Giới thiệu ứng dụng gốm bán dẫn chính xác

Gốm sứ tiên tiến là nền tảng của toàn bộ nền tảng ngành công nghiệp bán dẫn. Bởi vì gốm sứ có ưu điểm là độ cứng cao, mô đun đàn hồi cao, chống mài mòn cao, cách nhiệt cao, chống ăn mòn, độ giãn nở thấp... v.v., nên nó có thể được sử dụng làm bộ phận của máy đánh bóng silicon, thiết bị xử lý nhiệt epiticular/oxy hóa/khuếch tán , máy in thạch bản, thiết bị lắng đọng, thiết bị khắc bán dẫn, máy cấy ion. Các thiết bị bán dẫn yêu cầu một số lượng lớn các thành phần gốm có độ chính xác cao. Gốm sứ thiết bị bán dẫn bao gồm alumina, zirconia, silicon nitride, nhôm nitride, cacbua silic, oxit yttrium...v.v. Trong thiết bị bán dẫn, giá trị của gốm chính xác chiếm khoảng 16%. Thiết bị bán dẫn là hỗ trợ chính của chuỗi công nghiệp bán dẫn và là nền tảng của sản xuất chất bán dẫn. Báo cáo mới nhất của SEMI dự đoán rằng doanh số bán thiết bị bán dẫn toàn cầu sẽ từ 87 tỷ USD vào năm 2023 lên 87,4 tỷ USD và sẽ phục hồi lên 100 tỷ USD vào năm 2024.

Với sự phát triển mạnh mẽ của ngành công nghiệp bán dẫn trong nước, các xưởng đúc wafer đã xây dựng các nhà máy ở Đông Nam Á, điều này dẫn đến sự cải tiến về hỗ trợ vật liệu và thiết bị bán dẫn, phân bổ nguồn lực chuỗi cung ứng nước ngoài theo hướng nghiêng về trong nước, đồng thời cũng xuất hiện nhiều sản phẩm địa phương xuất sắc. các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn, theo xu hướng phát triển trong nước, nhu cầu về các bộ phận gốm chính xác của thiết bị bán dẫn sẽ tăng lên.

Do vị trí và tầm quan trọng của nó trong thiết bị bán dẫn, các bộ phận gốm tiên tiến phải đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất toàn diện của thiết bị bán dẫn đối với vật liệu trong cơ khí, khả năng chịu nhiệt, điện môi, axit và kiềm và ăn mòn plasma cũng như các yêu cầu về độ chính xác cao, bởi vì các bộ phận gốm trong chất bán dẫn thiết bị thường ở gần xung quanh tấm bán dẫn và một số thậm chí còn tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn. Vì vậy, việc kiểm soát các ion và hạt kim loại trên bề mặt của nó là vô cùng nghiêm ngặt. Ngoài ra, do việc sản xuất linh kiện gốm cho các thiết bị bán dẫn cần có chứng nhận của nhà sản xuất thiết bị gốc nên nó thuộc ngành có ngưỡng độc quyền cao. Ngoài ra, trong lĩnh vực đóng gói và thử nghiệm chất bán dẫn, vật liệu gốm cũng có thể được sử dụng trong lớp lót đóng gói thiết bị bán dẫn điện và thẻ thăm dò thử nghiệm.

Chuỗi công nghiệp gốm bán dẫn bao gồm xử lý wafer bán dẫn, thiết bị bán dẫn điện, đóng gói và thử nghiệm của các doanh nghiệp ứng dụng hạ nguồn; Thiết bị in thạch bản, thiết bị khuếch tán oxy hóa, thiết bị khắc, thiết bị khắc khô, thiết bị cấy ion, thiết bị lắng đọng màng, thiết bị PVD, thiết bị CVD, thiết bị lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), thiết bị đánh bóng cơ học hóa học, thiết bị ủ laser của thiết bị bán dẫn cao cấp doanh nghiệp; Thiết bị chuẩn bị bột, máy trộn, máy chà nhám, máy ba cuộn, thiết bị tạo hạt phun, máy ép phun, máy đúc, thiết bị cán màng, thiết bị ép khô, đúc vữa, thiết bị ép đẳng tĩnh, thiết bị in lụa, thiết bị khử mỡ, thiêu kết, CNC, máy phay, thiết bị đánh bóng, thiết bị phun cát, thiết bị hàn chân không, đồ gá dụng cụ của các doanh nghiệp sản xuất thiết bị và phụ tùng; Các bộ phận bằng gốm (tay cầm, mâm cặp tĩnh điện, lò sưởi gốm, vòng lót, vòi phun, buồng, thẻ thăm dò, mảnh gốm...v.v.), gốm alumina, gốm xốp, gốm zirconia, gốm nhôm nitrit, gốm silicon nitrit, cacbua silic gốm sứ, gốm sứ cacbua silic nhôm... vv.