ترسيب الأغشية الرقيقة هو ترسيب طبقة من الفيلم النانوي على الركيزة، ثم عمليات متكررة مثل الحفر والتلميع، لصنع الكثير من الأغشية الموصلة أو العازلة المكدسة.
يشير Epitaxy إلى تقنية نمو البلورات أو ترسيب المواد التي تحتل مكانة مهمة للغاية في عمليات تصنيع الإلكترونيات الدقيقة والإلكترونيات الضوئية
