CMP cihazı yarı iletkenleri için ana ayna taşlama makinesi

CMP (Kimyasal Mekanik Parlatma) teknolojisi, yarı iletken üretiminde küresel, tekdüze ve düz levha yüzeyleri elde etmek için önemli bir süreçtir. Nano ölçekte küresel düzlük elde etmek için kimyasal korozyon ve mekanik öğütmenin sinerjik etkisi yoluyla fazla malzemeyi levha yüzeyinden uzaklaştırır. CMP süreci üç ana adımdan oluşur: cilalama, temizleme ve aktarma. Parlatma işlemi sırasında, parlatma sıvısının kimyasal bileşimi, mekanik olarak çıkarılabilen bir film oluşturmak üzere levha yüzey malzemesiyle reaksiyona girer ve parlatma pedi daha sonra pürüzsüz bir yüzey elde etmek için bu filmi mekanik olarak çıkarır. CMP cihazları, uygulama gereksinimlerine göre 8 inç, 12 inç ve 6/8 inç uyumlu cihazlara bölünebilir.

Piyasalar ve büyük işletmeler

CMP ekipmanlarının ana pazarı üç bölümden oluşmaktadır: silikon levha üretimi için CMP ekipmanı, levha dökümhanesi için CMP ekipmanı ve silisyum karbür substrat üretimi için CMP ekipmanı. Entegre devre üretim prosesinin sürekli azalmasıyla birlikte CMP prosesine olan talep giderek artıyor, özellikle mantıksal çip üretiminde, ileri proses düğümlerinin CMP proses adımlarının sayısı önemli ölçüde artıyor. CMP pazarı büyümeye devam ediyor. Özellikle ana karadaki yeni üretim kapasitesinin ana kara pazarının büyüme oranını aşması bekleniyor.

Küresel CMP ekipman pazarı, esas olarak gelişmiş CMP çözümleri sunan küresel CMP ekipman pazarı lideri Applied Materials tarafından oldukça tekelleştirilmiştir ve ürünleri, olgun süreçlerden gelişmiş süreçlere kadar çeşitli uygulamaları kapsamaktadır. Ebara, Japonya, kurutma/kurutma teknolojisi patentine sahiptir ve ürünleri, yüksek güvenilirlikleri ve üretim verimlilikleriyle tanınmaktadır. Birlikte pazarın %90'ından fazlasını oluşturuyorlar.

Olgunlaşma sürecinde yerli işletmeler yabancı devlerin tekelini kırarak belli bir pazar payı elde ettiler. Yerli CMP ekipmanı üreticileri arasında, 28nm prosesinin endüstriyel uygulamasını gerçekleştiren, 14nm proses teknolojisi doğrulanmakta olan ve Çin'de 12 inç CMP ekipmanı sağlayabilen tek üretici olan Huahai Qingke bulunmaktadır. Sco Precision, IC üretimindeki tüm karmaşık düzleştirme prosesi gereksinimleri için CMP ekipmanı sağlayarak 0,09-0,35um proses düğümlerinden IC üretimini destekler. 8 inç CMP ekipman tedarikçisi Jingyi Precision, bağımsız fikri mülkiyet haklarına sahip ilk yerli 8 inç CMP üretim hattı seri üretim ekipmanını piyasaya sürdü. Hangzhou ZhongSI, entegre devreler, büyük silikon plakalar ve üçüncü nesil yarı iletkenler için 6 inç, 8 inç ve 12 inç CMP cihazlarını başarıyla geliştirdi.

FİKİR:

1 çip prosesi yükseltmesi, CMP ekipmanı uygulaması daha sık olacak, pazar alanı, özellikle iç pazar alanı büyüyor

2. Yerli ekipman teknolojisi gelişmeye devam ediyor ve yerli ekipmanın olgunluğu artıyor

3. Hepimizin bildiği gibi, bunu yapabilecek çok sayıda yerli işletme var, pazar dönmeye başladı ve teknoloji lideri işletmelerin veya yeni uygulama alanları açan işletmelerin geleceği daha da beklentiye değer.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yarı iletken imalat endüstrisine odaklanmaktadır; ana ürünler şunlardır: Pim aynası, gözenekli seramik ayna, seramik uç efektör, seramik kare kiriş, seramik mil, iletişim ve müzakereye hoş geldiniz！