Tia laser được tập trung vào tấm wafer, chiếu sáng một điểm sáng và ánh sáng phản xạ được tập trung lại vào mặt phẳng nhận và thông qua phân tích ánh sáng, bề mặt của tấm wafer silicon...
Công nghệ in thạch bản là công nghệ bán dẫn chủ chốt được phát triển trên nền tảng công nghệ chụp ảnh và công nghệ in phẳng.