إن خصائص الجودة البلورية عالية الجودة للطبقة الفوقية SiC تجعل الطبقة الفوقية يجب أن تحتوي على بنية بلورية عالية النقاء وكثافة عيوب منخفضة لضمان الموثوقية.
مصاصة الكهرباء الساكنة، والمعروفة أيضًا باسم ظرف الكهرباء الساكنة (ESC، e-Chuck)، عبارة عن أداة تستخدم مبدأ الامتزاز الكهروستاتيكي لتثبيت وإصلاح الجسم الممتز، ومناسبة...
