ASML được thành lập vào ngày 1 tháng 4 năm 1984 với tên gọi ASM Lithography. Sứ mệnh của liên doanh giữa Philips và ASM International này là thương mại hóa PAS 2000, máy bước bán wafer được phát triển bởi Philips...
Lắng đọng màng mỏng là sự lắng đọng của một lớp màng có kích thước nano trên đế, sau đó lặp lại các quá trình như khắc và đánh bóng, để tạo ra nhiều lớp dẫn điện hoặc cách điện xếp chồng lên nhau...