ความรู้เบื้องต้นเกี่ยวกับการประยุกต์เซรามิกที่มีความแม่นยำของเซมิคอนดักเตอร์

เซรามิกขั้นสูงเป็นรากฐานของรากฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด เนื่องจากเซรามิกมีข้อดีคือ มีความแข็งสูง โมดูลัสยืดหยุ่นสูง ทนต่อการสึกหรอสูง ฉนวนกันความร้อนสูง ทนต่อการกัดกร่อน การขยายตัวต่ำ...ฯลฯ จึงสามารถใช้เป็นชิ้นส่วนของเครื่องขัดซิลิกอน อุปกรณ์บำบัดความร้อนแบบเอปิแอกเซียล/ออกซิเดชัน/การแพร่กระจาย , เครื่องพิมพ์หิน, อุปกรณ์สะสม, อุปกรณ์แกะสลักเซมิคอนดักเตอร์, เครื่องปลูกฝังไอออน อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ต้องการส่วนประกอบเซรามิกที่มีความแม่นยำจำนวนมาก เซรามิกอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ อลูมินา เซอร์โคเนีย ซิลิคอนไนไตรด์ อลูมิเนียมไนไตรด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ อิตเทรียมออกไซด์...ฯลฯ ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ มูลค่าของเซรามิกที่มีความแม่นยำคิดเป็นประมาณ 16% อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คือการสนับสนุนหลักของห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเป็นรากฐานสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และรายงาน SEMI ล่าสุดคาดการณ์ว่ายอดขายอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกจะอยู่ที่ 87 พันล้านดอลลาร์ในปี 2566 เป็น 87.4 พันล้านดอลลาร์ และจะฟื้นตัวเป็น 100 พันล้านดอลลาร์ในปี 2567

ด้วยการพัฒนาอย่างแข็งแกร่งของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในประเทศ โรงหล่อเวเฟอร์ได้สร้างโรงงานในเอเชียตะวันออกเฉียงใต้ ซึ่งนำไปสู่การปรับปรุงวัสดุและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่สนับสนุน การจัดสรรทรัพยากรห่วงโซ่อุปทานจากต่างประเทศให้เอียงในประเทศ แต่ยังรวมถึงการเกิดขึ้นของท้องถิ่นที่ยอดเยี่ยมมากมาย ผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ภายใต้แนวโน้มของการพัฒนาในประเทศความต้องการชิ้นส่วนเซรามิกที่มีความแม่นยำของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จะเพิ่มขึ้น

เนื่องจากตำแหน่งและความสำคัญในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ชิ้นส่วนเซรามิกขั้นสูงจึงต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพที่ครอบคลุมของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์สำหรับวัสดุในกลศาสตร์เครื่องกล ความร้อน ความต้านทานต่ออิเล็กทริก กรดและด่าง และการกัดกร่อนของพลาสมา และข้อกำหนดที่มีความแม่นยำสูง เนื่องจากชิ้นส่วนเซรามิกในเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์มักจะอยู่ใกล้แผ่นเวเฟอร์ และบางส่วนก็สัมผัสโดยตรงกับแผ่นเวเฟอร์ด้วยซ้ำ ดังนั้นการควบคุมไอออนและอนุภาคของโลหะบนพื้นผิวจึงเข้มงวดอย่างยิ่ง นอกจากนี้ เนื่องจากการผลิตส่วนประกอบเซรามิกสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เกี่ยวข้องกับการรับรองผู้ผลิตอุปกรณ์ดั้งเดิม ดังนั้นจึงเป็นของอุตสาหกรรมที่มีเกณฑ์พิเศษสูง นอกจากนี้ ในด้านบรรจุภัณฑ์และการทดสอบเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุเซรามิกยังสามารถนำมาใช้ใน แผ่นบรรจุภัณฑ์อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กำลังและการ์ดหัววัดทดสอบ

ห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ประกอบด้วยการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กำลัง บรรจุภัณฑ์และการทดสอบขององค์กรแอปพลิเคชันปลายน้ำ อุปกรณ์การพิมพ์หิน, อุปกรณ์การแพร่กระจายของออกซิเดชัน, อุปกรณ์แกะสลัก, อุปกรณ์แกะสลักแบบแห้ง, อุปกรณ์ฝังไอออน, อุปกรณ์สะสมฟิล์ม, อุปกรณ์ PVD, อุปกรณ์ CVD, อุปกรณ์การสะสมชั้นอะตอม (ALD), อุปกรณ์ขัดเชิงกลด้วยเคมี, อุปกรณ์หลอมด้วยเลเซอร์ของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับไฮเอนด์ รัฐวิสาหกิจ; อุปกรณ์เตรียมผง, เครื่องผสม, เครื่องขัด, เครื่องสามม้วน, อุปกรณ์สเปรย์แกรนูล, เครื่องฉีดพลาสติก, เครื่องหล่อ, อุปกรณ์เคลือบ, อุปกรณ์รีดแห้ง, การอัดฉีดขึ้นรูป, อุปกรณ์กดไอโซสแตติก, อุปกรณ์การพิมพ์สกรีน, การละลายไขมัน, อุปกรณ์เผาผนึก, CNC, เครื่องกัด, อุปกรณ์ขัดเงา, อุปกรณ์พ่นทราย, อุปกรณ์ประสานสูญญากาศ, อุปกรณ์ติดตั้งเครื่องมือของอุปกรณ์การผลิตและอุปกรณ์เสริม ชิ้นส่วนเซรามิก (แขนจับ หัวจับไฟฟ้าสถิต เครื่องทำความร้อนเซรามิก แหวนซับใน หัวฉีด ห้อง การ์ดโพรบ เศษเซรามิก...ฯลฯ) เซรามิกอลูมินา เซรามิกที่มีรูพรุน เซรามิกเซอร์โคเนีย เซรามิกอลูมิเนียมไนไตรด์ เซรามิกซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิก, เซรามิกอลูมิเนียมซิลิกอนคาร์ไบด์... ฯลฯ