0102030405
Mikro gözenekli seramika vakuumli shtutser
Seramika vakuum chuck xususiyatlari
Kuchli o'tkazuvchanlik: tekis havo o'tkazuvchanligi va suv o'tkazuvchanligi, silliqlash jarayonida silliqlash jarayonida silikon gofretning bir xil kuchini va mahkam adsorbsiyasini ta'minlash uchun.
Zich va bir xil tuzilish: zich va bir xil tuzilishga ega bo'lgan mikro-g'ovakli keramika materialini qabul qilish, kremniy changini singdirish oson emas va chuckni tozalash oson.
Yuqori quvvat: silliqlash paytida deformatsiyaning yo'qligi, silliqlash paytida kremniy gofretning har bir nuqtasida teng ravishda ta'sirlanishini ta'minlash va qirralarning qulashi, qoldiqlari hodisalari yuzaga kelishi oson emas.
Uzoq umr: sirt shaklini saqlash yaxshi, kiyinish davri uzoq va kiyinish miqdori kichik, shuning uchun u yuqori umrga ega.
Oson kiyinish: kiyinish paytida yorilish, parchalanish, xirmon hodisalari bo'lmaydi.
Yengil: Teshiklarning ichki tuzilishi tufayli o'ziga xos tortishish koeffitsienti 1,6-2,8 ni tashkil qiladi.
Yuqori izolyatsiya: izolyatsion material, statik elektrni yo'q qiladi.
Aniqlik nazorati
kategoriya | Asosiy material | Adsorbsion sirt materiali | Hajmi | Yassilik | parallelizm chuqurligi |
Gözenekli chuck | Alyuminiy qotishmasi | Gözenekli SIC | ≤12 mkm | ≤15 mkm | ≤20mkm |
Zanglamaydigan po'lat | ≤10mkm | ≤15 mkm | |||
Alumina | ≤5 mkm | ≤8mm | |||
Silikon karbid | ≤3 mkm | ≤8mm | |||
G'ovakli keramik shtutser 3 dyuymli chiziq, 4 dyuymli chiziq, 5 dyuymli chiziq, 6 dyuymli chiziq, 8 dyuymli chiziq va 12 dyuymli chiziqda ishlatilishi mumkin bo'lgan to'liq spetsifikatsiya va o'lchamlarga ega. Sizga kerak bo'lgan spetsifikatsiyalar va o'lchamlarga muvofiq sozlanishi mumkin. | |||||
Joriy korpusning maksimal o'lchami: 1600 * 1600 m, qalinligi 50 mm; |
Gözenekli keramika materialining xususiyatlari:
Asosiy ingredientlar: alumina Rang: qora, temir kulrang
Alumina tarkibi: 92% Namlik: 0%
Diafragma: 2~30um G'ovaklik: 35~40%
Bükme kuchi: 6kgf/sm2 (Mpa) Ovoz nisbati: 2.28g/sm3
Seramika chuck turi
Foydalanishga ko'ra, seramika chuck quyidagilarga bo'linadi:
Yupqalash mashinasi quyidagilar bilan jihozlangan: abraziv diskli chuck, kremniy gofret, sapfir substrat va boshqa yupqalash;
Kesish mashinasi quyidagilar bilan jihozlangan: skribing chuck, kremniy gofret, yarimo'tkazgichli birikma gofret va boshqa kesish;
Quyidagilar bilan jihozlangan tozalash mashinasi: tozalash chuck;
Plyonka olib tashlash mashinasi quyidagilar bilan jihozlangan: plyonkani olib tashlash uchun chuck;
Laminatsiyalash mashinasi bilan jihozlangan: laminatlash chuck;
Bosib chiqarish mashinasi bilan jihozlangan: bosma chuck.
Sifatni tekshirish
Fountyl muhandislik keramika nozikligi va o'ta aniq ishlov berish va ishlab chiqarish, turli xil fizik va kimyoviy tahlil asboblari va geometrik o'lchash asboblari bo'yicha ko'p yillik texnik tajribaga ega, ishlab chiqarish barqarorligi va seramika chuck uchun mahsulotning mustahkamligini ta'minlaydi.
Mahsulot ilovasi
Gözenekli chuck (adsorbsion ish stoli) yarimo'tkazgich ishlab chiqarish bosqichida ishlatiladigan va skribing mashinasi yoki tekshirish moslamasida yig'ilgan komponentdir. Bu nozik kremniy gofretni tekis ushlab turish uchun dastgoh sirtining gözenekli tuzilishi va salbiy bosimidan foydalanishi mumkin bo'lgan mahsulotdir. Skriping mashinasi kremniy gofretni taxminan 20 mkm kengligida kesadi, shuning uchun gofret adsorbsion yuzasining tekisligi va parallelligi talablari juda yuqori. Tegishli xususiyatlariga ko'ra, turli xil gözenek tuzilmalari, odatda bakterial filtratsiya va mikrobial fiksatsiya maydonlarida ishlatiladigan katta o'ziga xos sirt maydoni va kichik gözenekli o'lchamli mikro gözenekli keramika kabi turli xil dastur diapazonlariga ega; O'ziga xos diametrli taqsimotga ega bo'lgan mezoporozli keramika ko'pincha ajratish, adsorbsion kataliz maydonlarida qo'llaniladi. Katta gözenekli keramika odatda katta tarkibga va katta hajmga ega bo'lgan moddalarni qo'pol filtrlash uchun javob beradi.