การแนะนำเครื่องทำความร้อนเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ แผ่นเวเฟอร์จะต้องได้รับความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่กำหนด และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิแผ่นเวเฟอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมาก เนื่องจากอุณหภูมิของแผ่นเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอ...