يشير Epitaxy إلى تقنية نمو البلورات أو ترسيب المواد التي تحتل مكانة مهمة للغاية في عمليات تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والإلكترونيات الضوئية
إن خصائص الجودة البلورية عالية الجودة للطبقة الفوقية SiC تجعل الطبقة الفوقية يجب أن تحتوي على بنية بلورية عالية النقاء وكثافة عيوب منخفضة لضمان الموثوقية.
