ข่าว
การแนะนำเครื่องทำความร้อนเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
วันนี้เราขอแนะนำส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ - เครื่องทำความร้อนเซรามิกและผู้ผลิตที่เกี่ยวข้อง ในกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น วงจรรวม การบำบัดต่างๆ เช่น การขึ้นรูปฟิล์มและการแกะสลัก จะดำเนินการบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ แผ่นเวเฟอร์จะต้องได้รับความร้อนจนถึงอุณหภูมิที่กำหนด และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิแผ่นเวเฟอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมาก เนื่องจากความสม่ำเสมอของอุณหภูมิแผ่นเวเฟอร์มีผลกระทบที่สำคัญมากต่อคุณภาพของชิปเซมิคอนดักเตอร์ ในเวลาเดียวกัน ยังจำเป็นต้องทำงานในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ พลาสมา ก๊าซเคมี ซึ่งต้องใช้เครื่องทำความร้อนเซรามิก
เครื่องทำความร้อนแบบเซรามิกเป็นส่วนประกอบที่สำคัญในอุปกรณ์สำหรับการสะสมฟิล์มเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสามารถกระจายอุณหภูมิได้สม่ำเสมอ ให้ความร้อนสม่ำเสมอของแผ่นเวเฟอร์ และทำให้เกิดปฏิกิริยาที่มีความแม่นยำสูงบนพื้นผิวของสารตั้งต้นและการก่อตัวของฟิล์ม โดยทั่วไป เครื่องทำความร้อนเซรามิกประกอบด้วยพื้นผิวเซรามิกที่มีพื้นผิวโหลดเวเฟอร์และตัวรองรับทรงกระบอกที่ด้านหลังเพื่อรองรับ นอกจากวงจรองค์ประกอบความร้อนต้านทานเพื่อให้ความร้อนแล้ว ตัวสื่อกระแสไฟฟ้า เช่น อิเล็กโทรด RF และอิเล็กโทรดหัวจับไฟฟ้าสถิตยังถูกติดตั้งไว้ภายในหรือพื้นผิวของซับสเตรตเซรามิกอีกด้วย
เครื่องทำความร้อนเซรามิกมักจะใช้เซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์ อลูมิเนียมไนไตรด์มีฉนวนไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการการกระจายความร้อน นอกจากนี้ เนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนใกล้เคียงกับซิลิคอนและมีความต้านทานพลาสมาที่ดีเยี่ยม จึงสามารถใช้ในการผลิตส่วนประกอบอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ได้
ตามรายงานการวิจัยของ Business Research Insights ขนาดตลาดเครื่องทำความร้อนเซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ทั่วโลกอยู่ที่ 33 ล้านดอลลาร์ในปี 2565 และคาดว่าจะสูงถึง 78.529 ล้านดอลลาร์ภายในปี 2574 โดยมีอัตราการเติบโตต่อปี 10% ในช่วงระยะเวลาคาดการณ์ ตลาดเครื่องทำความร้อนเซรามิกทั่วโลกถูกครอบงำโดย บริษัท ต่างประเทศ และในปัจจุบันสถานการณ์สำหรับระดับการควบคุมตนเองของเครื่องทำความร้อนเซรามิกของสิงคโปร์นั้นสอดคล้องกับชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ และวัตถุดิบสำคัญเช่นหัวจับไฟฟ้าสถิต และสิงคโปร์และองค์กรในประเทศมีน้อยมากที่จะ บรรลุ.
Fountyl Technologies PTE Ltd ก่อตั้งขึ้นในปี 2023 โดยค่อยๆ ทำลายการผูกขาดจากต่างประเทศหลังจากการวิจัยและพัฒนามาหลายปี และผลิตภัณฑ์ของบริษัท เช่น หัวจับเซรามิก หัวจับหมุด แขนเซรามิก คานสี่เหลี่ยมเซรามิก ไกด์เซรามิก บูชแบริ่ง และโต๊ะทำความร้อน ใช้กันอย่างแพร่หลายในผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์รายแรกของโลกและองค์กรการผลิตอิเล็กทรอนิกส์
ชิ้นส่วนวัสดุเซรามิกขั้นสูงอาศัยความสามารถของวัสดุชั้นนำและเทคโนโลยีการประมวลผลและการผลิตที่หลากหลาย ครอบคลุมสาขาปลายน้ำที่หลากหลาย เซรามิกขั้นสูงส่วนใหญ่จะใช้ในอุปกรณ์กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ และขณะนี้ได้เข้าสู่กระบวนการกัด การสะสมฟิล์ม การฝังไอออน อุปกรณ์การพิมพ์หินและการแพร่กระจายออกซิเดชัน และใช้ในอุปกรณ์กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์แบบแบตช์และกระบวนการผลิต เซรามิกขั้นสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ กระบอกทอรอยด์ แบริ่งรับน้ำหนัก มือจับ และโมดูลในเครื่องทำความร้อนเซรามิก