లామినేటింగ్ సాంకేతికత ఉపయోగించబడుతుంది.
విస్తృత శ్రేణి ఉష్ణోగ్రత వక్రత సెట్టింగ్‌లతో ఏకరీతి తాపన వక్రత.
అధిక ధర పనితీరు, తక్కువ అంగీకార వ్యవధి, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ అభివృద్ధికి మరియు కొత్త పరికరాల అభివృద్ధి ధృవీకరణకు అనుకూలం.
సెరామిక్స్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ / హీటర్
సిరామిక్ కోగ్యులేషన్ టెక్నాలజీ అనేది అల్యూమినా/అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు హీటర్‌ల అభివృద్ధిలో మెరుగైన సింటరింగ్ ప్రక్రియ. నానోమీటర్ వ్యాసం కలిగిన వివిధ రకాలైన సిరామిక్ పౌడర్‌లను ఉపయోగించడం దీని ప్రధానాంశం, వీటిని ప్రత్యేకమైన మిక్సింగ్ పరికరాలు మరియు మిక్సింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో కలుపుతారు. అధిక సాంద్రత, స్థిరమైన క్రిస్టల్ నిర్మాణం మరియు ఏకరీతి రెసిస్టివిటీ పంపిణీతో సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు సింటరింగ్ పరికరాలలో నిర్దిష్ట సింటరింగ్ ఉష్ణోగ్రత వక్రతతో సిన్టర్ చేయబడ్డాయి. సిరామిక్ కోగ్యులేషన్ టెక్నాలజీ ద్వారా తయారు చేయబడిన స్టాటిక్ చక్ అధిక సాంద్రత, స్థిరమైన క్రిస్టల్ నిర్మాణం మరియు ఏకరీతి వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ పంపిణీని కలిగి ఉంటుంది మరియు అధిక వాక్యూమ్, ప్లాస్మా మరియు హాలోజన్‌లో కఠినమైన వాతావరణంలో చిప్ యొక్క సాధారణ బిగింపు పనితీరును గ్రహించగలదు.
Al₂O₃ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ అనేది గడ్డకట్టే సిరామిక్ టెక్నాలజీ మరియు కో-ఫైరింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా ఎక్కువ కాలం పట్టుకునే శక్తిని పొందడం ద్వారా నియంత్రించబడుతుంది.
అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ యొక్క అంతర్గత నిర్మాణం దట్టమైనది మరియు క్రిస్టల్ నిర్మాణం స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు పెద్ద ఉష్ణోగ్రత విరామం యొక్క హోల్డింగ్ సామర్థ్యాన్ని పొందవచ్చు.
ఇంటిగ్రేటెడ్ కో-ఫైరింగ్ మౌల్డింగ్ అయాన్ వలసలను తగ్గిస్తుంది.
ప్లాస్మా హాలోజన్ వాక్యూమ్ వాతావరణంలో శాశ్వత ఆపరేషన్.
AlN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
కాంక్రీట్ పదార్థం యొక్క కూర్పు మరియు నిష్పత్తిని నియంత్రించడం ద్వారా, వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీని నియంత్రించవచ్చు మరియు పెద్ద ఉష్ణోగ్రత విరామంలో హోల్డింగ్ సామర్థ్యాన్ని పొందవచ్చు.
కాంక్రీట్ సెరామిక్స్ యొక్క సింటరింగ్ టెక్నాలజీ మరియు కో-ఫైరింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత జోన్ పంపిణీ నిర్ధారిస్తుంది.
ఉత్పత్తి నాణ్యతను పెంచడానికి ఇంటిగ్రేటెడ్ కో-ఫైరింగ్ మౌల్డింగ్.
ప్లాస్మా హాలోజన్ వాక్యూమ్ వాతావరణంలో శాశ్వత ఆపరేషన్.
హీటర్‌తో కూడిన సెరామిక్స్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
ఇది బహుళ హీటింగ్ ఉష్ణోగ్రత జోన్‌ల లేఅవుట్‌ను గ్రహించగలదు మరియు మంచి వేడి ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను కలిగి ఉంటుంది (±7.5%℃@350℃).
వాక్యూమ్ లామినేటింగ్ సింటరింగ్ టెక్నాలజీ అత్యంత అధిక సాంద్రత మరియు 550℃ వరకు వేడి ఉష్ణోగ్రతలు సాధించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.
ఉత్పత్తి నాణ్యతను పెంచడానికి ఇంటిగ్రేటెడ్ కో-ఫైరింగ్ మౌల్డింగ్.
ప్లాస్మా హాలోజన్ వాక్యూమ్ వాతావరణంలో శాశ్వత ఆపరేషన్.
కాంప్లెక్స్ రకం ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ / హీటర్
సిలికాన్, గాలియం ఆర్సెనైడ్, సిలికాన్ కార్బైడ్, వేఫర్ బిగింపు యొక్క నీలమణికి అనుకూలంగా ఉంటుంది, పరికరాల తయారీదారులు మరియు తుది వినియోగదారుల వైర్ మార్పు ఖర్చులను తగ్గించవచ్చు. కాంక్రీట్ సిరామిక్ టెక్నాలజీ మరియు పాలిమర్ సవరణ సాంకేతికత ఆధారంగా, ఇంటిగ్రేటెడ్ వాక్యూమ్ లామినేషన్ మరియు హాట్ బాండింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించడం వల్ల ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ సక్కర్ యొక్క అంతర్గత ఉష్ణ నిరోధకతను తగ్గించవచ్చు, అంతర్గత ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను సాధించవచ్చు, అయాన్ వలస నిరోధక పనితీరును మెరుగుపరచడానికి దట్టమైన విద్యుద్వాహక నిరోధక పొరను ఏర్పరుస్తుంది.
కాంప్లెక్స్ రకం ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
కాంక్రీట్ సిరామిక్ మరియు పాలిమర్ సవరణ సాంకేతికత యొక్క ఉపయోగం, అధిక దట్టమైన నిర్మాణం మరియు తక్కువ గ్యాస్ విడుదలను కలిగి ఉంటుంది.
విద్యుద్వాహక పొర మరియు ఎలక్ట్రోడ్ బ్యాంకు మందం యొక్క గట్టి నియంత్రణ.
బిగించే వస్తువుల యొక్క వైవిధ్యం వేర్వేరు పొరల బిగింపుతో అనుకూలంగా ఉంటుంది.
బలమైన ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ హోల్డింగ్ సామర్థ్యాన్ని పొందేందుకు శరీరం యొక్క రెసిస్టివిటీని ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.
అధిక ధర పనితీరు, తక్కువ అంగీకార వ్యవధి, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ అభివృద్ధికి మరియు కొత్త పరికరాల అభివృద్ధి ధృవీకరణకు అనుకూలం.
హీటర్‌తో సంక్లిష్ట రకం ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
ఇది బహుళ హీటింగ్ ఉష్ణోగ్రత మండలాల లేఅవుట్‌ను గ్రహించగలదు మరియు మంచి వేడి ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను కలిగి ఉంటుంది (±3.5%℃@150℃).
200 ° C వరకు అధిక సాంద్రత మరియు తాపన ఉష్ణోగ్రతలను సాధించడానికి వాక్యూమ్ లామినేటింగ్ సాంకేతికత ఉపయోగించబడుతుంది.
విస్తృత శ్రేణి ఉష్ణోగ్రత వక్రత సెట్టింగ్‌లతో ఏకరీతి తాపన వక్రత.
అధిక ధర పనితీరు, తక్కువ అంగీకార వ్యవధి, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ అభివృద్ధికి మరియు కొత్త పరికరాల అభివృద్ధి ధృవీకరణకు అనుకూలం.