Máy mài gương chính cho chất bán dẫn thiết bị CMP

Công nghệ CMP (Đánh bóng cơ học hóa học) là một quy trình quan trọng để đạt được bề mặt wafer phẳng và đồng nhất toàn cầu trong sản xuất chất bán dẫn. Nó loại bỏ vật liệu dư thừa khỏi bề mặt wafer thông qua tác động tổng hợp của ăn mòn hóa học và mài cơ học để đạt được độ phẳng tổng thể ở cấp độ nano. Quy trình CMP bao gồm ba bước chính: đánh bóng, làm sạch và chuyển giao. Trong quá trình đánh bóng, thành phần hóa học của chất lỏng đánh bóng phản ứng với vật liệu bề mặt wafer để tạo thành một lớp màng có thể được loại bỏ bằng cơ học, sau đó tấm đánh bóng sẽ loại bỏ lớp màng này một cách cơ học để đạt được bề mặt mịn. Các thiết bị CMP có thể được chia thành các thiết bị tương thích 8 inch, 12 inch và 6/8 inch tùy theo yêu cầu ứng dụng.

Thị trường và doanh nghiệp lớn

Thị trường chính cho thiết bị CMP đến từ ba phân khúc: thiết bị CMP để sản xuất tấm bán dẫn silicon, thiết bị CMP cho xưởng đúc tấm bán dẫn và thiết bị CMP để sản xuất chất nền cacbua silic. Với việc giảm liên tục quy trình sản xuất mạch tích hợp, nhu cầu về quy trình CMP ngày càng tăng, đặc biệt là trong sản xuất chip logic, số bước quy trình CMP của các nút quy trình nâng cao tăng lên đáng kể. Thị trường CMP tiếp tục phát triển về quy mô. Đặc biệt, năng lực sản xuất mới ở đại lục dự kiến ​​sẽ vượt tốc độ tăng trưởng của thị trường đại lục.

Thị trường thiết bị CMP toàn cầu có tính độc quyền cao, chủ yếu là bởi Ứng dụng Vật liệu, công ty dẫn đầu thị trường thiết bị CMP toàn cầu, cung cấp các giải pháp CMP tiên tiến và các sản phẩm của nó bao gồm nhiều ứng dụng từ quy trình trưởng thành đến quy trình nâng cao. Ebara, Nhật Bản, có bằng sáng chế về công nghệ sấy khô/khô và các sản phẩm của hãng này được biết đến với độ tin cậy và hiệu quả sản xuất cao. Cùng nhau, họ chiếm hơn 90% thị trường.

Trong lĩnh vực quá trình trưởng thành, các doanh nghiệp trong nước đã phá vỡ thế độc quyền của các đại gia nước ngoài và giành được thị phần nhất định. Các nhà sản xuất thiết bị CMP trong nước chủ yếu bao gồm Huahai Qingke, công ty đã hiện thực hóa ứng dụng công nghiệp của quy trình 28nm, công nghệ xử lý 14nm đang được xác minh và là nhà sản xuất duy nhất có thể cung cấp thiết bị CMP 12 inch tại Trung Quốc. Sco Precision cung cấp thiết bị CMP cho tất cả các yêu cầu quy trình làm phẳng phức tạp trong sản xuất vi mạch, hỗ trợ sản xuất vi mạch từ các nút quy trình 0,09-0,35um. Jingyi Precision, nhà cung cấp thiết bị CMP 8 inch, đã ra mắt thiết bị sản xuất hàng loạt dây chuyền sản xuất CMP 8 inch trong nước đầu tiên với quyền sở hữu trí tuệ độc lập. Hàng Châu ZhongSI đã phát triển thành công các thiết bị CMP 6 inch, 8 inch và 12 inch cho mạch tích hợp, tấm silicon lớn và chất bán dẫn thế hệ thứ ba.

Ý KIẾN:

1 nâng cấp quy trình chip, ứng dụng thiết bị CMP sẽ thường xuyên hơn, không gian thị trường, đặc biệt là không gian thị trường trong nước ngày càng phát triển

2. Công nghệ thiết bị trong nước tiếp tục được cải thiện và độ trưởng thành của thiết bị trong nước ngày càng tăng

3. Như chúng ta đã biết, có một số doanh nghiệp trong nước có thể làm được, thị trường bắt đầu sôi động, tương lai của những doanh nghiệp dẫn đầu về công nghệ hoặc những doanh nghiệp mở ra lĩnh vực ứng dụng mới đáng được mong đợi hơn.

Fountyl Technologies PTE Ltd, đang tập trung vào ngành sản xuất chất bán dẫn, các sản phẩm chính bao gồm: Mâm cặp chốt, mâm cặp gốm xốp, bộ tác động cuối bằng gốm, dầm vuông gốm, trục chính bằng gốm, vui lòng liên hệ và đàm phán!