Câu chuyện khởi nghiệp của ASML: Con đường phát triển của gã khổng lồ về in thạch bản

ASML được thành lập vào ngày 1 tháng 4 năm 1984 với tên gọi ASM Lithography. Nhiệm vụ của liên doanh giữa Philips và ASM International này là thương mại hóa PAS 2000, máy bước bán đĩa bán dẫn do Philips phát triển.

1,Dcụm công nghiệp

Trong những năm 1960 và 1970, các nhà sản xuất chip đã tự mình xây dựng phần lớn chuỗi giá trị bán dẫn - tất cả các bước cần thiết để tạo ra một vi mạch hoàn chỉnh. Sau đó, vào cuối những năm 1970 và đầu những năm 1980, công nghệ sản xuất chất bán dẫn phát triển nhanh chóng về quy mô và độ phức tạp. Sự phát triển này đã thúc đẩy sự phân công lao động trong chuỗi giá trị chất bán dẫn. Ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn nổi lên để cung cấp các giải pháp cao cấp sẵn có. Với khả năng sẵn có này, việc các nhà sản xuất chip và người dùng phát triển thiết bị sản xuất chip của riêng họ không còn ý nghĩa gì nữa.

Các nhà cung cấp thiết bị chuyên dụng đặc biệt quan trọng trong việc phát triển các hệ thống in thạch bản phức tạp để in các mẫu trên vi mạch. Cải thiện các hệ thống này để chúng có thể in các tính năng nhỏ hơn là chìa khóa để nâng cao Định luật Moore. Đối với các nhà sản xuất chip, nhiều bóng bán dẫn hơn có nghĩa là đạt được khả năng tính toán cao hơn với chi phí thấp hơn.

2, Nguyên mẫu của PAS 2000

Chính trong bối cảnh này, Philips đã bắt đầu phát triển bước sản xuất tấm wafer của riêng mình để tạo khuôn cho các tấm wafer silicon. Nguyên mẫu Bộ lặp Silicon (SIRE) I và II được phát triển bởi Trung tâm Nghiên cứu Philips. Philips Automated Stepper 2000 ra đời từ những nguyên mẫu nghiên cứu này.

Tại Trung tâm Nghiên cứu Philips, nơi bộ phận của Philips tập trung chủ yếu vào nghiên cứu cơ bản, các bước điều khiển tấm bán dẫn là một điều gì đó bất thường. Nhu cầu thị trường ngày càng thúc đẩy hoạt động nghiên cứu và phát triển của doanh nghiệp, thiết bị sản xuất kỹ thuật được sử dụng nhiều hơn. Bắt đầu từ năm 1978, Philips Science & Industry (S&I) đã thúc đẩy nỗ lực thương mại hóa dưới tên PAS2000.

3.Chính sách công nghiệp, nhà đầu tư và doanh nhân

Bắt đầu từ cuối những năm 1970, dưới sự chỉ đạo của Ủy ban Châu Âu, các chính phủ Tây Âu đã định hình lại chính sách công nghiệp. Họ tập trung vào đổi mới và hợp tác, nhắm đến các ngành công nghiệp mới nổi, đặc biệt là ngành công nghiệp bán dẫn và vi điện tử đang phát triển nhanh chóng. Những chính sách này là phương tiện mới để thúc đẩy hoạt động kinh tế và nếu có thể sẽ vực dậy các tập đoàn đang gặp khó khăn, nhiều tập đoàn trong số đó (bao gồm cả Philips) đã bắt đầu tan rã.

Theo yêu cầu của ủy ban, Philips và các công ty khác đã bày tỏ tầm quan trọng của các ngành này đối với chính phủ của họ. Sau khi nhận được thông tin này từ công ty điện tử lớn nhất châu Âu, chính phủ Hà Lan đã hiểu rõ hơn về chủ đề này và thông báo hành động tiếp theo của họ.

Chi phí gia tăng, cạnh tranh toàn cầu và tiến bộ công nghệ đang buộc các công ty lớn phải thoái vốn khỏi các hoạt động kinh doanh không cốt lõi và tái tập trung hoạt động. Đối với Philips, một trong những hoạt động đó là máy bước bán wafer của họ. Đồng thời, các công ty đầu tư mạo hiểm mới nổi và các doanh nghiệp khởi nghiệp có quy mô và doanh nghiệp khởi nghiệp định hướng kinh doanh cung cấp một mô hình mới cho tăng trưởng công nghiệp.

4,Áp lực tiến bộ

Đầu năm 1982, tham vọng in thạch bản của Philips phải đối mặt với một thách thức lớn. Họ cần nhiều nguồn lực kỹ thuật hơn. Mặc dù họ đã tiếp cận IBM, một khách hàng bên ngoài để mua công cụ đánh giá, nhưng vẫn có sự không chắc chắn đáng kể về việc liệu nó có được giao kịp thời vào mùa hè năm 1982 hay không. Các kỹ sư tại Trung tâm Nghiên cứu Philips đã ngay lập tức ra tay giải cứu. Các giám đốc điều hành S&I thường xuyên đến thăm The Hague và Brussels để tìm kiếm nguồn tài trợ bổ sung từ chính phủ Hà Lan và Ủy ban Châu Âu. Dưới áp lực về thời gian, tiền bạc và Bộ Kinh tế Hà Lan, Philips S&I bắt đầu tìm kiếm đối tác cho máy bước wafer của mình. Điều này dẫn đến các cuộc thảo luận ban đầu với Cobilt, một công ty sản xuất bộ chỉnh mặt nạ và đường ray, sau đó là các cuộc thảo luận với người dẫn đầu thị trường in thạch bản Perkin Elmer.

Đồng thời, một cuộc đối thoại ba chiều đã bắt đầu giữa Bộ Kinh tế Hà Lan, Philips và một công ty Hà Lan đang phát triển, ASM International (hay gọi tắt là ASM). Trong bối cảnh dự án vi điện tử mới ESPRIT của Ủy ban Châu Âu, các công ty sản xuất chip đã bày tỏ lo ngại về sự phụ thuộc của họ vào thiết bị của Mỹ. Để đáp ứng nhu cầu của ngành, Bộ và chính Arthur Del Prado đã đề xuất ASM như một giải pháp tiềm năng.

5,Tìm kiếm quan hệ đối tác

Tuy nhiên, Philips cho rằng vị thế của ASM quá thấp và ưu ái Perkin Elmer. Mặc dù Del Prado có tinh thần kinh doanh và thành công nhưng các giám đốc điều hành của Philips vẫn coi ASM là một công ty mới nổi. Perkin Elmer là một công ty lớn và đa dạng với cơ sở lắp đặt lớn các công cụ in thạch bản, được coi là đối tác mạnh hơn. Sự quan tâm là lẫn nhau. Vào đầu những năm 1980, các máy bước wafer cung cấp nhiều khả năng kiểm soát hơn đối với các kích thước tính năng nhỏ nhất với năng suất chấp nhận được so với Micralign của Perkin Elmer. Công ty Mỹ đã tìm cách nhanh chóng củng cố vị thế của mình trên thị trường trong bối cảnh cạnh tranh ngày càng gia tăng.

Perkin Elmer đang xem xét hợp tác với công ty khởi nghiệp có trụ sở tại Philips S&I hoặc Liechtenstein. Họ ưa thích Philips hơn vì nguồn lực của công ty và tính chất tiên tiến của PAS 2000. Trong liên doanh được đề xuất, Perkin Elmer sẽ đóng vai trò lãnh đạo và chịu trách nhiệm về bán hàng và dịch vụ. Philips sẽ đóng góp công nghệ và năng lực sản xuất. Tuy nhiên, Philips do dự trong việc cấp quyền truy cập vào các nguồn lực nội bộ của mình, chẳng hạn như Trung tâm Nghiên cứu Philips trực thuộc. Sự do dự này khiến cuộc đàm phán kéo dài quá lâu, và cuối cùng Perkin Elmer đã hợp tác với Censor.

6, Mức độ khẩn cấp của dự án

Đến năm 1983, nhóm sản xuất bước wafer của Philips S&I, bao gồm khoảng 50 kỹ sư, đang phải đối mặt với tình trạng không chắc chắn. Họ sẽ cần khoảng 120 triệu guilders (khoảng 245 triệu euro ở mức giá hiện tại) để nâng cấp, sản xuất và bán chiếc máy này. Bất chấp những nỗ lực vất vả và bền bỉ của Troost, bao gồm cả việc tìm kiếm quan hệ đối tác với Varian và Panasonic, nhóm bán wafer Stepper đã quá muộn. Sự cấp bách có thể cảm nhận được.

7, Sự khởi đầu của ASML

Vào ngày 5 tháng 9 năm 1983, Philips và ASM công bố ý định thành lập một liên doanh. Trong vài tháng tiếp theo, họ đã cải tiến các chi tiết của mối quan hệ đối tác. Cổ phiếu của Bộ Kinh tế hoặc phương tiện đầu tư của Bộ đã được xem xét. Các cuộc đàm phán đã được tổ chức để vào Trung tâm Nghiên cứu Philips. Đóng góp bằng hiện vật và tiền mặt đã được chỉ định. Một kế hoạch hoàn vốn đầu tư đã được soạn thảo. Một tổng giám đốc mới đầy tham vọng và có tầm nhìn, Gjalt Smit, đã tiếp quản. Điều quan trọng là 50 nhân viên hiện tại của Philips S&I đã được đưa ra những điều kiện làm việc hấp dẫn. Nhưng vì họ đã làm việc cả đời ở Philips nên họ coi liên doanh là một hình thức thoái vốn của Philips. Mọi người không muốn đặt niềm tin vào một công ty khởi nghiệp không có khả năng tiếp cận thị trường và các công nghệ chủ chốt của họ phải được thiết kế lại. mặc dù vậy, nhóm vẫn có 47 người ký.

Ngay từ đầu, ASML đã được coi là hiện thân của tinh thần kinh doanh theo định hướng đổi mới và được kỳ vọng sẽ đảm bảo năng lực kinh tế trong tương lai của Hà Lan. Các công ty trẻ, với sự thôi thúc và nhiệt huyết, dấn thân vào một tương lai không chắc chắn nhưng đầy hy vọng. Chuyển đến Veldhoven có thể là kết thúc của câu chuyện này, nhưng đối với ASML thì đó mới chỉ là khởi đầu. Những ngày đầu ở trụ sở bên ngoài của Philips đã đặt nền móng cho ASML phát triển thành công ty mà chúng ta biết ngày nay. Nhóm sáng tạo và quyết tâm theo đuổi đổi mới công nghệ và vượt qua giới hạn của những gì có thể.

8, Sự khởi đầu khiêm tốn

Năm 1988, sau khi Philips thành lập xưởng đúc liên doanh tại Đài Loan, chúng tôi bắt đầu thâm nhập thị trường châu Á. Tại Hoa Kỳ, chúng tôi đã phát triển từ một vài nhân viên lên 84 nhân viên ở 5 địa điểm. Nhưng trong một thị trường có tính cạnh tranh cao với nhiều nhà cung cấp, công ty nhỏ ít tên tuổi đến từ Hà Lan này không thể bứt phá.

ASML có quá ít khách hàng để có thể tự chủ. Tệ hơn nữa, cổ đông ASMI, không thể duy trì mức đầu tư cao với lợi nhuận ít, đã quyết định rút lui, trong khi tình hình ngành điện tử toàn cầu ngày càng tồi tệ, Philips đã công bố một chương trình cắt giảm chi phí lớn. Sự sống còn của công ty in thạch bản non trẻ và ngốn tiền của chúng tôi đang bị đe dọa. Được thúc đẩy bởi niềm tin vững chắc vào nghiên cứu và phát triển đang diễn ra cũng như nhu cầu cấp thiết về hướng dẫn tài trợ, các giám đốc điều hành ASML đã liên hệ với thành viên hội đồng quản trị của Philips, Henk Bodt, người đã thuyết phục đồng nghiệp của mình giúp đỡ một tay cuối cùng.

9,Từ việc chung tay đến chào bán lần đầu ra công chúng

Khoản đầu tư đã được sử dụng tốt. Trong năm, chúng tôi đã ra mắt nền tảng đột phá PAS 5500. Với năng suất và độ phân giải hàng đầu trong ngành, PAS 5500 đã thu hút được những khách hàng quan trọng mà ASML cần để mang lại lợi nhuận. Đây là bước đầu tiên hướng tới sự trưởng thành.

PAS 5500 là nền tảng mà ASML được biết đến. Trước khi ra mắt, ASML đứng thứ ba trên thị trường in thạch bản, sau những gã khổng lồ Nikon và Canon. Nhưng sự thành công của nền tảng PAS 5500 đã nhanh chóng đưa ASML lên vị trí thứ hai và tạo tiền đề cho sự phát triển của nó với tư cách là công ty dẫn đầu toàn cầu về in thạch bản. PAS 5500 được phát triển từ một loạt hệ thống do các nhà nghiên cứu của Philips khởi xướng vào những năm 1970. Bản thân tên của nền tảng này đã phản ánh di sản của nó và mối quan hệ lâu dài của chúng tôi với Philips: Máy bước tự động Philips (PAS).

ASML trở thành công ty đại chúng hoàn toàn độc lập vào năm 1995, được niêm yết trên Sở giao dịch chứng khoán Amsterdam và New York. Philips đã bán một nửa số cổ phần của mình trong đợt phát hành cổ phiếu lần đầu ra công chúng và phần còn lại trong những năm tiếp theo. IPO đã mang lại nguồn vốn để tiếp tục thúc đẩy sự tăng trưởng của chúng tôi và chúng tôi đã mở rộng cơ sở nghiên cứu, phát triển và sản xuất tại Veldhoven De Run, nơi sau này trở thành trụ sở mới của chúng tôi.

10,TWINSCAN và công nghệ nhúng đã mở đường

Năm 2001, chúng tôi giới thiệu hệ thống TWINSCAN và công nghệ hai giai đoạn mang tính cách mạng của nó. Các hệ thống này phơi bày một tấm wafer khác trong khi đo và căn chỉnh tấm tiếp theo, tối đa hóa năng suất và độ chính xác của hệ thống, từ đó tăng giá trị sở hữu cho khách hàng. Cùng năm đó, chúng tôi đã hoàn tất việc mua lại Tập đoàn Thung lũng Silicon, nâng cao hơn nữa khả năng của ASML trong việc cải tiến công nghệ bán dẫn. TWINSCAN AT:1150i ra mắt với tư cách là máy nhúng đầu tiên vào năm 2003, tiếp theo là TWINSCAN XT:1250i, XT:1400i và máy nhúng được sản xuất hàng loạt đầu tiên, XT:1700i, vào năm 2006.

Năm 2007, chúng tôi đã giới thiệu hệ thống nhúng TWINSCAN XT:1900i với khẩu độ số 1,35, thông số kỹ thuật cao nhất trong ngành. Với công nghệ mới này, chúng tôi cho phép khách hàng tạo ra các tính năng chip nhỏ hơn bằng cách chiếu ánh sáng qua lớp nước giữa thấu kính và tấm bán dẫn. Cuối năm 2007, chúng tôi mua lại BRION, nhà cung cấp hàng đầu các giải pháp tối ưu hóa sản xuất và thiết kế chất bán dẫn. Đây là sự khởi đầu của chiến lược "in thạch bản toàn diện" của chúng tôi. Chúng tôi kết hợp kiến ​​thức về hệ thống in thạch bản với các kỹ năng của mình trong việc tối ưu hóa quy trình sản xuất chip trước, trong và sau in thạch bản. Một sản phẩm quan trọng khác trong giai đoạn đầu của chiến lược in thạch bản tổng thể của chúng tôi là YieldStar, hệ thống đo lường của chúng tôi cung cấp phép đo và hiệu chuẩn theo thời gian thực trong quá trình sản xuất chip. YieldStar đầu tiên (250D) được giao cho khách hàng vào năm 2008.

11,Thay đổi thời thế một lần nữa với EUV

Đầu năm 2020, EUV được đưa vào sản xuất hàng loạt và chúng tôi đã tổ chức lễ vận chuyển hệ thống EUV thứ 100 của mình. Nhưng năm 2020 còn có ý nghĩa quan trọng vì một lý do khác: đại dịch COVID-19. Đội ngũ của chúng tôi trên khắp thế giới đã chứng tỏ khả năng thích ứng và ứng biến bằng cách hỗ trợ khách hàng từ xa theo những cách sáng tạo mới, sử dụng kiến ​​thức chuyên môn của mình để ứng phó với đại dịch và tiếp cận để hỗ trợ cộng đồng địa phương. chứng tỏ họ có khả năng thích ứng và ứng biến.

Vào tháng 11 năm 2020, việc mua lại Tập đoàn Berliner Glas đã hoàn tất và chúng tôi chính thức chào đón đội ngũ Berliner Glas gia nhập gia đình ASML. Bộ phận Kính kỹ thuật của Tập đoàn đã được tách thành Tập đoàn Glas Trosch vào tháng 4 năm 2021.

Vào năm 2023, chúng tôi đã giới thiệu hệ thống EUV thế hệ tiếp theo đầu tiên có khẩu độ số lên tới 0,55 (được gọi là "khẩu độ số cao"). Nền tảng có tên EXE, có thiết kế quang học mới và nền tảng nhanh hơn đáng kể.

Nhìn về phía trước, ASML sẽ tiếp tục tạo nên những điều kỳ diệu. Fountyl Technologies PTE Ltd, đang tập trung vào ngành sản xuất chất bán dẫn, các sản phẩm chính bao gồm: Mâm cặp chốt, mâm cặp gốm xốp, bộ tác động cuối bằng gốm, dầm vuông gốm, trục chính bằng gốm, vui lòng liên hệ và đàm phán!