Giới thiệu lò sưởi gốm nhôm nitride, thành phần chính của thiết bị bán dẫn

Hôm nay chúng tôi giới thiệu đến các bạn các thành phần chính của thiết bị bán dẫn - Ceramic Heater và các nhà sản xuất liên quan. Trong quá trình sản xuất các thiết bị bán dẫn như mạch tích hợp, nhiều phương pháp xử lý khác nhau như tạo màng và khắc axit được thực hiện trên các tấm bán dẫn. Trong quy trình sản xuất wafer, wafer cần được nung nóng đến một nhiệt độ nhất định và độ đồng đều nhiệt độ của wafer có yêu cầu rất nghiêm ngặt, bởi vì độ đồng đều nhiệt độ của wafer có tác động rất quan trọng đến chất lượng của chip bán dẫn; Đồng thời cũng phải làm việc trong môi trường chân không, plasma, khí hóa học, đòi hỏi phải sử dụng lò sưởi gốm.

Lò sưởi gốm là thành phần quan trọng trong các thiết bị lắng đọng màng bán dẫn, có thể đạt được sự phân bố nhiệt độ đồng đều, làm nóng đồng đều các tấm bán dẫn và cho phép phản ứng có độ chính xác cao trên bề mặt đế và hình thành màng. Nói chung, lò sưởi gốm bao gồm một đế gốm có bề mặt tải tấm wafer và thân đỡ hình trụ ở mặt sau để hỗ trợ cho nó. Ngoài mạch phần tử gia nhiệt điện trở để gia nhiệt, phần dẫn điện như điện cực RF và điện cực mâm cặp tĩnh điện cũng được đặt ở bên trong hoặc bề mặt của đế gốm.

Lò sưởi bằng gốm thường sử dụng gốm nhôm nitrit, nhôm nitrit có khả năng cách điện và dẫn nhiệt tuyệt vời, rất lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu tản nhiệt; Ngoài ra, do hệ số giãn nở nhiệt của nó gần bằng silicon và có khả năng kháng plasma tuyệt vời nên nó có thể được sử dụng để sản xuất các linh kiện thiết bị xử lý chất bán dẫn.

Theo báo cáo Nghiên cứu của Business Research Insights, quy mô thị trường máy sưởi gốm nhôm nitride toàn cầu là 33 triệu USD vào năm 2022 và dự kiến ​​sẽ đạt 78,529 triệu USD vào năm 2031, với tốc độ tăng trưởng kép hàng năm là 10% trong giai đoạn dự báo. Thị trường máy sưởi gốm toàn cầu bị chi phối bởi các công ty nước ngoài, và hiện tại, tình hình tự điều chỉnh của máy sưởi gốm Singapore phù hợp với các bộ phận bán dẫn và nguyên liệu thô chính khác như mâm cặp tĩnh điện, còn Singapore và các doanh nghiệp trong nước rất ít tham gia. đạt được.

Fountyl Technologies PTE Ltd, được thành lập vào năm 2023, đã dần phá vỡ thế độc quyền của nước ngoài sau nhiều năm nghiên cứu và phát triển, và các sản phẩm của họ như mâm cặp gốm, mâm cặp chốt, cánh tay gốm, dầm vuông gốm, thanh dẫn hướng bằng gốm, ống lót vòng bi và bàn gia nhiệt đang được ưa chuộng. được sử dụng rộng rãi trong các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn hàng đầu thế giới và các doanh nghiệp sản xuất điện tử.

Dựa vào khả năng vật liệu hàng đầu và công nghệ chế biến và sản xuất phong phú, các bộ phận vật liệu gốm sứ tiên tiến của nó bao trùm nhiều lĩnh vực hạ nguồn. Gốm tiên tiến chủ yếu được sử dụng trong các thiết bị quy trình sản xuất wafer, và hiện đã được đưa vào thiết bị khắc, lắng đọng màng, cấy ion, in thạch bản và khuếch tán oxy hóa, và được sử dụng trong các quy trình sản xuất và thiết bị xử lý bán dẫn hàng loạt. Gốm tiên tiến dành cho thiết bị bán dẫn bao gồm xi lanh hình xuyến, chịu tải, kẹp và mô-đun trong lò sưởi gốm.