Хона
Маҳсулоти асосӣ
Нури мураббаъ ва роҳи роҳнамо барои платформаи ҳаракати ултра дақиқ ва таҷҳизоти муайянкунанда
Намунаи вакуумии вакуумӣ, маводе, ки дар давраи аввали вафли 2 дюйм ва 4 дюйм истифода мешуд, алюминийи авиатсионист, аммо он дар даврони калонҳаҷм бо монеаи ҳамвории ултра баланд (беҳтар аз 1 микрон) дучор омадааст. вафли (8 "ва зиёда аз 8"), ки ба шохиси сахти ҳамвории ултра-баланд мувофиқат карда наметавонанд ва бартараф карда мешаванд. Баъдан, маводи гилхок ҳамчун гузариш, модули чандирии он, вазни сабук, гузаронандагии гармидиҳӣ ва коэффисиенти васеъ ва карбиди кремний, вале на дар бораи баъзе хиҷолат; Пас аз пешрафт дар технологияи тайёр кардани сафолҳои карбиди кремнийи карбиди калонҳаҷм ва сохтори махсуси пуфак, ҷузъҳо, аз ҷумла пойгоҳи кории ултра дақиқ, дастури шинокунандаи ҳавои ултрадақиқ ва дасти интиқоли вафли навсозӣ карда шуданд.
На танҳо қисмҳои керамикии карбиди кремнийи дар боло зикршуда, ки ба нишондиҳандаҳои сахти дақиқи баланд оид ба ҳамворӣ, параллелизм ва амудӣ мувофиқат мекунанд, барои қисмҳои сафолии карбиди кремнийи тозагии баланд, ки барои равандҳои диффузия, допинг ва ҷӯйбор дар саноати нимноқил лозиманд. , махсусан дар технологияи омодасозии маводи баландсифати CVDSiC, дорои технологияи баркамол мебошад ва истеҳсоли киштии булӯри сафолии карбиди кремний, табақчаи подшипникҳои керамикии карбиди кремний, платформаи ҳаракати шинокунандаи ҳавои сафолии кремний карбиди, ултра карбиди кремнийро амалӣ кардааст. -платформаи дақиқи ҳаракаткунанда, реле роҳнамои карбиди кремний, ҷузъҳои реле слайди карбиди кремний.
Дар оянда мо истифодаи масолеҳи карбиди кремнийро дар саноати нимноқилҳо боз ҳам васеъ карда, ба такмили силсилаи саноати нимноқилҳо ва саноати сафолии кремний карбиди саҳм мегузорем. Ҷузъҳои сафолии дақиқи кремнийи карбиди Чин таҳқиқоти мустақил ва пешбурди татбиқи ватаниро оғоз кард, ки бо рушди босуръати саноати нимноқилҳо, талабот дар бозор ба ин гуна сохтори сафолии олӣ торафт калонтар хоҳад шуд, карбиди кремний бо аълои физикӣ ва аълои он. хосиятҳои химиявӣ, дар саноати нимноқилҳо дурнамои васеъи татбиқ дорад.
Керамики карбиди кремний на танҳо дар ҳарорати хонагӣ хосиятҳои хуби механикӣ доранд, аз қабили қувваи баланди хамшавӣ, муқовимати аълои оксидшавӣ, муқовимати хуби зангзанӣ, муқовимати баланд ба фарсудашавӣ ва коэффисиенти пасти соиш, балки инчунин хосиятҳои механикии баланди ҳарорат (қувват, муқовимат ба чархиш ва ғ.) материалхои бехтарини сафолй мебошанд. Карбиди кремний дорои хусусиятҳои муқовимат ба зангзанӣ, муқовимат ба ҳарорати баланд, қувват баланд, гузаронандагии хуби гармӣ, муқовимати таъсир ... ва ғ.
Талаботи мошини литография барои сохтори мизи корӣ: Ультра сабук (кам кардани инерсияи ҳаракат, кам кардани сарбории мотор), устувории ултра баланд (коркарди ултрадақиқ ҳаракат ва ҷойгиркунии дақиқи баландро талаб мекунад, ки деформатсияи ҳадди ақали андозагирии васеъшавии гармиро талаб мекунад ва омилҳои дигарро талаб мекунад) ), тозагӣ (сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавии баланд), Он метавонад ба талаботи техникии андозаи калон, девори лоғар, сохтори мураккаб ва қисмҳои сохтории дақиқи кремнийи карбиди барои таҷҳизоти калидии истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ, ки бо мошини фотолитография муаррифӣ шудааст, ҷавобгӯ бошад.
Имкониятҳои Фонтил
Андозаи максималӣ:1600мм.
Мутобиқсозии сохтор:сохтори сабук, метавонад барои кам кардани сохтори вазн тарҳрезӣ шавад.
Дақиқии баланд:Ҳамворӣ метавонад дар ҳудуди 5 микрон ё ҳатто дақиқии баландтар назорат карда шавад.