Square beam at guide rail para sa ultra-precision motion platform at detection equipment

Kung isinasaalang-alang ang vacuum chuck assembly bilang isang halimbawa, ang materyal na ginamit sa pinakamaagang 2 pulgada at 4 na pulgadang wafer na panahon ay aviation aluminum, ngunit nakatagpo ito ng bottleneck ng ultra-high flatness (mas mahusay kaysa sa 1 micron) sa panahon ng malalaking sukat. mga wafer (8 "at higit sa 8"), na hindi nakakatugon sa hard index ng ultra-high flatness at inalis. Susunod, alumina materyal bilang isang transition, nito nababanat modulus, magaan na timbang, thermal kondaktibiti at expansion koepisyent at silikon karbid dwarf, ngunit hindi sa ilang mga nakakahiya; Matapos ang pambihirang tagumpay sa teknolohiya ng paghahanda ng malalaking sukat at kumplikadong espesyal na hugis na guwang na istraktura na silicon carbide ceramics, ang mga bahagi kabilang ang ultra-precision workpiece base, ultra-precision air float guide, at wafer transmission arm ay na-upgrade.

Hindi lamang ang mga nabanggit na silicon carbide ceramic na bahagi na nakakatugon sa mga ultra-high precision hard indicator sa flatness, parallelism, at verticality, para sa high-purity na silicon carbide ceramic na bahagi na kinakailangan para sa wafer diffusion, doping, etching na proseso sa industriya ng semiconductor , lalo na sa high-purity na teknolohiya ng paghahanda ng materyal na CVDSiC, ay may mature na teknolohiya sa proseso, at napagtanto ang paggawa ng high-purity silicon carbide ceramic crystal boat, silicon carbide ceramic bearing plate, silicon carbide ceramic air floating movement platform, silicon carbide ultra -precision moving platform, silicon carbide guide rail, silicon carbide slide rail component.

Sa hinaharap, palawakin pa namin ang paggamit ng mga materyales ng silicon carbide sa industriya ng semiconductor at mag-ambag sa pag-upgrade ng chain ng industriya ng semiconductor at industriya ng silicon carbide ceramic. Ang precision silicon carbide ceramic na bahagi ng Tsina ay nagsimula na independiyenteng pananaliksik at pag-promote ng domestic application, na may masiglang pag-unlad ng industriya ng semiconductor, ang demand sa merkado para sa ganitong uri ng high-end na ceramic na istraktura ay magiging mas at mas malaki, silicon carbide na may mahusay na pisikal at mga katangian ng kemikal, sa industriya ng semiconductor ay may malawak na mga prospect ng aplikasyon.