додому
Продукти
Електростатичний патрон із сумісністю, високою щільністю, високою структурною міцністю з індивідуальними
особливості
Сумісність | Налаштування | Висока щільність | Висока структурна міцність | Швидкий час доставки | Економічно ефективним
Додатки
Лон-імплантація | Тонка плівка | Травлення | Розробка процесу | Дизайн обладнання
Проектування та виготовлення
12-дюймовий Fab поставляється для перевірки фактичної продуктивності, забезпечення регенерації та ремонту, а також перевірки розробки та дизайну.
З розвитком технологічного обладнання та технології виробництва напівпровідників і інтегральних схем традиційні електростатичні патрони, що використовують органічні полімерні матеріали, оксиди металів і керамічні матеріали як діелектрики, не повністю сумісні з такими матеріалами, як кремнієві пластини, сапфір і карбід кремнію. Таким чином, електростатичні патрони, сумісні з захватами для напівпровідникових пластин першого, другого та третього поколінь, будуть поступово розвиватися.
Полімерний електростатичний патрон/нагрівач
Полімерний діелектричний матеріал (полімер) в даний час є найбільш широко використовуваним електростатичним патронним матеріалом, процес його приготування також є найбільш зрілим, полімерний діелектричний матеріал після модифікації полімеру, електрична, механічна, температурна стійкість, стійкість до галогенів буде значно покращена. Діелектричний матеріал формують за допомогою інших інтегрованих операцій, а потім шарують за допомогою багатоступінчастого вакуумного важкого навантаження, і між внутрішніми електродами утворюється щільний шар діелектричної ізоляції.
Полімерний електростатичний патрон
Технологія полімерної модифікації використовується для досягнення вищого об’ємного питомого опору та відносної діелектричної проникності та отримання більш стабільної сили затиску.
Діелектричні матеріали високої щільності можуть знизити ризик утворення твердих часток і зменшити рухливість іонів.
Різноманітність об’єктів затиску може бути сумісною із затиском пластин із різних матеріалів.
Чудова стійкість до корозії в галогенних і плазмових атмосферах.
Висока вартість, короткий термін приймання, придатний для розробки процесу виробництва та перевірки розробки нового обладнання.
Полімерний електростатичний патрон з нагрівачем
Він може реалізувати макет кількох температурних зон нагріву (до 20 температурних зон) і має хорошу рівномірність температури нагріву (±5% ℃ при 150 ℃).
Технологія вакуумного ламінування використовується для досягнення надзвичайно високої щільності та температури нагрівання до 200 °C.
Рівномірна крива опалення з ширшим діапазоном налаштувань температурної кривої.
Висока вартість, короткий термін приймання, придатний для розробки процесу виробництва та перевірки розробки нового обладнання.
Керамічний електростатичний патрон/нагрівач
Технологія керамічної коагуляції — це вдосконалений процес спікання в розробці керамічних електростатичних патронів і нагрівачів із оксиду алюмінію/нітриду алюмінію. Її суть полягає у використанні різноманітних керамічних порошків нанометрового діаметру, які змішуються в певній пропорції за допомогою унікального змішувального обладнання та процесу змішування. Керамічні електростатичні патрони з високою щільністю, стабільною кристалічною структурою та рівномірним розподілом питомого опору були спікані з певною температурною кривою спікання в агломераційному обладнанні. Статичний патрон, виготовлений за технологією керамічної коагуляції, має високу щільність, стабільну кристалічну структуру та рівномірний розподіл питомого об’єму, і може реалізувати нормальну функцію затиску мікросхеми в суворих умовах під високим вакуумом, плазмою та галогеном.
Електростатичний патрон Al₂O₃
Питомий об’ємний опір контролюється технологією коагуляції кераміки та процесом спільного випалювання для отримання довшої сили утримання.
Внутрішня структура високотемпературного спікання є щільною, а кристалічна структура стабільною, і можна отримати здатність до більшого температурного інтервалу.
Інтегроване формування зі спільним спалюванням зменшує міграцію іонів.
Тривала робота в атмосфері плазмового галогенного вакууму.
Електростатичний патрон AlN
Контролюючи склад і пропорцію бетонного матеріалу, можна контролювати питомий об’ємний опір і отримати здатність утримувати в більшому температурному інтервалі.
Рівномірний розподіл температурних зон забезпечується технологією спікання та процесу спільного випалювання бетонної кераміки.
Інтегроване формування при спільному випалюванні для максимізації якості продукції.
Тривала робота в атмосфері плазмового галогенного вакууму.
Керамічний електростатичний патрон з нагрівачем
Він може реалізувати макет кількох температурних зон нагріву та має хорошу однорідність температури нагріву (±7,5% ℃ при 350 ℃).
Технологія вакуумного ламінування спікання використовується для досягнення надзвичайно високих температур ущільнення та нагрівання до 550 ℃.
Інтегроване формування при спільному випалюванні для максимізації якості продукції.
Тривала робота в атмосфері плазмового галогенного вакууму.
Електростатичний патрон/нагрівач комплексного типу
Може бути сумісний із кремнієм, арсенідом галію, карбідом кремнію, сапфіром пластини, може зменшити витрати виробників обладнання та кінцевих користувачів на заміну проводів. На основі бетонної керамічної технології та технології полімерної модифікації використання інтегрованого вакуумного ламінування та технології гарячого з’єднання може зменшити внутрішній термічний опір електростатичного присоски, досягти однорідності внутрішньої температури, утворити щільний діелектричний ізоляційний шар для покращення опору міграції іонів.
Електростатичний патрон складного типу
Застосування бетонної керамічної та полімерної технології модифікації, має більшу щільну структуру та менше газовиділення.
Посилений контроль товщини діелектричного шару та електродного блоку.
Різноманітність об’єктів затиску може бути сумісною із затиском різних пластин.
Питомий опір тіла можна точно контролювати, щоб отримати більшу електростатичну здатність утримувати.
Висока вартість, короткий термін приймання, придатний для розробки процесу виробництва та перевірки розробки нового обладнання.
Електростатичний патрон складного типу з нагрівачем
Він може реалізувати макет кількох температурних зон нагріву та має хорошу рівномірність температури нагрівання (±3,5% ℃ при 150 ℃).
Технологія вакуумного ламінування використовується для досягнення надзвичайно високої щільності та температури нагрівання до 200 °C.
Рівномірна крива опалення з ширшим діапазоном налаштувань температурної кривої.
Висока вартість, короткий термін приймання, придатний для розробки процесу виробництва та перевірки розробки нового обладнання.