SiC epitaksiyel katmanının yüksek kaliteli kristal kalitesinin özellikleri, epitaksiyel katmanın güvenilirliği sağlamak için yüksek saflıkta ve düşük kusur yoğunluğunda bir kristal yapıya sahip olmasını sağlar.
Elektrostatik ayna (ESC, e-Chuck) olarak da bilinen elektrostatik enayi, emilen nesneyi tutmak ve sabitlemek için elektrostatik adsorpsiyon ilkesini kullanan, uygun ...