Yarı iletken hassas seramiklerin uygulanmasına giriş

Gelişmiş seramikler, tüm yarı iletken endüstrisinin temelini oluşturur. Seramikler yüksek sertlik, yüksek elastik modül, yüksek aşınma direnci, yüksek yalıtım, korozyon direnci, düşük genleşme vb. avantajlara sahip olduğundan, silikon parlatma makinesinin, epitaksiyel/oksidasyon/difüzyon ısıl işlem ekipmanının parçaları olarak kullanılabilir. litografi makinesi, biriktirme ekipmanı, yarı iletken aşındırma ekipmanı, iyon implantasyon makinesi. Yarı iletken cihazlar çok sayıda hassas seramik bileşen gerektirir. Yarı iletken ekipman seramikleri arasında alümina, zirkonya, silisyum nitrür, alüminyum nitrür, silisyum karbür, itriyum oksit vb. bulunur. Yarı iletken ekipmanlarda hassas seramiklerin değeri yaklaşık %16'dır. Yarı iletken ekipmanı, yarı iletken endüstri zincirinin temel desteği ve yarı iletken üretiminin temel taşıdır ve en son SEMI raporu, küresel yarı iletken ekipman satışlarının 2023'te 87 milyar dolardan 87,4 milyar dolara çıkacağını ve 2024'te 100 milyar dolara çıkacağını öngörüyor.

Yerli yarı iletken endüstrisinin güçlü gelişimi ile birlikte, gofret dökümhaneleri Güneydoğu Asya'da fabrikalar inşa etti; bu, yarı iletken malzeme ve ekipmanların desteklenmesinde, yurt içi eğime yabancı tedarik zinciri kaynak tahsisinde iyileşmeye ve aynı zamanda birçok mükemmel yerelin ortaya çıkmasına yol açtı. yarı iletken ekipman üreticileri, yurt içi gelişme eğilimi altında, yarı iletken ekipman hassas seramik parçalarına olan talep artacaktır.

Yarı iletken ekipmandaki konumu ve önemi nedeniyle, gelişmiş seramik parçalar, mekanik mekanik, ısı, dielektrik, asit ve alkali direnci ve plazma korozyonu ve yüksek hassasiyet gereksinimlerindeki malzemeler için yarı iletken ekipmanın kapsamlı performans gereksinimlerini karşılamalıdır, çünkü yarı iletken seramik parçalar ekipmanlar genellikle levhanın yakınında bulunur ve hatta bazıları levhayla doğrudan temas eder. Bu nedenle yüzeyindeki metal iyonlarının ve parçacıklarının kontrolü son derece sıkıdır. Ayrıca yarı iletken cihazlara yönelik seramik bileşenlerin üretimi, orijinal ekipman üreticisi sertifikasını gerektirdiğinden, yüksek ayrıcalık eşiğine sahip sektöre aittir. Ayrıca yarı iletken paketleme ve test alanında seramik malzemeler de kullanılabilir. güç yarı iletken cihazı paketleme astarları ve test probu kartları.

Yarı iletken seramik endüstrisi zinciri, yarı iletken levha işlemeyi, güç yarı iletken cihazlarını, alt uygulama işletmelerinin paketlenmesini ve test edilmesini; Litografi ekipmanı, oksidasyon difüzyon ekipmanı, dağlama ekipmanı, kuru gravür ekipmanı, iyon implantasyon ekipmanı, film biriktirme ekipmanı, PVD ekipmanı, CVD ekipmanı, atomik katman biriktirme (ALD) ekipmanı, kimyasal mekanik parlatma ekipmanı, ileri teknoloji yarı iletken ekipmanın lazer tavlama ekipmanı işletmeler; Toz hazırlama ekipmanı, karıştırıcı, zımpara makinesi, üç silindirli makine, sprey granülasyon ekipmanı, enjeksiyon kalıplama makinesi, döküm makinesi, laminasyon ekipmanı, kuru presleme ekipmanı, enjeksiyon kalıplama, izostatik presleme ekipmanı, serigrafi ekipmanı, yağ giderme, sinterleme ekipmanı, CNC, freze makinesi, parlatma ekipmanı, kumlama ekipmanı, vakumlu lehimleme ekipmanı, üretim ekipmanı ve aksesuar işletmelerinin takım fikstürü; Seramik parçalar (tutma kolu, elektrostatik ayna, seramik ısıtıcı, astar halkası, nozül, bölme, prob kartı, seramik kıymık...vb.), alümina seramikler, gözenekli seramikler, zirkonya seramikler, alüminyum nitrür seramikler, silisyum nitrür seramikler, silisyum karbür seramikler, alüminyum silisyum karbür seramikler... vb.