ASML, 1 Nisan 1984'te ASM Litografi olarak kuruldu. Philips ve ASM International arasındaki bu ortak girişimin misyonu, Philips tarafından geliştirilen bir levha stepper olan PAS 2000'i ticarileştirmektir...
İnce Film Biriktirme, nano ölçekli bir film tabakasının altlık üzerine biriktirilmesi ve daha sonra çok sayıda yığılmış iletken veya yalıtkan tabaka oluşturmak için aşındırma ve cilalama gibi tekrarlanan işlemlerdir.