Trong quy trình sản xuất wafer, wafer cần được nung nóng đến một nhiệt độ nhất định và độ đồng đều nhiệt độ của wafer có một yêu cầu rất nghiêm ngặt, bởi vì nhiệt độ wafer đồng đều...
Toàn bộ quy trình bán dẫn cần phải được làm sạch nhiều lần và quy trình làm sạch diễn ra trong ngành bán dẫn, chiếm hơn 30% tổng quy trình sản xuất.