تتمثل إحدى مزايا EUV في تقليل خطوات معالجة الرقاقة، كما أن استخدام EUV بدلاً من تقنية التعريض الضوئي المتعددة التقليدية سوف يقلل بشكل كبير من خطوات الترسيب والحفر...
في عملية تصنيع الرقاقة، يجب تسخين الرقاقة إلى درجة حرارة معينة، وتوحيد درجة حرارة الرقاقة له متطلبات صارمة للغاية، لأن درجة حرارة الرقاقة موحدة...
