Trong những năm gần đây, cung và cầu tấm wafer toàn cầu không cân bằng và tình trạng thiếu tấm wafer 200mm sẽ tiếp tục trong vài năm.
Mâm cặp tĩnh điện hay còn gọi là mâm cặp tĩnh điện (ESC, e-Chuck), là loại vật cố định sử dụng nguyên lý hấp phụ tĩnh điện để giữ và cố định vật bị hấp phụ, thích hợp cho...