Epitaksi, mikroelektronik ve optoelektronik üretim süreçlerinde son derece önemli bir konuma sahip olan kristal büyütme veya malzeme biriktirme teknolojisini ifade eder.
Hızla gelişen yarı iletken teknolojisi alanında, fiziksel buhar biriktirme (PVD), ince film biriktirme işlemlerinin hassasiyetine ve verimliliğine ulaşmak için önemli bir araçtır. Bu kağıt ortak...