ทำไมกล่องเวเฟอร์ถึงมี 25 ชิ้น?

กล่องเวเฟอร์หนึ่งกล่องบรรจุเวเฟอร์ 25 ชิ้นด้วยเหตุผลหลักหลายประการ:

1 เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและการใช้อุปกรณ์ให้เหมาะสม

2 ตรวจสอบให้แน่ใจว่าน้ำหนักและปริมาตรอยู่ในช่วงที่สามารถจัดการได้

3 ตอบสนองความต้องการของการประมวลผลและการจัดการอัตโนมัติ

4 ตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมและแนวปฏิบัติทางประวัติศาสตร์

การออกแบบนี้สมดุลระหว่างความต้องการในการผลิต การจัดการ การจัดการ และความประหยัด ทำให้กระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วทั้งมีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้ อธิบายรายละเอียดด้านล่าง

1 ขนาดเวเฟอร์และความสามารถในการรับน้ำหนัก

ขนาดเวเฟอร์: เส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ 12 นิ้วประมาณ 300 มม.

ความหนาของแผ่นเวเฟอร์: ประมาณ 0.775 มม.

2. มาตรฐานการออกแบบ FOUP

ขนาดและน้ำหนัก: FOUP จำเป็นต้องค้นหาความสมดุลระหว่างขนาดและน้ำหนักเพื่ออำนวยความสะดวกในการขนย้ายและขนส่ง

3. ข้อพิจารณาเกี่ยวกับกระบวนการและประสิทธิภาพ

การกำหนดมาตรฐาน: กระบวนการผลิตเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วได้รับมาตรฐานอย่างกว้างขวาง และสามารถประมวลผลเวเฟอร์ 25 ชิ้นเป็นชุดเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและการใช้อุปกรณ์ให้เหมาะสม

การประมวลผลอัตโนมัติ: FOUP ได้รับการออกแบบให้มีความจุ 25 เวเฟอร์ ช่วยให้อุปกรณ์อัตโนมัติสามารถประมวลผลชุดงานเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต

ความสะดวกในการโหลดและการจัดการ: น้ำหนักของเวเฟอร์ 25 ชิ้นอยู่ในช่วงที่เหมาะสม ซึ่งหุ่นยนต์หรือคนงานสามารถบรรทุกได้ง่าย ในขณะที่ไม่เกินความสามารถในการรองรับของอุปกรณ์เครื่องจักรกล

4. เศรษฐกิจและความน่าเชื่อถือ

ความเข้ากันได้ของอุปกรณ์: อุปกรณ์การผลิตส่วนใหญ่ (เช่น เครื่องสัมผัส เครื่องแกะสลัก ฯลฯ) ได้รับการออกแบบมาเพื่อรองรับเวเฟอร์จำนวน 25 ชุด ซึ่งสามารถใช้อุปกรณ์ให้เกิดประโยชน์สูงสุดและปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต

ความเสถียรและความปลอดภัย: FOUP ที่บรรจุเวเฟอร์ 25 ชิ้นมีเสถียรภาพที่ดีระหว่างการหยิบจับ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายของเวเฟอร์ระหว่างการหยิบจับ

5. เหตุผลทางประวัติศาสตร์และแนวปฏิบัติทางอุตสาหกรรม

แนวปฏิบัติทางอุตสาหกรรม: ในอดีต อุตสาหกรรมการผลิตเวเฟอร์ค่อยๆ เปลี่ยนจากเวเฟอร์ขนาดเล็ก (เช่น 6 นิ้ว 8 นิ้ว) มาเป็นเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว ในกระบวนการนี้ ชุด 25 ชิ้นกลายเป็นมาตรฐานอุตสาหกรรม เพื่อรักษาความต่อเนื่องและคาดเดาได้ระหว่างเวเฟอร์ขนาดต่างๆ

มาตรฐานทางเทคนิค: SEMI (International Semiconductor Equipment and Materials Association) ได้พัฒนามาตรฐานที่เกี่ยวข้องซึ่งระบุการออกแบบและการใช้งาน FOUP และการออกแบบโหลด 25 ชิ้นเป็นไปตามมาตรฐานเหล่านี้และได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางทั่วโลก

เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับข้อกำหนดผู้ให้บริการเวเฟอร์: FOUP, FOSB, Cassette

1. Unified Pod แบบเปิดด้านหน้า (FOUP)

FOUP เป็นภาชนะสำหรับจัดการและจัดเก็บเวเฟอร์ในรูปแบบ fab โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ได้รับการออกแบบมาเพื่อลดการปนเปื้อนและความเสียหายต่อเวเฟอร์ระหว่างการจัดการ FOUP มีช่องเปิดด้านหน้าซึ่งสามารถโหลดและขนเวเฟอร์ได้โดยอัตโนมัติโดยไม่จำเป็นต้องเปิดคอนเทนเนอร์ทั้งหมด โดยปกติ FOUP จะมีฝาปิดแบบปิดผนึกเพื่อให้แน่ใจว่าสภาพแวดล้อมภายในจะสะอาด

สถานการณ์การใช้งาน: ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ FOUP ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ระหว่างอุปกรณ์อัตโนมัติ เช่น หุ่นยนต์ถ่ายโอน เหมาะสำหรับขั้นตอนกระบวนการที่ต้องการความสะอาดในระดับสูง เช่น การพิมพ์หิน การแกะสลัก และการฝังไอออน

2, FOSB (กล่องจัดส่งแบบเปิดด้านหน้า)

FOSB คล้ายกับ FOUP แต่ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการขนส่งเวเฟอร์ทางไกล ได้รับการออกแบบมาเพื่อปกป้องเวเฟอร์ระหว่างการขนส่งจากโรงงานหนึ่งไปยังอีกโรงงานหนึ่ง FOSB ยังมีการออกแบบช่องเปิดด้านหน้า แต่โดยทั่วไปจะแข็งแกร่งกว่าในการรับมือกับการสั่นสะเทือนและการกระแทกระหว่างการขนส่ง

สถานการณ์การใช้งาน: FOSB จะใช้เมื่อมีการผลิตเวเฟอร์และจำเป็นต้องขนส่งจากสถานที่ผลิตหนึ่งไปยังอีกสถานที่หนึ่งเพื่อการประมวลผลหรือการประกอบต่อไป คุณสมบัติการปิดผนึกของ FOSB ช่วยให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมที่สะอาดในระหว่างการขนส่ง

3, คาสเซ็ตต์

Cassette เคยเป็นพาหะเวเฟอร์รุ่นก่อนๆ สำหรับการพกพาและถ่ายโอนเวเฟอร์ที่มีขนาดเล็กกว่า (เช่น 200 มม. และต่ำกว่า) โดยปกติจะได้รับการออกแบบให้เป็นโครงสร้างแบบเปิด สามารถรองรับเวเฟอร์ได้หลายแผ่น ใช้งานง่ายด้วยตนเองและยังสามารถใช้งานได้กับอุปกรณ์อัตโนมัติอีกด้วย

สถานการณ์การใช้งาน: ใช้ในอุปกรณ์และกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นก่อนๆ แต่ยังคงใช้ในสายการผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 200 มม. บางสาย เหมาะสำหรับการจัดการด้วยมือและสถานการณ์การบรรทุก เช่น ในการทำความสะอาด การตรวจสอบ และขั้นตอนกระบวนการอื่นๆ

สรุป: FOUP ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการจัดการภายในและการจัดเก็บเวเฟอร์ขนาด 300 มม. และมีการออกแบบช่องเปิดด้านหน้า FOSB ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการขนส่งเวเฟอร์ระยะไกล และการออกแบบที่แข็งแกร่งเพื่อให้มั่นใจในความสะอาดระหว่างการขนส่ง Cassette ใช้สำหรับการจัดการและการจัดเก็บเวเฟอร์ขนาดเล็กในรูปแบบเปิดที่เหมาะสำหรับการทำงานแบบแมนนวลและแบบอัตโนมัติ

Fountyl Technologies Pte Ltd. มุ่งเน้นไปที่ประสบการณ์ 20 ปีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในการผลิตชิ้นส่วนเซรามิกขั้นสูงในสิงคโปร์ ผลิตภัณฑ์หลักคือ pin chuck (pin chucks, chuck pin, precision pin chuck) ซึ่งทำจากวัสดุเซรามิกชนิดต่างๆ (อลูมินา เซอร์โคเนีย ซิลิคอนคาร์ไบด์ ซิลิคอนไนไตรด์ อลูมิเนียมไนไตรด์ และเซรามิกที่มีรูพรุน) การควบคุมการเผาวัสดุเซรามิกอย่างอิสระ การประมวลผลที่แม่นยำ การทดสอบ และการทำความสะอาดที่แม่นยำ พร้อมรับประกันเวลาการส่งมอบ