додому
Основний продукт
Мікропористий керамічний вакуумний патрон
Особливості керамічного вакуумного патрона
Сильна проникність: рівномірна повітропроникність і водопроникність, щоб забезпечити рівномірну силу і щільну адсорбцію кремнієвої пластини в процесі шліфування без ковзання.
Щільна та однорідна структура: використовується мікропористий керамічний матеріал із щільною та однорідною структурою, який важко адсорбувати кремнієвий пил, а патрон легко чистити.
Висока міцність: відсутність деформації під час шліфування, щоб переконатися, що кремнієва пластина рівномірно напружена в кожній точці під час шліфування, і це нелегко виникне явище колапсу краю, сміття.
Довгий термін служби: добре зберігає форму поверхні, цикл правки тривалий, а кількість правки невелика, тому він має високий термін служби.
Легка правка: при правці не буде розтріскування, осколків, явищ обмолоту.
Легкий: Завдяки внутрішній структурі пор, коефіцієнт питомої ваги становить 1,6-2,8.
Висока ізоляція: ізоляційний матеріал, усуває статичну електрику.
Контроль точності
| категорія | Основний матеріал | Матеріал адсорбційної поверхні | Розмір | площинність | глибина паралелізму |
| Пористий патрон | Алюмінієвий сплав | Пористий SIC | ≤12 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм |
| Нержавіюча сталь | ≤10 мкм | ≤15 мкм | |||
| Глинозем | ≤5 мкм | ≤8 мкм | |||
| Карбід кремнію | ≤3 мкм | ≤8 мкм | |||
| Пористий керамічний патрон має повний діапазон специфікацій і розмірів, який можна використовувати в лінійці 3 дюйми, 4 дюйми, 5 дюймів, 6 дюймів, 8 дюймів і 12 дюймів, а також можна налаштувати відповідно до специфікацій і розмірів, які вам потрібні. | |||||
| Максимальний розмір поточного корпусу: 1600*1600 м, товщина 50 мм; | |||||
Характеристики пористого керамічного матеріалу:
Основні інгредієнти: оксид алюмінію Колір: чорний, залізно-сірий
Вміст глинозему: 92% Вміст вологи: 0%
Діафрагма: 2~30um Пористість: 35~40%
Міцність на вигин: 6 кгс/см2 (МПа) Об’ємне співвідношення: 2,28 г/см3
Тип патрона керамічний
За призначенням керамічні патрони поділяються на:
Стоншувальний верстат, оснащений: патроном для абразивного диска, кремнієвою пластиною, сапфіровою підкладкою та ін.
Машина для різання оснащена: скрайбуючим патроном, кремнієвою пластиною, напівпровідниковою пластиною та іншим різанням;
Очисна машина оснащена: очисним патроном;
Машина для знімання плівки оснащена: патроном для знімання плівки;
Ламінатор оснащений: ламінуючим патроном;
Друкарська машина оснащена: друкарським патроном.
Гарантія якості
Fountyl має багаторічний технічний досвід у розробці прецизійної керамічної та надточної обробки та виробництва, різноманітних інструментів фізичного та хімічного аналізу та інструментів геометричних вимірювань, щоб забезпечити стабільність виробництва та консистенцію продукту для керамічного патрона.
Застосування продукту
Пористий патрон (адсорбційний робочий стіл) — це компонент, який використовується на стадії виробництва напівпровідників і збирається на скрайб-машині або контрольному пристрої. Це продукт, який може використовувати пористу структуру та негативний тиск поверхні робочого столу, щоб утримувати тонку кремнієву пластину плоскою. Машина для скрайбування розрізає кремнієву пластину шириною близько 20 мкм, тому вимоги до плоскості та паралельності поверхні адсорбції пластини дуже високі. Відповідно до їхніх відповідних характеристик, різні пористі структури мають різні діапазони застосування, такі як мікропориста кераміка з великою питомою поверхнею та малим розміром пор, яка зазвичай використовується в бактеріальній фільтрації та полях фіксації мікробів; Мезопориста кераміка з її специфічним розподілом діаметра часто використовується в областях розділення, адсорбційного каталізу. Макропориста кераміка зазвичай підходить для грубої фільтрації речовин з великим вмістом і великим розміром.