Uy
Asosiy mahsulot
Ultra aniq harakat platformasi va aniqlash uskunalari uchun kvadrat nur va hidoyat ray
Vakuumli chuck yig'ilishini misol tariqasida oladigan bo'lsak, eng qadimgi 2 dyuym va 4 dyuymli gofret davrida ishlatilgan material aviatsiya alyuminiyidir, ammo u katta o'lchamli davrda juda yuqori tekislik (1 mikrondan yaxshiroq) muammosiga duch keldi. gofretlar (8 "va 8 dan ortiq"), ular ultra yuqori tekislikning qattiq indeksiga javob bera olmaydi va yo'q qilinadi. Keyingi, bir o'tish sifatida alumina material, uning elastik moduli, engil, issiqlik o'tkazuvchanlik va kengaytirish koeffitsienti va kremniy karbid mitti, lekin ba'zi sharmandali ustida emas; Katta o'lchamli va murakkab maxsus shaklli ichi bo'sh konstruktsiyali kremniy karbidli keramika tayyorlash texnologiyasidagi yutuqdan so'ng, komponentlar, jumladan, o'ta nozik ish qismi bazasi, o'ta aniq havo float yo'riqnomasi va gofret uzatish tarmog'i yangilandi.
Yarim o'tkazgich sanoatida gofret diffuziyasi, doping, qirqish jarayonlari uchun zarur bo'lgan yuqori tozalikdagi kremniy karbid keramika qismlari uchun nafaqat tekislik, parallellik va vertikallik bo'yicha ultra yuqori aniqlikdagi qattiq ko'rsatkichlarga javob beradigan yuqorida aytib o'tilgan silikon karbid keramika qismlari. , ayniqsa, yuqori tozalikdagi CVDSiC materialini tayyorlash texnologiyasida, etuk texnologik texnologiyaga ega va yuqori toza silikon karbid keramik kristalli qayiq, kremniy karbidli keramik rulman plitasi, silikon karbid keramik havo suzuvchi harakat platformasi, silikon karbid ultra ishlab chiqarishni amalga oshirdi. - nozik harakatlanuvchi platforma, kremniy karbid hidoyat temir yo'li, silikon karbid slaydni temir yo'l komponentlari.
Kelajakda biz yarimo'tkazgich sanoatida silikon karbid materiallarini qo'llashni yanada kengaytiramiz va yarimo'tkazgich sanoati zanjiri va silikon karbid keramika sanoatini yangilashga hissa qo'shamiz. Xitoyning nozik kremniy karbidli keramika komponentlarini mustaqil tadqiq qilish va mahalliy dasturni ilgari surish endigina boshlandi, yarimo'tkazgich sanoatining jadal rivojlanishi bilan ushbu turdagi yuqori darajadagi keramika tuzilmalariga bozor talabi tobora ko'proq bo'ladi, kremniy karbid mukammal jismoniy va kimyoviy xossalari, yarimo'tkazgich sanoatida keng qo'llash istiqbollariga ega.
Silikon karbidli keramika nafaqat xona haroratida yuqori egilish kuchi, mukammal oksidlanish qarshiligi, yaxshi korroziyaga chidamlilik, yuqori aşınma qarshilik va past ishqalanish koeffitsienti kabi mukammal mexanik xususiyatlarga ega, balki yuqori haroratli mexanik xususiyatlarga (kuch, o'rmalanish qarshiligi va boshqalar) ega. eng mashhur keramika materiallari hisoblanadi. Silikon karbid korroziyaga chidamlilik, yuqori haroratga chidamlilik, yuqori quvvat, yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi, zarba qarshiligi ... va hokazo xususiyatlarga ega.
Ish qismi stol tuzilishi uchun litografiya mashinasining talablari: Ultra engil (harakat inertsiyasini kamaytirish, vosita yukini kamaytirish), o'ta yuqori barqarorlik (ultra aniqlikdagi ishlov berish yuqori aniqlikdagi harakat va joylashishni aniqlashni talab qiladi, termal kengayishning minimal o'lchovli deformatsiyasini va boshqa omillarni talab qiladi. ), tozalik (yuqori qattiqlik va yuqori aşınma qarshilik), fotolitografiya mashinasi bilan ifodalangan integral mikrosxemalar ishlab chiqarishning asosiy uskunalari uchun katta o'lchamli, ichi bo'sh yupqa devor, murakkab tuzilish va nozik kremniy karbid tarkibiy qismlarining texnik talablariga javob berishi mumkin.
Fountyl imkoniyatlari
Maksimal hajmi:1600 mm.
Strukturani moslashtirish:engil tuzilish, vazn tuzilishini kamaytirish uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin.
Yuqori aniqlik:Yassilikni 5 mikron yoki undan yuqori aniqlikda boshqarish mumkin.