Tuis
Materiaal
Silikonkarbied wat gebruik word vir korrosiebestande dele, seëlonderdele, hoëtemperatuurbestande dele, geleidingsrelings en vierkantige balke
Silikonkarbied keramiek het uitstekende meganiese eienskappe by normale temperatuur, soos hoë sterkte, hoë hardheid, hoë elastiese modulus, uitstekende hoë temperatuurstabiliteit, soos hoë termiese geleidingsvermoë, lae termiese uitsettingskoëffisiënt, en goeie spesifieke styfheid en optiese verwerkingseienskappe, veral geskik vir die voorbereiding van fotolitografie masjien en ander geïntegreerde stroombaan toerusting vir presisie keramiek strukturele dele. Soos gebruik in die fotolitografie masjien presisie bewegende werkstuk tafel, skelet, suigbeker, waterverkoelde plaat en presisie meting spieël, rooster en ander keramiek strukturele dele, Founty nuwe materiaal na jare van tegniese navorsing, los die groot grootte, dun muur, hol en ander komplekse struktuur van silikonkarbied strukturele dele presisie verwerking en voorbereiding probleme, breek deur die tegniese bottelnek van hierdie soort presisie silikonkarbied strukturele dele voorbereiding tegnologie. Dit het die lokalisering van belangrike strukturele dele wat in geïntegreerde stroombaan vervaardigingstoerusting gebruik word, grootliks bevorder.
● Silikonkarbiedkeramiek sluit hoofsaaklik druklose sinterende silikonkarbied (SSiC), reaksie-gesinterde silikonkarbied (RBSC), chemiese dampneerslag silikonkarbied (CVD-SiC) in.
● Silikonkarbied het 'n verskeidenheid uitstekende eienskappe: superhard, slytasieweerstand, hoë termiese geleidingsvermoë en meganiese sterkte, lae termiese uitsettingskoëffisiënt, uitstekende termiese stabiliteit, lae digtheid, hoë spesifieke styfheid, nie-magneties.
● Tans word silikonkarbiedkeramiek in verskeie nywerhede soos lugvaart, lugvaart en kernindustrie toegepas, soos keramiekonderdele van hoëvlaktoerusting vir silikonkarbiedkeramiekreflektor en IC-geïntegreerde stroombaanvervaardiging, hitteruilers en koeëlvaste materiale onder uiterste toestande.
Kenmerke van presisie keramiek strukturele dele vir geïntegreerde stroombaan vervaardiging toerusting:
① Hoogs liggewig: Om die bewegingstraagheid te verminder, die motorlading te verminder, die bewegingsdoeltreffendheid, posisioneringsakkuraatheid en stabiliteit te verbeter, gebruik die strukturele dele gewoonlik liggewigstruktuurontwerp, die liggewigkoers is 60-80%, tot 90%;
② Hoë vorm-posisie akkuraatheid: Ten einde hoë-presisie beweging en posisionering te bereik, moet die strukturele dele uiters hoë vorm en posisie akkuraatheid hê, die platheid, parallelisme en loodregte moet minder as 1μm wees, en die vorm en posisie akkuraatheid moet minder as 5μm wees.
③ Hoë dimensionele stabiliteit: Ten einde hoë-presisie beweging en posisionering te bereik, moet die strukturele dele uiters hoë dimensionele stabiliteit hê, nie om spanning te produseer nie, en hoë termiese geleidingsvermoë, lae termiese uitsettingskoëffisiënt, nie maklik om groot dimensionele vervorming te produseer nie. ;
④ Skoon en vry van besoedeling. Daar word van die strukturele dele vereis om uiters lae wrywingskoëffisiënt, klein kinetiese energieverlies tydens beweging te hê, en geen maaldeeltjiebesoedeling nie. Silikonkarbied materiaal het 'n baie hoë elastiese modulus, termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitsettingskoëffisiënt, is nie maklik om buigspanning vervorming en termiese spanning te produseer, en het uitstekende poleerbaarheid, kan gemasjineer word om uitstekende spieël; Daarom het dit groot voordele om silikonkarbied te gebruik as die presisie struktuurmateriaal vir die sleuteltoerusting van geïntegreerde stroombane soos fotolitografiemasjien, silikonkarbied het die voordele van goeie chemiese stabiliteit, hoë meganiese sterkte, hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitsettingskoëffisiënt, en kan toegepas word in hoë temperatuur, hoë druk, korrosie en bestraling van uiterste omgewings.
Silikonkarbied het die voordele van goeie chemiese stabiliteit, hoë meganiese sterkte, hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitsettingskoëffisiënt, en kan toegepas word in hoë temperature, hoë druk, korrosie en bestraling van uiterste omgewings.
Die sleuteltoerusting van geïntegreerde stroombaan vereis dat die komponentmateriaal die eienskappe van ligte gewig, hoë sterkte, hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitsettingskoëffisiënt het, en dig en eenvormig sonder defekte is. Daar word van komponente vereis om uiters hoë dimensionele akkuraatheid en dimensionele stabiliteit te hê om ultra-presisie beweging en beheer van die toerusting te verseker. Silikonkarbied keramiek het 'n hoë elastiese modulus en spesifieke styfheid, nie maklik om te vervorm nie, en het 'n hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitsettingskoëffisiënt, hoë termiese stabiliteit, so silikonkarbied keramiek is 'n uitstekende strukturele materiaal, tans in die vervaardiging van geïntegreerde stroombaan. sleuteltoerusting om 'n wye reeks toepassings te verkry, soos litografiemasjien met silikonkarbied-werktafel, geleiderail, reflektor, keramiekboorkop en keramiek-eindeffektor.
Fountyl kan die fotolitografiemasjien ontmoet as die verteenwoordiger van die geïntegreerde stroombaan vervaardiging sleutel toerusting met groot grootte, hol dun muur, komplekse struktuur, presisie silikonkarbied strukturele dele voorbereiding tegnologie, soos: silikon karbied vakuum chuck, geleidingsrail, reflektor, werk tafel en 'n reeks presisie silikonkarbied strukturele dele vir fotolitografie masjien.
| Eienskappe | Fountiel | ||
| Digtheid (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young se modulus (GPa) | 368 | ||
| Buigsterkte (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Termiese geleidingsvermoë (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poisson se verhouding | 0,187 | ||
| Skuifmodulus (GPa) | 155 | ||