0102030405
మైక్రోపోరస్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్
సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్ ఫీచర్లు
బలమైన పారగమ్యత: ఏకరీతి గాలి పారగమ్యత మరియు నీటి పారగమ్యత, స్లయిడ్ లేకుండా గ్రౌండింగ్ ప్రక్రియలో సిలికాన్ పొర యొక్క ఏకరీతి శక్తిని మరియు పటిష్టంగా శోషణను నిర్ధారించడానికి.
దట్టమైన మరియు ఏకరీతి నిర్మాణం: దట్టమైన మరియు ఏకరీతి నిర్మాణంతో మైక్రో-పోరస్ సిరామిక్ పదార్థాన్ని స్వీకరించడం, ఇది సిలికాన్ ధూళిని శోషించడం సులభం కాదు మరియు చక్ శుభ్రం చేయడం సులభం.
అధిక బలం: గ్రౌండింగ్ సమయంలో ఎటువంటి వైకల్యం లేదు, గ్రౌండింగ్ చేసేటప్పుడు ప్రతి పాయింట్ వద్ద సిలికాన్ పొర సమానంగా ఒత్తిడి చేయబడుతుందని నిర్ధారించడానికి, మరియు అంచు పతనం, శిధిలాల యొక్క దృగ్విషయం సంభవించడం సులభం కాదు.
లాంగ్ లైఫ్: ఉపరితల ఆకార నిలుపుదల మంచిది, డ్రెస్సింగ్ సైకిల్ పొడవుగా ఉంటుంది మరియు డ్రెస్సింగ్ మొత్తం తక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి ఇది అధిక జీవితాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
సులభమైన డ్రెస్సింగ్: డ్రెస్సింగ్ చేసేటప్పుడు పగుళ్లు, ఫ్రాగ్మెంటేషన్, నూర్పిడి దృగ్విషయాలు ఉండవు.
తేలికైనది: రంధ్రాల అంతర్గత నిర్మాణం కారణంగా, నిర్దిష్ట గురుత్వాకర్షణ గుణకం 1.6-2.8.
అధిక ఇన్సులేషన్: ఇన్సులేటింగ్ పదార్థం, స్టాటిక్ విద్యుత్తును తొలగించండి.
ఖచ్చితత్వం నియంత్రణ
వర్గం | బేస్ మెటీరియల్ | అధిశోషణం ఉపరితల పదార్థం | పరిమాణం | చదును | సమాంతరత యొక్క లోతు |
పోరస్ చక్ | అల్యూమినియం మిశ్రమం | పోరస్ SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ | ≤10μm | ≤15μm | |||
అల్యూమినా | ≤5μm | ≤8μm | |||
సిలి కాన్ కార్బైడ్ | ≤3μm | ≤8μm | |||
పోరస్ సిరామిక్ చక్ పూర్తి స్థాయి స్పెసిఫికేషన్లు మరియు పరిమాణాలను కలిగి ఉంది, వీటిని 3-అంగుళాల లైన్, 4-అంగుళాల లైన్, 5-అంగుళాల లైన్, 6-అంగుళాల లైన్, 8-అంగుళాల లైన్ మరియు 12-అంగుళాల లైన్లో ఉపయోగించవచ్చు మరియు మీకు అవసరమైన లక్షణాలు మరియు పరిమాణాల ప్రకారం అనుకూలీకరించవచ్చు. | |||||
ప్రస్తుత కేసు యొక్క గరిష్ట పరిమాణం :1600*1600m, మందం 50mm; |
పోరస్ సిరామిక్ మెటీరియల్ లక్షణాలు:
ప్రధాన పదార్థాలు: అల్యూమినా రంగు: నలుపు, ఇనుము బూడిద
అల్యూమినా కంటెంట్: 92% తేమ కంటెంట్: 0%
ఎపర్చరు: 2~30um సచ్ఛిద్రత: 35~40%
బెండింగ్ బలం :6kgf/cm2 (Mpa) వాల్యూమ్ నిష్పత్తి: 2.28g/cm3
సిరామిక్ చక్ రకం
ఉపయోగం ప్రకారం, సిరామిక్ చక్ విభజించబడింది:
సన్నబడటానికి యంత్రం అమర్చారు: రాపిడి డిస్క్ చక్, సిలికాన్ పొర, నీలమణి ఉపరితలం మరియు ఇతర సన్నబడటం;
కట్టింగ్ మెషిన్ వీటిని కలిగి ఉంటుంది: స్క్రైబింగ్ చక్, సిలికాన్ పొర, సెమీకండక్టర్ సమ్మేళనం పొర మరియు ఇతర కట్టింగ్;
క్లీనింగ్ మెషిన్ అమర్చారు: క్లీనింగ్ చక్;
ఫిల్మ్ రిమూవల్ మెషిన్ వీటిని కలిగి ఉంటుంది: ఫిల్మ్ రిమూవల్ చక్;
లామినేటింగ్ యంత్రం అమర్చారు: లామినేటింగ్ చక్;
ప్రింటింగ్ మెషిన్ అమర్చారు: ప్రింటింగ్ చక్.
నాణ్యత హామీ
సిరామిక్ చక్ కోసం ఉత్పత్తి యొక్క స్థిరత్వం మరియు ఉత్పత్తి యొక్క స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ఫౌంటైల్కు ఇంజనీరింగ్ సిరామిక్ ప్రెసిషన్ మరియు అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ ప్రాసెసింగ్ మరియు తయారీ, వివిధ రకాల భౌతిక మరియు రసాయన విశ్లేషణ సాధనాలు మరియు రేఖాగణిత కొలత సాధనాలపై అనేక సంవత్సరాల సాంకేతిక అనుభవం ఉంది.
ఉత్పత్తి అప్లికేషన్
పోరస్ చక్ (అడ్సోర్ప్షన్ వర్కింగ్ టేబుల్) అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీ దశలో ఉపయోగించే ఒక భాగం మరియు స్క్రైబింగ్ మెషిన్ లేదా ఇన్స్పెక్షన్ డివైస్లో అసెంబుల్ చేయబడుతుంది. ఇది సన్నని సిలికాన్ పొరను ఫ్లాట్గా ఉంచడానికి వర్క్బెంచ్ యొక్క ఉపరితలం యొక్క పోరస్ నిర్మాణాన్ని మరియు ప్రతికూల ఒత్తిడిని ఉపయోగించగల ఉత్పత్తి. స్క్రైబింగ్ మెషిన్ సిలికాన్ పొరను 20μm వెడల్పుతో కట్ చేస్తుంది, కాబట్టి పొర శోషణ ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్నెస్ మరియు సమాంతరత అవసరం చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది. వాటి సంబంధిత లక్షణాల ప్రకారం, విభిన్న రంధ్ర నిర్మాణాలు వేర్వేరు అప్లికేషన్ శ్రేణులను కలిగి ఉంటాయి, పెద్ద నిర్దిష్ట ఉపరితల వైశాల్యం మరియు చిన్న రంధ్రాల పరిమాణం కలిగిన మైక్రోపోరస్ సిరామిక్స్ వంటివి సాధారణంగా బ్యాక్టీరియా వడపోత మరియు సూక్ష్మజీవుల స్థిరీకరణ క్షేత్రాలలో ఉపయోగించబడతాయి; వాటి నిర్దిష్ట వ్యాసం పంపిణీతో మెసోపోరస్ సిరమిక్స్ తరచుగా విభజన, శోషణ ఉత్ప్రేరక క్షేత్రాలలో ఉపయోగించబడతాయి. మాక్రోపోరస్ సిరమిక్స్ సాధారణంగా పెద్ద కంటెంట్ మరియు పెద్ద పరిమాణంతో పదార్థాల కఠినమైన వడపోత కోసం అనుకూలంగా ఉంటాయి.