การตกสะสมของฟิล์มบางคือการสะสมของชั้นฟิล์มระดับนาโนบนพื้นผิว จากนั้นจึงทำกระบวนการซ้ำๆ เช่น การกัดและการขัดเงา เพื่อสร้างชั้นฟิล์มนำไฟฟ้าหรือฉนวนที่ซ้อนกันจำนวนมาก...
ตัวดูดไฟฟ้าสถิตหรือที่รู้จักในชื่อหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC, e-Chuck) เป็นฟิกซ์เจอร์ที่ใช้หลักการดูดซับไฟฟ้าสถิตเพื่อยึดและยึดวัตถุที่ถูกดูดซับ เหมาะสำหรับ...