Toàn bộ quy trình bán dẫn cần phải được làm sạch nhiều lần và quy trình làm sạch diễn ra trong ngành bán dẫn, chiếm hơn 30% tổng quy trình sản xuất.
ASML được thành lập vào ngày 1 tháng 4 năm 1984 với tên gọi ASM Lithography. Sứ mệnh của liên doanh giữa Philips và ASM International này là thương mại hóa PAS 2000, máy bước bán wafer được phát triển bởi Philips...